[發明專利]振鏡檢測裝置、振鏡檢測方法和可讀存儲介質

在審

• 申請號: 202011178184.2
• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN112345207A
• 公開（公告）日: 2021-02-09
• 發明（設計）人: 高文剛
• 申請（專利權）人: 歌爾光學科技有限公司
• 主分類號: G01M11/00
• 分類號: G01M11/00;G01N21/84
• 代理公司: 深圳市世紀恒程知識產權代理事務所 44287
• 代理人: 關向蘭

1.一種振鏡檢測裝置，其特征在于，所述振鏡檢測裝置包括：

光源，所述光源用于發射入射光束，所述入射光束的傳播光路中設置振鏡，所述振鏡接收所述入射光束并產生反射光束；

光電傳感器，所述光電傳感器設于所述反射光束的傳播光路中，所述光電傳感器接收所述反射光束，并獲得所述反射光束的移動路徑；

顯示器件，所述顯示器件電性連接于所述光電傳感器，所述顯示器件接收所述移動路徑，所述顯示器件用于將所述移動路徑轉化為脈沖圖形；以及

檢測終端，所述檢測終端電性連接于所述顯示器件，所述檢測終端獲取所述脈沖圖形，所述檢測終端基于所述脈沖圖形檢測獲得所述振鏡的振動參數。

2.如權利要求1所述的振鏡檢測裝置，其特征在于，所述振鏡檢測裝置還包括：半反半透鏡，所述半反半透鏡設于振鏡和所述光源之間的光路中，所述光電傳感器設于所述半反半透鏡背向所述振鏡的一側。

3.如權利要求1所述的振鏡檢裝置，其特征在于，所述光源包括激光源，所述顯示器件包括示波器，所述光電傳感器包括光電位置傳感器。

4.如權利要求1所述的振鏡檢裝置，其特征在于，所述振鏡檢測裝置還包括箱體，所述箱體具有封閉腔體，所述光源和所述光電傳感器設于所述封閉腔體。

5.一種振鏡檢測方法，其特征在于，所述振鏡檢測方法包括：

向處于振鏡發射入射光束，其中，所述入射光束經過所述振鏡產生反射光束；

獲取所述反射光束的移動路徑，將所述移動路徑轉化為脈沖圖形；

獲取所述脈沖圖形，基于所述脈沖圖形獲得所述振鏡的振動參數。

6.如權利要求5所述的振鏡檢測方法，其特征在于，所述振動參數包括振鏡的振動切換速度；

所述基于所述脈沖圖形獲得所述振鏡的振動參數的步驟，包括：

測量所述脈沖圖形中的邊沿時間，依據所述邊沿時間計算得出所述振鏡的振動切換速度。

7.如權利要求5所述的振鏡檢測方法，其特征在于，所述振動參數還包括振鏡的振動穩定性；

所述基于所述脈沖圖形獲得所述振鏡的振動參數的步驟，包括：

測量所述脈沖圖形中的過沖及振鈴，依據所述過沖和所述振鈴計算得出所述振鏡的振動穩定性。

8.如權利要求5所述的振鏡檢測方法，其特征在于，所述振動參數包括振鏡的擺動角度；

所述基于所述脈沖圖形獲得所述振鏡的振動參數的步驟，包括：

測量所述脈沖圖形中的振動幅度，依據所述振動幅度計算得出所述振鏡的擺動角度。

9.如權利要求5至8中任一項所述的振鏡檢測方法，其特征在于，所述向處于振鏡發射入射光束的步驟之前，包括：

提供黑暗封閉環境，將所述振鏡置于所述黑暗封閉環境中。

10.一種可讀存儲介質，其特征在于，所述可讀存儲介質上存儲有振鏡檢測程序，所述振鏡檢測程序被處理器執行時實現如權利要求5至9中任一項所述的振鏡檢測方法的步驟。