[發明專利]LED燈以及利用該LED燈的曝光裝置用光源

在審

• 申請號: 202011174700.4
• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN112799287A
• 公開（公告）日: 2021-05-14
• 發明（設計）人: 山下健一
• 申請（專利權）人: 鳳凰電機公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444
• 代理人: 張黎;龔敏

提供一種LED燈，使追加特定的波長的光量容易，且即使進行追加，也能使開口尺寸的增加程度最小。利用第一LED(14)、第二LED(16)、第三LED(18)、聚光透鏡(20)和分色鏡(22)來構成LED燈(10)。將聚光透鏡(20)配置于第一LED(14)的光軸(LL1)上。將分色鏡(22)配置于同光軸(LL1)上的、第一LED(14)與聚光透鏡(20)之間。將第二LED(16)配置于使其光軸(LL2)與光軸(LL1)交叉的位置。設定分色鏡(22)使來自第一LED(14)的光(L1)透過，且使來自第二LED(16)的光(L2)反射而與光軸(LL1)大致平行。將第三LED(18)配置于使同光軸(LL3)與光軸(LL1)大致平行的位置。使來自第三LED(18)的光(L3)直接進入聚光透鏡(20)。

技術領域

本發明涉及LED燈，尤其涉及對波長范圍寬的寬帶光進行放射的LED燈以及利用該LED燈的曝光裝置用光源。

背景技術

與現有的白熾燈(例如，鹵素燈)相比，具有功耗低且壽命長這樣的長處的發光二極管(以下，稱為“LED”)隨著消費者的環保意識的提高，作為節能對策之一，其使用范圍急速擴大，尤其是意圖使用LED來代替白熾燈、放電燈的需求高企。

相對于此，LED具有平均每個的光量與白熾燈、放電燈相比較少這樣的課題、從LED放射的光的波長范圍窄(窄帶)這樣的課題，因此為了對其彌補，開發了通過設置多個LED而能夠發出較多的光量、且能夠放射波長范圍寬的寬帶光的發光二極管燈(例如，專利文獻1)。

專利文獻1公開的LED燈替代水銀燈(放電燈)而用于曝光裝置的光源。從前，例如配合在印刷基板的布線圖案形成、阻焊膜形成時所使用的感光材料的靈敏度特性，使用了較強發出436nm(g線)、405nm(h線)以及365nm(i線)的光譜線的水銀燈。在此，若使用LED燈來取代該水銀燈，則如上所述，存在光量少這樣的問題、以及光的波長范圍窄而無法放射與感光材料的靈敏度特性相匹配的光這樣的問題。

為此，在專利文獻1的LED燈中，使用分色鏡將從多個LED放射出的光進行合成，并使之成像于積分器的入射面。通過配合感光材料的靈敏度特性，將從各LED放射的光的波長設定為彼此不同，從而能夠使用LED燈來替代水銀燈。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1：JP特開2012-63390號公報

發明內容

(發明要解決的課題)

然而，在專利文獻1公開的LED燈中也存在問題。

例如，在利用分色鏡使光透過或者反射時，該光會衰減幾成，因此根據需要，需要追加特定的波長的光量。

另外，若為了追加特定的波長的光量而排列對該波長的光進行放射的別的LED燈，則將會增加1套LED燈的開口尺寸，且在為了實現大光量而排列大量的LED燈來作為曝光裝置用光源進行使用等情況下，會產生配置空間的問題。

本發明鑒于上述課題而提出，其目的在于，提供一種LED燈以及利用該LED燈的曝光裝置用光源，使得追加特定的波長的光量容易，且即使進行追加也能使開口尺寸的增加程度最小。

(用于解決課題的技術方案)

根據本發明的一技術方案，提供一種LED燈，具備：第一LED、第二LED、第三LED、聚光透鏡以及分色鏡，所述聚光透鏡配置于所述第一LED的光軸上，所述分色鏡配置于所述第一LED的光軸上，且配置于所述第一LED與所述聚光透鏡之間，所述第二LED配置于使所述第二LED的光軸與所述第一LED的光軸交叉的位置，所述分色鏡使來自所述第一LED的光透過，且使來自所述第二LED的光以與所述第一LED的光軸大致平行的方式反射，所述第三LED配置于使所述第三LED的光軸與所述第一LED的光軸大致平行的位置，來自所述第三LED的光不會透過所述分色鏡，也不會由所述分色鏡反射，而直接進入所述聚光透鏡。