[發(fā)明專利]一種半導體切筋成型設備

有效

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• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN112547990B
• 公開（公告）日: 2022-06-28
• 發(fā)明（設計）人: 李宏偉;林志東
• 申請（專利權）人: 廈門市三安集成電路有限公司
• 主分類號: B21F11/00
• 分類號: B21F11/00;B21C51/00;H01L21/67
• 代理公司: 廈門市首創(chuàng)君合專利事務所有限公司 35204
• 代理人: 連耀忠;楊鍇

本發(fā)明涉及一種半導體切筋成型設備，設置獨立的檢測刀具，參照切筋刀具的切斷動作進行檢測動作，通過發(fā)現(xiàn)引線框架連體切斷異常，實時判斷切筋刀具是否存在如斷刀等異常。本發(fā)明能夠提前發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品質(zhì)量問題，并能夠及時排查，避免出現(xiàn)批次性的產(chǎn)品質(zhì)量問題，可大大降低生產(chǎn)成本；并且，避免當產(chǎn)品出現(xiàn)問題后，需要從沖壓到檢測產(chǎn)品的過程中的環(huán)節(jié)進行異常排查，造成的耗時過長，時效性差，影響生效率等問題。本發(fā)明的檢測刀具與切筋刀具對應設計，在結構上相近似，并且將檢測刀具與切筋刀具設置于同一個切筋模具上，更換不同的切筋模具即可用于制備不同的產(chǎn)品，并且實現(xiàn)對相應的切筋刀具進行檢測。

技術領域

本發(fā)明涉及半導體技術領域，更具體地說，涉及一種半導體切筋成型設備。

背景技術

集成電路封裝形式多樣，制程工藝也是大相徑庭，但是成品切割制程是絕大部分形式不可或缺的關鍵制程，其是將最終成品分離出來。切割制程的工藝通常包括沖壓工藝和輪刀切割；其中，沖壓工藝的關鍵是需要具備穩(wěn)定可靠的切筋模具，使得成品沖壓時所受應力平衡，外觀良好。切筋模具屬精密加工件，其由多個部件+刀具配合運作進行作業(yè)，常規(guī)的切筋模具通常防誤檢測功能，以保證能夠順利準確地進行切筋。

但現(xiàn)有技術中，切筋模具或者切筋成型設備無法監(jiān)控切筋模具的刀具是否存在異常損壞的問題，特別是實時檢測是否存在因刀具損壞而造成的成品質(zhì)量不良。一旦出現(xiàn)此類異常情況，通常難以及時發(fā)現(xiàn)與管控，不能及時準確地排查異常，造成批次性的產(chǎn)品質(zhì)量問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術的不足，提供一種半導體切筋成型設備，能夠實時地檢測并發(fā)現(xiàn)切筋刀具是否存在異常，有利于及時準確地排查異常，防止出現(xiàn)批次性的產(chǎn)品質(zhì)量問題。

本發(fā)明的技術方案如下：

一種半導體切筋成型設備，包括控制機組、切筋模具，切筋模具包括切筋刀具，控制機組控制切筋刀具對引線框架進行切筋，切筋模具還包括檢測刀具，檢測刀具的檢測刀齒與切筋刀具的切斷刀齒對應設置；工作過程中，切筋刀具與檢測刀具先后在相同位置沿切斷方向進行動作，當檢測刀具動作過程中，遇阻觸發(fā)故障信號，則判定切筋刀具異常。

作為優(yōu)選，檢測刀具的檢測刀齒與切筋刀具的全部切斷刀齒一一對應設置；或者，檢測刀具的檢測刀齒與切筋刀具的部分切斷刀齒對應設置。

作為優(yōu)選，檢測刀具還包括flash除膠刀齒。

作為優(yōu)選，檢測刀齒的端部為圓錐，flash除膠刀齒的端部為棱錐。

作為優(yōu)選，檢測刀齒的長度不小于引線框架的厚度。

作為優(yōu)選，檢測刀齒的厚度與寬度小于切斷位置的尺寸。

作為優(yōu)選，切筋模具還包括固定座、頂針、傳感裝置，檢測刀具的一端與頂針對應設置，傳感裝置固定設置于固定座，頂針沿切斷方向活動設置于固定座，傳感裝置與頂針的位置相適配；檢測刀具沿切斷方向活動穿設于固定座，檢測刀具的一端掛裝于固定座內(nèi)，與頂針對應設置；設置檢測刀齒的一端穿設出固定座；固定座沿切斷方向下降時，檢測刀具與頂針跟隨下降，當檢測刀具遇阻后，頂針觸發(fā)傳感裝置，進而觸發(fā)故障信號。

作為優(yōu)選，傳感裝置包括相對設置的光發(fā)射器與光接收器，當頂針位于光發(fā)射器與光接收器之間光路上時，傳感裝置形成反饋信號，通過反饋信號觸發(fā)故障信號。

作為優(yōu)選，切筋模具還包括固定座、傳感裝置，傳感裝置固定設置于固定座；檢測刀具沿切斷方向活動穿設于固定座，檢測刀具的一端掛裝于固定座內(nèi)，與傳感裝置對應設置；設置檢測刀齒的一端穿設出固定座；固定座沿切斷方向下降時，檢測刀具跟隨下降，當檢測刀具遇阻后，觸發(fā)傳感裝置，進而觸發(fā)故障信號。

作為優(yōu)選，傳感裝置為壓力傳感器，當檢測刀具擠壓壓力傳感器，壓力傳感器形成反饋信號，通過反饋信號觸發(fā)故障信號。

本發(fā)明的有益效果如下：