[發(fā)明專利]一種靜電卡盤固定結(jié)構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011173116.7
• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN114496691A
• 公開（公告）日: 2022-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姜東勛;周娜;王佳;李琳;李俊杰
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所;真芯(北京)半導(dǎo)體有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01L21/683;H01L21/67
• 代理公司: 北京天達知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11386
• 代理人: 姚東華

1.一種靜電卡盤固定結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述固定結(jié)構(gòu)由聚焦環(huán)和基底組成；

所述基底工作側(cè)上設(shè)置有第一連接部；

所述聚焦環(huán)的環(huán)平面上設(shè)置第二連接部；

所述聚焦環(huán)包覆靜電卡盤的邊緣；

所述基底和所述聚焦環(huán)通過所述第一連接部與所述第二連接部卡合連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述第一連接部包括：連接槽；所述第二連接部包括：連接筋；

所述連接槽與所述連接筋形狀匹配；

所述連接筋與所述連接槽內(nèi)側(cè)抵接實現(xiàn)所述第一連接部與所述第二連接部的卡合連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述連接槽包括：環(huán)形槽和條形槽；

所述連接筋的形狀和大小與所述連接槽匹配。

4.根據(jù)權(quán)利要求2述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述連接槽縱截面為矩形，所述連接筋的形狀與所述連接槽縱截面的形狀相匹配。

5.根據(jù)權(quán)利要求2述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述連接槽縱截面為三角形，所述連接筋的形狀與所述連接槽縱截面的形狀相匹配。

6.根據(jù)權(quán)利要求2述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述連接槽縱截面為弧形，所述連接筋的形狀與所述連接槽縱截面的形狀相匹配。

7.根據(jù)權(quán)利要求1述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述第一連接部包括：連接孔；所述第二連接部包括：插件；

所述插件與所述連接孔形狀匹配；

所述插件與所述連接孔孔壁抵接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述連接孔包括：方孔或圓形孔，所述插件與所述方孔或所述圓形孔的形狀和尺寸相匹配。

9.根據(jù)權(quán)利要求7述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述連接孔孔壁為球面，所述插件與所述球面的形狀和尺寸相匹配。

10.根據(jù)權(quán)利要求7述的結(jié)構(gòu)，其特征在于，

所述連接孔包括錐形孔，所述插件與所述錐形孔的形狀和尺寸相匹配。。