[發明專利]氣氛置換裝置和熱處理系統

有效

• 申請號: 202011172574.9
• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN112746155B
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發明（設計）人: 松田伸
• 申請（專利權）人: 捷太格特熱系統株式會社
• 主分類號: C21D1/76
• 分類號: C21D1/76;C23G5/04
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;黃綸偉

提供氣氛置換裝置和熱處理系統，在工件搬入時能夠根據工件搬出目的地的室的氣氛來高效地置換氣氛置換室的氣氛，防止在工件搬出后從工件搬出目的地的室流入的氣體滯留在氣氛置換室中，從而防止流入的氣體對工件產生影響。在氣氛置換室(21)中設置有提供氣氛置換用氣體的氣體提供口(22)和在置換氣氛時將氣氛置換室(21)內的氣體向外排出的氣體排出口(23)。第1氣體提供部(24)在工件(16)被搬入到氣氛置換室(21)的狀態下將作為氣氛置換用氣體的第1氣體從氣體提供口(22)提供到氣氛置換室(21)。第2氣體提供部(25)在工件(16)從氣氛置換室(21)搬出之后將作為氣氛置換用氣體的第2氣體從氣體提供口(22)提供到氣氛置換室(21)。

技術領域

本發明涉及供工件搬入和搬出并且置換內部的氣氛的氣氛置換裝置以及具有該氣氛置換裝置的熱處理系統。

背景技術

以往，在維持為規定的氣氛狀態的室內對工件實施熱處理等處理的情況下，防止大氣從搬入工件的入口流入到室內。

在專利文獻1中公開了一種連續式燒結爐，其具有：脫蠟裝置，其供作為被燒結體的工件搬入而對該工件進行加熱，進行使包含油脂成分的粘結劑氣化而將該粘結劑去除的處理；以及燒結裝置，其對從脫蠟裝置搬送的工件進行燒結。在專利文獻1的連續式燒結爐中，在脫蠟裝置中，始終提供朝向搬入工件的入口側流動的氧化性氣體，防止大氣從入口流入到脫蠟裝置的室內。但是，在專利文獻1的連續式燒結爐的情況下，需要在進行工件處理的脫蠟裝置的室內始終持續提供氧化性氣體。因此，在構成進行工件處理的室內的氣氛的氣體是高價氣體的情況下，會導致成本大幅上升。

另一方面，在專利文獻2中，公開了一種連續式熱處理裝置，其具有：真空容器，其形成有供工件搬入的搬入室和對搬入到搬入室的工件進行熱處理的處理室；以及裝載鎖定裝置，其具有與真空容器的搬入室連結的裝載鎖定室。在專利文獻2的連續式熱處理裝置中，裝載鎖定裝置構成為在將裝載鎖定室內的氣氛置換為惰性氣體氣氛的狀態下在裝載鎖定室與搬入室之間交接被處理物。即，裝載鎖定裝置具有作為供工件搬入和搬出的裝載鎖定室的氣氛置換室，構成為置換氣氛置換室的內部的氣氛的氣氛置換裝置。在專利文獻2所公開的連續式熱處理裝置中，通過在處理室的入口側設置裝載鎖定裝置，將進行工件的熱處理的處理室的氣氛與外部隔斷，防止大氣流入處理室內。

專利文獻1：日本特開2009-215627號公報

專利文獻2：日本特許第6469747號公報

如果使用專利文獻2所公開的作為裝載鎖定裝置的氣氛置換裝置，則在向氣氛置換室搬入工件時能夠根據與氣氛置換室連結的工件搬出目的地的室的氣氛來高效地置換供工件搬入和搬出的氣氛置換室的氣氛。因此，根據專利文獻2所公開的氣氛置換裝置，能夠防止在維持為規定的氣氛狀態的室內對工件實施熱處理等處理的情況下大氣從搬入工件的入口流入室內。

另外，根據專利文獻2所公開的氣氛置換裝置，在工件被搬入到氣氛置換室內的狀態下置換氣氛置換室內的氣氛，接著，將工件從氣氛置換室向工件搬出目的地的室搬出。因此，只要在置換氣氛置換室的氣氛時提供氣氛置換用的氣體即可，不需要始終持續提供氣體。由此，能夠減少氣體的使用量，能夠抑制成本的上升。特別是在構成進行工件處理的室內的氣氛的氣體是高價氣體的情況下，能夠減少高價氣體的使用量，能夠大幅抑制成本的上升。

但是，根據專利文獻2所公開的氣氛置換裝置，在對搬入了工件的氣氛置換室內的氣氛進行了置換之后，在將工件從氣氛置換室向工件搬出目的地的室搬出時，工件搬出目的地的室內的氣體流入到氣氛置換室。因此，在將工件從氣氛置換室搬出之后，從工件搬出目的地的室流入的氣體滯留在氣氛置換室中。如果在工件搬出后從工件搬出目的地的室流入的氣體滯留在氣氛置換室中，則在向氣氛置換室新搬入工件時，從工件搬出目的地的室流入的氣體所包含的成分有可能對工件產生影響。