[發明專利]一種晶圓光刻用光罩組件

在審

• 申請號: 202011168186.3
• 申請日: 2020-10-28
• 公開（公告）號: CN112230510A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 趙震
• 申請（專利權）人: 臨漳縣澳皇網絡科技有限公司
• 主分類號: G03F1/64
• 分類號: G03F1/64
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發明公開了一種晶圓光刻用光罩組件，其結構包括安裝機構、聚焦鏡、固定環、玻璃管、底座，安裝機構鑲嵌設于聚焦鏡的上端內側面，聚焦鏡設于玻璃管的內側端面，固定環貼合包裹在玻璃管的橫向外側端面，玻璃管嵌固安裝在底座的正上方，隨著圖板的不斷施壓拉扯鑲嵌機構使倒角槽與活動機構之間的距離不斷遠離直至倒角槽貼合在固定座的上端左右兩側，利用鑲嵌機構的壁厚填充電路板與安裝機構內端面之間的間隙，由于鑲嵌機構皆采用橡膠材質制成，當其受拉扯或擠壓時可有效產生形變避免兩者間的摩擦。

技術領域

本發明屬于晶圓光刻顯影領域，更具體地說，尤其是涉及到一種晶圓光刻用光罩組件。

背景技術

又稱光掩模版、掩膜版是由石英玻璃作為襯底，在其上面鍍上一層金屬鉻和感光膠，成為一種感光材料，把已設計好的電路圖形通過電子激光設備曝光被曝光的區域會被顯影出來，然后應用于集成電路進行投影定位，通過集成電路光刻機對所投影的電路進行光蝕刻。

基于上述本發明人發現，現有的主要存在以下幾點不足，比如：當在將電路圖板安裝至定位槽上端表面時，需將電路板順著定位槽槽壁向下推動，而在安裝電路圖板且失去平衡時，會使電路圖板的一邊端面優先嵌入定位槽，使另一端面與定位槽內輪廓間存在間隙，在電路圖板在嵌入定位槽內曝光的同時，其橫向外輪廓壁會與定位槽內壁相摩擦，導致兩者連接端面在壓下安裝的過程中持續發生碰撞，從而影響電路圖板光刻精度與電路圖板完整度。

因此需要提出一種晶圓光刻用光罩組件。

發明內容

為了解決上述技術當在將電路圖板安裝至定位槽上端表面時，需將電路板順著定位槽槽壁向下推動，而在安裝電路圖板且失去平衡時，會使電路圖板的一邊端面優先嵌入定位槽，使另一端面與定位槽內輪廓間存在間隙，在電路圖板在嵌入定位槽內曝光的同時，其橫向外輪廓壁會與定位槽內壁相摩擦，導致兩者連接端面在壓下安裝的過程中持續發生碰撞，從而影響電路圖板光刻精度與電路圖板完整度的問題。

本發明一種晶圓光刻用光罩組件的目的與功效，由以下具體技術手段所達成：其結構包括安裝機構、聚焦鏡、固定環、玻璃管、底座，所述安裝機構鑲嵌設于聚焦鏡的上端內側面，所述聚焦鏡設于玻璃管的內側端面，所述固定環貼合包裹在玻璃管的橫向外側端面，所述玻璃管嵌固安裝在底座的正上方；所述安裝機構包括鑲嵌機構、透光鏡、固定座、嵌固塊，所述鑲嵌機構鑲嵌設于固定座的正上方，所述透光鏡貼合于固定座的下側端面，所述固定座鑲嵌卡合連接著嵌固塊，所述嵌固塊位于鑲嵌機構的正下方。

其中，所述鑲嵌機構包括鑲嵌塊、活動機構、貼合機構、倒角槽、橡膠環，所述鑲嵌塊對稱安裝在橡膠環的左右兩側，所述活動機構鑲嵌卡合安裝在鑲嵌機構的內側端面，所述貼合機構鑲嵌設于鑲嵌機構的內側端面，所述倒角槽對稱安裝在橡膠環的左右兩側，所述橡膠環采用橡膠材質制成。

其中，所述活動機構包括活動塊、柔性層、嵌固槽、橡膠槽、雙層軸，所述活動塊位于嵌固槽的左側方，所述柔性層鑲嵌卡合安裝在橡膠槽的左側上方，所述嵌固槽貼合包裹于橡膠槽的外側端面，所述橡膠槽鑲嵌設于雙層軸的右側方，所述雙層軸活動卡合連接著柔性層，所述橡膠槽的內輪廓呈直角狀且設有倒角。

其中，所述柔性層包括彈性繩、第二嵌固塊、第二鑲嵌塊、嵌固板，所述彈性繩左右兩側鑲嵌卡合連接著第二嵌固塊，所述第二嵌固塊嵌固安裝在柔性層的內側端面，所述第二鑲嵌塊鑲嵌設于柔性層的下端表面，所述嵌固板貼合于第二嵌固塊的外側端面，所述第二鑲嵌塊表面設有環狀條可與雙層軸內端面鑲嵌。

其中，所述貼合機構包括牽引環、嵌連塊、定位塊、第二活動塊，所述牽引環鑲嵌設于貼合機構的內側端面，所述嵌連塊鑲嵌卡合安裝在第二活動塊的上端面，所述定位塊嵌固安裝在第二活動塊的下端面，所述第二活動塊對稱安裝在牽引環的左右兩端，所述定位塊與第二活動塊的連接端面呈夾角狀。