[發明專利]太陽能單晶高效PERC+SE電池片的低壓擴散工藝

有效

• 申請號: 202011166593.0
• 申請日: 2020-10-27
• 公開（公告）號: CN112466984B
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: 劉杰;張澤澤;申爭浩;劉栩瑞;劉照敏
• 申請（專利權）人: 山西潞安太陽能科技有限責任公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/225;H01L31/068
• 代理公司: 太原市科瑞達專利代理有限公司 14101
• 代理人: 李富元

1.一種太陽能單晶高效PERC+SE電池片的低壓擴散工藝，其特征在于：包括如下步驟

步驟一、擴散前高溫氧化，工藝條件為：溫度650℃～800℃，氮氣流量500sccm～2000sccm，氧氣流量為500sccm～1000sccm，壓強為50mbar～150mbar，持續時間100s～200s；

步驟二、分步擴散法制備PN結

第一步低壓擴散，工藝條件為：壓強為50mbar～150mbar，擴散溫度為750℃～ 780℃，擴散時間為100s～300s，氮氣流量為1000sccm～2000 sccm，三氯氧磷流量為 600sccm～1000sccm，氧氣流量為300sccm～1000sccm；

保溫緩沖，工藝條件為：壓強為50mbar～150mbar，擴散溫度為750℃～ 780℃，氮氣流量為1000sccm～2000 sccm，氧氣流量為300sccm～1000sccm，停止通入三氯氧磷，持續時間50 s～70s；

第二步低壓擴散，工藝條件為：壓強為50mbar～150mbar，擴散溫度為780℃～ 800℃，擴散時間為100s～300s，氮氣流量為1000sccm～2000 sccm，三氯氧磷流量為 500sccm～1000sccm；氧氣流量為300sccm～1000sccm；

第一步升溫推進，工藝條件為：壓強為50mbar～150mbar，推進溫度為800℃～ 900℃；推進時間為300s～500s，氮氣流量為1000sccm～2000 sccm；

第二步升溫推進，第二步升溫推進分為兩步，首先，采用低氧推進，然后再采用無氧推進，低氧推進工藝條件為：壓強為50mbar～150mbar，推進溫度為800℃～ 900℃；推進時間為100s～300s，氮氣流量為1000sccm～2000 sccm，氧氣流量為100～500sccm；無氧推進工藝條件為：壓強為50mbar～150mbar，推進溫度為800℃～ 900℃；推進時間為400s～1700s，氮氣流量為1000sccm～2000 sccm;

步驟三、后氧化，工藝條件為：壓強為50mbar～150mbar，氧化時間200s～500s，通入氧氣流量為500～1000sccm，氮氣流量為500sccm～2000sccm，溫度750℃～800℃。

2.根據權利要求1所述的一種太陽能單晶高效PERC+SE電池片的低壓擴散工藝，其特征在于：太陽能單晶高效PERC+SE電池片為P型摻硼單晶硅片。