[發明專利]快照式穆勒矩陣橢偏儀相位延遲量誤差的通用校準方法

有效

• 申請號: 202011163917.5
• 申請日: 2020-10-27
• 公開（公告）號: CN112378861B
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 陳修國;王鵬;張勁松;石雅婷;劉世元
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G01N21/21
• 分類號: G01N21/21;G06F17/15;G06F17/16
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 孔娜;李智

1.一種快照式穆勒矩陣橢偏儀相位延遲量誤差的通用校準方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1、按預設相位延遲器厚度比搭建快照式穆勒矩陣橢偏儀，通過該快照式穆勒矩陣橢偏儀分別對三組標準樣品進行測量，得到三組測量光譜；

S2、分別對三組測量光譜進行頻域分析得到頻域信號，然后對頻域信號進行分通道處理得到多階頻率通道，再根據相位延遲器厚度比對頻率通道進行選擇；

S3、對選擇的頻率通道進行波數域分析計算，獲得各頻率通道對應的測量光譜三角函數展開式的實頻系數與虛頻系數，進而得到各相位延遲器的相位延遲量誤差，完成快照式穆勒矩陣橢偏儀相位延遲量誤差校準；

所述快照式穆勒矩陣橢偏儀中，以起偏器方位角作為參考，檢偏器方位角為90°，四片相位延遲器的方位角依次分別為45°、0°、0°、45°；所述三組標準樣品中，第一組標準樣品為方位角為0°的偏振片，第二組標準樣品為方位角為0°與45°的兩個偏振片組合，第三組標準樣品為方位角為45°與0°的兩個偏振片組合。

2.如權利要求1所述的快照式穆勒矩陣橢偏儀相位延遲量誤差的通用校準方法，其特征在于，還包括如下步驟：

S4、選擇校準后相位延遲量誤差的中心波段，對其進行二階多項式擬合，進一步校準相位延遲量誤差。

3.如權利要求1所述的快照式穆勒矩陣橢偏儀相位延遲量誤差的通用校準方法，其特征在于，所述步驟S2中，先通過傅里葉變換對測量光譜進行頻域分析得到頻域信號，然后按由相位延遲器基礎厚度決定的基礎頻率f₀將頻域信號劃分為多階頻率通道，其中，第j階頻率通道中頻率范圍為(j–1/2)f₀～(j+1/2)f₀。

4.如權利要求1所述的快照式穆勒矩陣橢偏儀相位延遲量誤差的通用校準方法，其特征在于，所述相位延遲器厚度的最簡整數比為d₁：d₂：d₃：d₄；所述步驟S2中，頻率通道的選擇原則為：對于第一組標準樣品測量光譜的頻域信號，先選擇d₁+d₄階頻率通道，然后，若d₁≠|d₁–d₄|，則選擇d₁階頻率通道，否則選擇d₄階頻率通道；對于第二組標準樣品測量光譜的頻域信號，選擇d₁+d₃+d₄階頻率通道；對于第三組標準樣品測量光譜的頻域信號，選擇d₁+d₂+d₄階頻率通道，以此完成四個頻率通道的選擇。

5.如權利要求1所述的快照式穆勒矩陣橢偏儀相位延遲量誤差的通用校準方法，其特征在于，所述步驟S3中，對選擇的頻率通道進行波數域分析計算具體包括：對選擇的頻率通道進行傅里葉逆變換，然后根據傅里葉逆變換結果的相位信息，求取各頻率通道對應的測量光譜三角函數展開式的實頻系數與虛頻系數。

6.如權利要求1-5任一項所述的快照式穆勒矩陣橢偏儀相位延遲量誤差的通用校準方法 ，其特征在于，所述步驟S3中，根據求得的實頻系數與虛頻系數求解相位延遲量誤差的線性組合，進而通過線性運算得到四片相位延遲器的相位延遲量誤差。