[發(fā)明專利]三針式交流等離子體發(fā)生裝置及其使用方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011162811.3
• 申請日: 2020-10-27
• 公開（公告）號(hào): CN112203391B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 肖真;黃思源;張烈平
• 申請（專利權(quán)）人: 四川眾創(chuàng)智信科技發(fā)展有限公司
• 主分類號(hào): H05H1/48
• 分類號(hào): H05H1/48;H05H1/24
• 代理公司: 成都正華專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51229
• 代理人: 李蕊

本發(fā)明提供了一種三針式交流等離子體發(fā)生裝置及其使用方法，其包括等離子基座，等離子基座頂端設(shè)有貫穿等離子基座的出氣管，等離子基座頂部以出氣管的軸線為對稱軸對稱設(shè)有電極支架，電極支架頂部可拆卸連接有電極棒，且電極支架底部貫穿等離子基座；等離子基座頂端還設(shè)有貫穿離子基座的引弧支架，引弧支架頂端設(shè)有引弧電極片和反向限位件，且引弧電極片位于反向限位件和出氣管之間，引弧電極片的中上部分與反向限位件之間的夾角為α，電極支架和引弧支架上均套設(shè)有絕緣套，且絕緣套與等離子基座接觸。解決了現(xiàn)有技術(shù)中等離子體發(fā)生器的結(jié)構(gòu)適配于直流電源直接供電，存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜的等問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及等離子體發(fā)生裝置技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種三針式交流等離子體發(fā)生裝置及其使用方法。

背景技術(shù)

隨著等離子體技術(shù)的廣泛應(yīng)用，等離子體發(fā)生器裝置的穩(wěn)定性和可靠性越來越受行人們關(guān)注，現(xiàn)有等離子體發(fā)生器基本采用直流電源的方式驅(qū)動(dòng)，不僅對等離子體發(fā)生器電源要求很高，電路復(fù)雜，實(shí)現(xiàn)大功率的等離子體電源比較困難，且成本也比較高；直流等離子體發(fā)生器主要由陰極、陽極和供氣系統(tǒng)組成，離子體主要集中在很小的區(qū)域，高溫、氧化、電流的沖擊等因素，陰極極易損耗，需要特殊材料和根據(jù)環(huán)境選擇保護(hù)性氣體對陰極進(jìn)行保護(hù)，無論采用什么方式，受電極材料的固有特性影響，導(dǎo)致等離子體發(fā)生器的使用壽命受到電極使用壽命受的限制，使其不能長時(shí)間、連續(xù)的工作；且直流產(chǎn)生等離子體不穩(wěn)定，溫度波動(dòng)較大；且結(jié)構(gòu)復(fù)雜，維修困難，制造成本高。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中的上述問題，本發(fā)明提供了一種三針式交流等離子體發(fā)生裝置及其使用方法，解決了現(xiàn)有技術(shù)中等離子體發(fā)生器的結(jié)構(gòu)適配于直流電源直接供電，存在結(jié)構(gòu)復(fù)雜的等問題。

為了達(dá)到上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案如下：

第一方面，提供一種三針式交流等離子體發(fā)生裝置，其包括三針式等離子體發(fā)生組件和電源組件；所述三針式等離子體發(fā)生組件包括：

等離子基座，等離子基座頂端設(shè)有貫穿等離子基座的出氣管，出氣管的兩側(cè)分別設(shè)有一個(gè)電極支架，且電極支架底部貫穿等離子基座，電極支架頂部開設(shè)有用于安裝電極棒的電極通孔，且電極支架頂端設(shè)有用于固定電極棒的固定件；

等離子基座頂端還設(shè)有貫穿離子基座的引弧支架，引弧支架頂端設(shè)有引弧電極片和反向限位件，且引弧電極片位于反向限位件和出氣管之間，引弧電極片的中上部分與反向限位件之間的夾角為α；

電極支架和引弧支架上均套設(shè)有絕緣套，且絕緣套與等離子基座接觸；

電源組件包括分別與電極支架和引弧支架貫穿等離子基座的一端連接的等離子體發(fā)生器電源和引弧電源，引弧電源包括依次連接的電流采樣器、控制器和引弧器，引弧器與引弧支架連接，且電流采樣器與等離子體發(fā)生器電源連接。

進(jìn)一步地，兩個(gè)電極支架和引弧支架上均套設(shè)有絕緣套。

進(jìn)一步地，引弧支架和其中一個(gè)電極支架上均套設(shè)有絕緣套。減少絕緣套的數(shù)量，進(jìn)而簡化等離子基座的結(jié)構(gòu)，便于加工，降低了裝置的制造成本。使用時(shí)，未設(shè)置絕緣套的電極支架與裝置外殼接地，實(shí)現(xiàn)電極支架和引弧支架間的絕緣。

進(jìn)一步地，絕緣套的截面呈工字形，且絕緣套的豎直段開設(shè)有貫穿豎直段的安裝孔，且安裝孔的軸線與絕緣套的水平段垂直，絕緣套的材料為陶瓷材料。

進(jìn)一步地，電極支架和引弧支架均套設(shè)有環(huán)狀的限位凸環(huán)，限位凸環(huán)的底面與絕緣套頂端或等離子基座頂端貼合。

進(jìn)一步地，電極支架頂端開設(shè)有與電極通孔連通的螺紋孔，固定件為螺絲，且固定件與螺紋孔配合。

進(jìn)一步地，出氣管頂部套設(shè)有陶瓷擋環(huán)，且陶瓷擋環(huán)沿徑向向外設(shè)有截面呈矩形的擋環(huán)凸起，擋環(huán)凸起的端面正對引弧電極片的內(nèi)側(cè)，出氣管穿過等離子基座的一端連接有氣管接頭。