[發明專利]進行基板快速交互搬送的機構及其搬送方法

有效

• 申請號: 202011161904.4
• 申請日: 2020-10-27
• 公開（公告）號: CN112249685B
• 公開（公告）日: 2022-04-01
• 發明（設計）人: 陳韶華;余海春;戴曉東;靳偉;戴秀海
• 申請（專利權）人: 光馳科技（上海）有限公司
• 主分類號: B65G47/90
• 分類號: B65G47/90;B65G47/74
• 代理公司: 上海申蒙商標專利代理有限公司 31214
• 代理人: 周宇凡

本發明涉及濺射成膜設備技術領域，尤其是一種進行基板快速交互搬送的機構及其搬送方法，其特征在于：所述機構包括至少兩個夾持部以及旋轉機構，其中所述夾持部與基板相吻合適配以對其進行夾持，所述旋轉機構連接所述夾持部并可驅動至少兩個所述夾持部可旋轉以交換所述夾持部的對應位置。本發明的優點是：實現位于不同空間內的基板的快速交互搬送；結構簡單合理，便于擴展，可適應于不同應用場合；使用方便，適于推廣。

技術領域

本發明涉及濺射成膜設備技術領域，尤其是一種進行基板快速交互搬送的機構及其搬送方法。

背景技術

近年來，智能手機、平板電腦、AR/VR眼鏡等電子產品市場蓬勃發展；相應地，這些智能終端的品質提升也對此類產品所需觸摸屏的鍍膜技術提出了更高要求。

針對目前市場越來越多樣化，各種不同形狀的產品（曲面、弧面）都有鍍膜要求，單一的平面載體基板已無法滿足不同產品的需求。異形基板越來越多，鍍膜要達到相同的均勻性，成膜時基板的運行方式需要改變，公自轉的形式應運而生，也就是說，在整體掛架進行公轉的同時，每塊基板也要進行一定速度的自轉，并且原來的平面基板也要改變成圓筒狀基板，但目前針對此類基板的搬送存在效率較低且機構復雜的情況，不利于生產。

發明內容

本發明的目的是根據上述現有技術的不足，提供了進行基板快速交互搬送的機構及其搬送方法，通過驅動同時抓取位于不同空間內基板的夾持部同步旋轉，配合伸縮機構實現基板的夾取和推送，實現不同空間內基板的快速交互搬送。

本發明目的實現由以下技術方案完成：

一種進行基板快速交互搬送的機構，其特征在于：所述機構包括至少兩個夾持部以及旋轉機構，其中所述夾持部與基板相吻合適配以對其進行夾持，所述旋轉機構連接所述夾持部并可驅動所述夾持部旋轉，以使各個所述夾持部移動到指定位置。

所述旋轉機構連接所述夾持部并可驅動所述夾持部旋轉，以交換各個所述夾持部的對應位置。

連接不同的所述夾持部的所述旋轉機構相互獨立，所述旋轉機構獨立連接所述夾持部并可驅動所述夾持部旋轉，以使各個所述夾持部移動到指定位置。

所述旋轉機構包括與所述夾持部的數量構成對應的獨立轉盤，所述獨立轉盤分別單獨連接有旋轉驅動裝置，所述獨立轉盤上分別單獨連接有所述夾持部。

所述機構還包括伸縮機構，所述伸縮機構與所述夾持部相連接以驅動所述夾持部沿其抓取方向伸縮。

所述夾持部包括夾手和夾臂，所述夾手安裝在所述夾臂上，所述夾臂與所述伸縮機構相連接。

所述夾手具有夾托和彈簧，所述彈簧設置在所述夾托的內側以使所述夾托在對基板進行夾持時可產生一定彈性位移。

所述夾持部的旋轉是同步旋轉。

一種涉及上述的進行基板快速交互搬送的機構的搬送方法，用于不同空間內的基板的快速交互搬送，其特征在于：使每個夾持部分別對應夾取位于不同空間內的基板，通過旋轉機構驅動所述夾持部旋轉，使所述夾持部移動到指定位置，之后通過各夾持部在指定位置推送所述基板。

在所述夾持部進行夾取和/或推送所述基板時，通過所述旋轉機構驅動所述夾持部旋轉以進行其夾取位置或推送位置補償。

所述夾持部移動到指定位置是指，使各個所述夾持部相互切換位置，之后通過各夾持部在切換后的位置推送所述基板。

所述夾持部在完成所述基板的夾取后，在伸縮機構的驅動下向所述旋轉機構的旋轉中心方向收縮，收縮一定行程后再通過所述旋轉機構驅動旋轉進行位置移動；移動到位后，所述夾持部在所述伸縮機構的驅動下伸出進行所述基板的推送。

本發明的優點是：實現位于不同空間內的基板的快速交互搬送；結構簡單合理，便于擴展，可適應于不同應用場合；使用方便，適于推廣。