[發明專利]一種鈦靶材組件的車削方法

在審

• 申請號: 202011158921.2
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112404461A
• 公開（公告）日: 2021-02-26
• 發明（設計）人: 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;徐蔓
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23B1/00
• 分類號: B23B1/00;B23P15/00;B23Q11/10
• 代理公司: 北京遠智匯知識產權代理有限公司 11659
• 代理人: 王巖

1.一種鈦靶材組件的車削方法，其特征在于，所述車削方法包括如下步驟：

(1)將鈦錠切斷進行塑性變形，得到鈦靶材坯料；

(2)將步驟(1)得到的鈦靶材坯料與背板進行焊接，得到鈦靶材組件粗品；

(3)將步驟(2)得到的鈦靶材組件粗品中的所述鈦靶材坯料的濺射面依次進行粗車削和精車削，得到所述鈦靶材組件；

其中，所述精車削的待加工余量為0.4-0.6mm，所述精車削分為至少2刀進行車削。

2.根據權利要求1所述的車削方法，其特征在于，步驟(3)所述精車削分為4-9刀進行車削；

優選地，步驟(3)所述精車削的第一刀的進刀量為0.2-0.25mm，后續每一刀的進刀量為0.03-0.07mm；

優選地，步驟(3)所述精車削的轉動速度為200-300r/min。

3.根據權利要求1或2所述的車削方法，其特征在于，步驟(3)所述粗車削的待加工余量為0.7-1.3mm；

優選地，步驟(3)所述粗車削的每一刀的進刀量為0.3-0.5mm；

優選地，步驟(3)所述粗車削的轉動速度為200-300r/min。

4.根據權利要求1-3任一項所述的車削方法，其特征在于，步驟(3)所述粗車削和所述精車削均采用車削液；

優選地，所述車削液為乳化液的水溶液；

優選地，所述乳化液的水溶液的體積濃度為5-10％；

優選地，所述乳化液的含油量為50-80vol％；

優選地，所述乳化液為加德士安快達3380水溶性車削液。

5.根據權利要求1-4任一項所述的車削方法，其特征在于，步驟(3)所述粗車削和所述精車削均采用的是臥式數控機床；

優選地，所述臥式數控機床為臺中精機VT22型號機床。

6.根據權利要求1-5任一項所述的車削方法，其特征在于，步驟(1)所述塑性變形包括依次進行的鍛造、退火、軋制、終端退火和機加工。

7.根據權利要求1-6任一項所述的車削方法，其特征在于，步驟(1)所述鈦錠的純度為99.995-99.999％。

8.根據權利要求1-7任一項所述的車削方法，其特征在于，步驟(2)所述背板為銅合金背板或鋁合金背板。

9.根據權利要求1-8任一項所述的車削方法，其特征在于，步驟(2)所述焊接為擴散焊接或釬焊。

10.根據權利要求1-9任一項所述的車削方法，其特征在于，所述車削方法包括如下步驟：

(1)將純度為99.995-99.999％的鈦錠切斷，依次進行包括鍛造、退火、軋制、終端退火和機加工在內的塑性變形，得到鈦靶材坯料；

(2)將步驟(1)得到的鈦靶材坯料與銅合金背板或鋁合金背板進行焊接，得到鈦靶材組件粗品；

其中，所述焊接為擴散焊接或釬焊；

(3)將步驟(2)得到的鈦靶材組件粗品放入臺中精機VT22型號機床內，對所述鈦靶材坯料的濺射面依次進行粗車削和精車削，得到所述鈦靶材組件；

其中，所述粗車削的待加工余量為0.7-1.3mm，所述粗車削的每一刀的進刀量為0.3-0.5mm，所述粗車削的轉動速度為200-300r/min；

所述精車削的待加工余量為0.4-0.6mm，所述精車削分為4-9刀進行車削，所述精車削的第一刀的進刀量為0.2-0.25mm，后續每一刀的進刀量為0.03-0.07mm，所述精車削的轉動速度為200-300r/min；

所述粗車削和所述精車削均采用加德士安快達3380水溶性車削液，所述車削液的體積濃度為5-10％。