[發明專利]一種探針痕的拍照檢測系統和方法

有效

• 申請號: 202011158590.2
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112362580B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 林永祥
• 申請（專利權）人: 琉明光電(常州)有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/88;G01N21/956
• 代理公司: 北京華際知識產權代理有限公司 11676
• 代理人: 黎芳芳

本發明屬于半導體芯片檢測技術領域，本發明公開了一種探針痕的拍照檢測系統和方法，包括遠程平臺控制端、拍照檢測模塊、質量評估模塊、打光模塊和無線通信模塊，所述遠程平臺控制端用于對各種模塊反饋的結果進行處理，所述拍照檢測模塊用于實時檢測拍照的焦點是否處于相機的中心，所述質量評估模塊用于對探針痕的大小進行檢測，所述打光模塊用于對打光的角度進行檢測，所述無線通信模塊用于將結果反饋給工作人員，以便于工作人員能夠及時處理相關結果，本發明科學合理，使用安全方便，利用拍照檢測單元能夠使得上傳的照片是高清照片，使得系統在檢測照片里的探針痕時能夠清晰比對，利用質量評估模塊對芯片的的屬性進行標注，使得工作人員了解到此芯片是何部門生產，以便于及時管理。

技術領域

本發明涉及半導體芯片的檢測技術領域，具體為一種探針痕的拍照檢測系統和方法。

背景技術

在芯片正式使用之前，通常會對芯片的好壞程度進行檢測，防止質量不達標的芯片進入市場，因此，每個生產芯片的廠商都會格外注意芯片的檢測，為了檢測芯片電極型，通常會使用探針對芯片的兩個極性端進行檢測，在用探針進行檢測時，需要用一定程度的力進行按壓，芯片表面就會產生面積大小不同的探針痕，為了不讓按壓力影響到芯片，會使用攝影機對芯片表面進行拍照，通過所拍照片來核對探針痕的面積大小來判定面積大小是否在預設值范圍內；

但是在利用攝像機對探針痕面積進行拍照時，會很容易將照片拍糊從而影響后期進行檢測，照片拍糊通常會有如下原因造成：

1.在進行拍照時，并沒有將攝像機里的焦點對準好，從而使得所拍照片變得模糊；

2.拍照的打光角度不對，會使得所拍照片中的產品無法具象化，使得工作人員無法看清照片；

因此，很多工廠在拍照時為了避免上述情況的發生，會移動平臺到固定角度來對產品進行打光，但是在移動平臺進行打光時，通常會有角度誤差產生，無法對角度誤差進行提前預測，從而導致誤差越來越大，影響到攝像機拍出高清照片；

所以，人們需要一種探針痕的拍照檢測系統和方法來解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種探針痕的拍照檢測系統和方法，以解決上述背景技術中提出的問題。

為了解決上述技術問題，本發明提供如下技術方案：一種探針痕的拍照檢測系統，該檢測系統包括遠程平臺控制端、拍照檢測模塊、質量評估模塊、打光模塊和無線通信模塊，所述遠程平臺控制端用于對各模塊反饋的結果進行處理，使得工作人員能夠根據遠程平臺控制端進行遠程控制計算機，所述拍照檢測模塊用于實時檢測攝像機的焦點是否處于攝像機焦點所在范圍，不會因為焦點的位置偏移使得所拍照片變得模糊，所述質量評估模塊用于對探針痕的面積大小進行檢測，從而能夠將不符合預設值的芯片挑選出來，所述打光模塊用于根據打光的角度進行實時檢測，使得打光的角度能夠在正常的偏移范圍進行打光，所述無線通信模塊用于將結果反饋給工作人員，使得工作人員能夠根據反饋的結果及時作出反饋，所述質量評估模塊、拍照檢測模塊和打光模塊與無線通信模塊相連接，所述遠程平臺控制端和無線通信模塊相連接。

優選的，所述拍照檢測模塊包括焦點檢測單元、位置對比單元、焦點修正單元和報警單元，所述焦點檢測單元用于對所述攝像機里的焦點位置進行檢測，使得焦點能夠處于攝像機的位置范圍內，所述位置對比單元用于判斷攝像機里的焦點是否處于焦點所在范圍，從而使得照片模糊不是因為焦點的偏移，所述焦點修正單元用于對焦點不在范圍時進行自動修正，從而保證能夠拍攝出一組探針痕的高清照片，所述報警單元用于對所拍結果不是高清照片進行報警，使得工作人員能夠從遠程平臺控制端控制攝像機重新拍照，所述焦點檢測單元的輸出端和位置對比單元的輸入端相連接，所述位置對比單元的輸出端和報警單元的輸入端相連接，所述焦點修正單元的輸出端和位置對比單元的輸入端相連接。