[發(fā)明專(zhuān)利]在線品檢裝置及其調(diào)整方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011158474.0
• 申請(qǐng)日: 2020-10-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112326676A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陶利權(quán);于高洋;王洪建;劉盈楹;王麗江;張瑋琪;王剛
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備研究所（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所）
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/89
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/89;G01N21/892;G01V8/10
• 代理公司: 北京超凡宏宇專(zhuān)利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張延薇

1.一種在線品檢裝置，其特征在于，包括側(cè)架組件(1)、光源組件(6)、支撐組件(7)和用于與光學(xué)檢測(cè)組件(9)可拆裝連接的上框架組件(8)；

所述側(cè)架組件(1)的數(shù)量為兩個(gè)，兩個(gè)所述側(cè)架組件(1)的中部通過(guò)中支梁(4)可拆裝連接；

兩個(gè)所述側(cè)架組件(1)的上部通過(guò)所述支撐組件(7)可拆裝連接所述上框架組件(8)；

所述光源組件(6)的兩端分別與兩個(gè)所述側(cè)架組件(1)可拆裝連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線品檢裝置，其特征在于，所述光源組件(6)能夠相對(duì)于所述側(cè)架組件(1)轉(zhuǎn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的在線品檢裝置，其特征在于，所述光源組件(6)包括光源(15)、聯(lián)桿軸(16)、筒軸(17)和聯(lián)桿座(18)；

所述光源(15)的兩端分別與所述聯(lián)桿軸(16)可拆裝連接；

所述筒軸(17)外套在所述聯(lián)桿軸(16)上，且所述聯(lián)桿軸(16)能夠相對(duì)于所述筒軸(17)轉(zhuǎn)動(dòng)；

所述筒軸(17)與所述聯(lián)桿座(18)可轉(zhuǎn)動(dòng)螺紋連接；

所述聯(lián)桿座(18)與所述側(cè)架組件(1)可拆裝連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的在線品檢裝置，其特征在于，所述光源(15)具有朝向所述上框架組件(8)的光束面(1501)；

所述光源組件(6)設(shè)置在所述中支梁(4)的上方。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線品檢裝置，其特征在于，所述支撐組件(7)包括支撐移動(dòng)座(19)、支座(21)和支撐調(diào)節(jié)件(22)；

所述支撐移動(dòng)座(19)與所述上框架組件(8)可拆裝連接；

所述支座(21)與所述側(cè)架組件(1)可拆裝連接；

所述支座(21)通過(guò)所述支撐調(diào)節(jié)件(22)與所述支撐移動(dòng)座(19)連接，以改變所述支座(21)與所述支撐移動(dòng)座(19)之間的距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的在線品檢裝置，其特征在于，所述支撐移動(dòng)座(19)連接有支套(20)；所述支套(20)與所述上框架組件(8)設(shè)置在所述支撐移動(dòng)座(19)的相對(duì)應(yīng)的兩面；

所述支撐調(diào)節(jié)件(22)為螺桿；所述支撐調(diào)節(jié)件(22)與所述支座(21)可轉(zhuǎn)動(dòng)螺紋連接，且所述支撐調(diào)節(jié)件(22)的一端穿過(guò)所述支座(21)與所述支套(20)可轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的在線品檢裝置，其特征在于，所述支撐移動(dòng)座(19)包括與所述上框架組件(8)連接的支撐移動(dòng)結(jié)合面(1901)，與所述側(cè)架組件(1)連接的支撐側(cè)架結(jié)合面(1902)和用于穿線的護(hù)線管引出口(1903)；所述護(hù)線管引出口(1903)設(shè)置在所述支撐移動(dòng)結(jié)合面(1901)上。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在線品檢裝置，其特征在于，兩個(gè)所述側(cè)架組件(1)的底部通過(guò)下支梁(2)可拆裝連接；

所述下支梁(2)通過(guò)第一連接件(3)與所述側(cè)架組件(1)可拆裝連接；所述中支梁(4)通過(guò)第二連接件(5)與所述側(cè)架組件(1)可拆裝連接；

所述側(cè)架組件(1)包括底梁(10)、豎梁(14)和兩個(gè)斜梁(12)；

所述豎梁(14)與所述底梁(10)垂直，且所述豎梁(14)與所述底梁(10)的中部通過(guò)第三連接件(11)可拆裝連接；

兩個(gè)所述斜梁(12)對(duì)稱(chēng)設(shè)置，且所述斜梁(12)的兩端分別與所述底梁(10)的端部和所述豎梁(14)的中部鉸接。