[發(fā)明專利]一種高壓實(shí)驗(yàn)制樣表征一體化組合方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011155247.2
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號(hào): CN112414807B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 靳常青;何鑫;馮少敏
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院物理研究所
• 主分類號(hào): G01N1/28
• 分類號(hào): G01N1/28;G01N27/04;G01N27/72;G01N19/00;G01N3/08
• 代理公司: 北京天達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11386
• 代理人: 吳利芳

1.一種高壓實(shí)驗(yàn)制樣表征一體化組合方法，其特征在于，所述組合方法包括：

S1、利用上壓砧和下壓砧在金屬封墊上預(yù)壓出一個(gè)凹痕；

S2、在凹痕的中心位置打一個(gè)第一小孔，第一小孔的孔徑略小于砧面直徑；之后將絕緣材料填充到第一小孔及其周邊，形成一層覆蓋整個(gè)壓痕的薄層；在薄層中間打一個(gè)第二小孔，作為放置樣品的高壓腔，其中第二小孔的直徑小于第一小孔；

S3、將金屬封墊裝配在下壓砧上，將高壓腔用傳壓介質(zhì)填滿、壓實(shí)后，在中心位置去掉部分傳壓介質(zhì)，為樣品留好空間；

S4、采用磁控濺射鍍膜在上壓砧的砧面上制備內(nèi)電極；

S5、采用磁控濺射鍍膜在制備了內(nèi)電極的上壓砧的砧面上制備樣品；

S6、在薄層上擺放外電極，外電極通過導(dǎo)線與測試儀表連接在一起；

S7、將上壓砧和下壓砧合緊，樣品被傳壓介質(zhì)包裹，同時(shí)內(nèi)外電極相互擠壓緊密接觸，形成從測試儀表到樣品的多條電流通路，至此完成樣品制備；能夠進(jìn)行電學(xué)表征。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高壓實(shí)驗(yàn)制樣表征一體化組合方法，其特征在于，所述S4包括：

S401、設(shè)計(jì)內(nèi)電極的圖形；

S402、內(nèi)電極掩膜制作；

S403、內(nèi)電極掩膜與上壓砧裝配；

S404、濺射鍍膜制備內(nèi)電極。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的高壓實(shí)驗(yàn)制樣表征一體化組合方法，其特征在于，所述S401中，所述內(nèi)電極(1)包括外側(cè)的用于與外電極相連的第一部(11)和內(nèi)側(cè)的用于與樣品連接的第二部(12)，所述第一部(11)為長方形，所述第二部(12)為銳角三角形，所述第一部(11)的一條邊長的一部分作為第二部(12)的底邊。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高壓實(shí)驗(yàn)制樣表征一體化組合方法，其特征在于，所述S403中，所述內(nèi)電極掩膜與上壓砧裝配中，保證掩膜與上壓砧的砧面緊密貼合。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的高壓實(shí)驗(yàn)制樣表征一體化組合方法，其特征在于，所述S404中，鍍內(nèi)電極之前，上壓砧表面先鍍一層Ti作為過渡層。

6.根據(jù)權(quán)利要求3-5中任一項(xiàng)所述的高壓實(shí)驗(yàn)制樣表征一體化組合方法，其特征在于，所述S5包括：

S501、設(shè)計(jì)樣品圖形；

S502、根據(jù)樣品圖形，制作樣品掩膜，并將樣品掩膜與上壓砧裝配，樣品掩膜對(duì)準(zhǔn)上壓砧砧面上已經(jīng)制作好的內(nèi)電極中間所留出的空間；

S503、濺射鍍膜制備樣品。