[發明專利]復合材料、化學電阻氣體傳感器與系統及制造和使用方法

在審

• 申請號: 202011154552.X
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112782242A
• 公開（公告）日: 2021-05-11
• 發明（設計）人: A·M·羅斯;A·佐普弗爾
• 申請（專利權）人: 英飛凌科技股份有限公司
• 主分類號: G01N27/12
• 分類號: G01N27/12
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 黃倩

1.一種復合材料(200)，包括：

石墨烯材料(210)；

碳納米管材料(220)；以及

含金屬的材料(230)，包括至少一種金屬元素。

2.根據權利要求1所述的復合材料，其中所述復合材料具有1:0.005的石墨烯材料與碳納米管材料的最小組成質量比，以及1:0.5的石墨烯材料與碳納米管材料的最大組成質量比。

3.根據權利要求1至2中任一項所述的復合材料，其中所述復合材料具有1:1的石墨烯材料與所述含金屬的材料的最小組成質量比，以及1:20的石墨烯材料與所述含金屬的材料的最大組成質量比。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的復合材料，其中所述含金屬的材料包括純金屬和/或合金和/或含金屬的化合物。

5.根據權利要求4所述的復合材料，其中所述含金屬的化合物包括金屬氧化物。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的復合材料，其中所述含金屬的材料包括金屬材料。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的復合材料，其中所述石墨烯材料包括石墨烯薄片。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的復合材料，其中所述含金屬的材料包括多種納米顆粒。

9.一種化學電阻式氣體傳感器(100)，包括：

根據權利要求1至8中任一項所述的復合材料；以及

電極結構，電氣地耦合到所述復合材料(200)。

10.根據權利要求9所述的化學電阻式氣體傳感器(100)，還包括熱耦合到所述復合材料(200)的加熱元件(124a)。

11.一種化學電阻式氣體感測系統，包括：

根據權利要求9或10所述的化學電阻式氣體傳感器；以及

集成電路(800)，被電氣地耦合到所述化學電阻式氣體傳感器(100)。

12.一種用于制造化學電阻式氣體傳感器的方法，其中所述方法包括：

形成包括根據權利要求1至8中任一項所述的復合材料的墨汁材料；以及

印刷所述墨汁材料。

13.根據權利要求12所述的方法，還包括：

在印刷所述墨汁材料之后，從所述墨汁材料去除溶劑。

14.一種檢測氣體的方法，包括：

提供根據權利要求1至8中任一項所述的復合材料；

將所述氣體吸附到所述復合材料；以及

從所述復合材料解吸所述氣體。

15.根據權利要求14所述的檢測氣體的方法，包括：

在吸附所述氣體之后、并且在解吸所述氣體之前，測量所述復合材料的電氣性質。