[發明專利]一種倒角機研削臺治具的清洗方法

在審

• 申請號: 202011154319.1
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112517528A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: 趙福見;賀賢漢;王琪琳;徐紅林;李永麗
• 申請（專利權）人: 上海中欣晶圓半導體科技有限公司
• 主分類號: B08B3/12
• 分類號: B08B3/12;B08B3/08;B08B3/14;B23D79/02
• 代理公司: 上海申浩律師事務所 31280
• 代理人: 趙建敏

本發明涉及清洗領域。一種倒角機研削臺治具的清洗方法，包括如下步驟：步驟一，清洗藥液的配置；清洗藥液包括100升純水、5升氫氧化鈉以及0.5升TSC?1清洗劑；步驟二，將藥液置入超聲波清洗機，藥液加熱至45℃?55℃，將研削臺治具浸沒在藥液中超聲波清洗25?30分鐘；步驟三，采用45℃?55℃的純水超聲波清洗；步驟四，風干或用氣槍吹干表面殘留水跡；步驟五，研削臺安裝主軸平面擦拭干凈；步驟六，安裝研削臺治具，安裝時，確認同心圓的精度以及研削臺的芯振面振。本專利可以徹底清潔研削臺治具的表面污染，以及長期加工過程中研削臺治具內部所存留的污垢及硅粉等。

技術領域

本發明涉及機械領域，具體涉及一種倒角機研削臺治具的清洗方法。

背景技術

為防止由于倒角機內研削臺的長期污染，對加工產品的后續品質造成一定的影響，往往對定期對研磨臺治具通過酒精或者抹布刷洗，然而，原有通過酒精及抹布的刷洗的方式，無法徹底去除研削臺治具的表面及內部的污染。

發明內容

針對現有技術存在的問題，本發明提供一種倒角機研削臺治具的清洗方法，以解決現有酒精刷洗不徹底的問題。

本發明的技術方案是：一種倒角機研削臺治具的清洗方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一，清洗藥液的配置；清洗藥液包括100升純水、5升氫氧化鈉以及0.5升TSC-1清洗劑；

步驟二，將藥液置入超聲波清洗機，藥液加熱至45℃-55℃，將研削臺治具浸沒在藥液中超聲波清洗25-30分鐘；

步驟三，采用45℃-55℃的純水超聲波清洗；

步驟四，風干或用氣槍吹干表面殘留水跡；

步驟五，研削臺安裝主軸平面擦拭干凈；

步驟六，安裝研削臺治具，安裝時，確認同心圓的精度以及研削臺的芯振面振。

本專利可以徹底清潔研削臺治具的表面污染，以及長期加工過程中研削臺治具內部所存留的污垢及硅粉等。

TSC-1清洗劑是市售的表面活性劑。

進一步優選地，所述步驟三中，純水超聲波清洗反復清洗2次。

進一步優選地，所述超聲波清洗機開設有一排水孔以及進水孔，所述進水孔通過兩進一出電磁閥分別連接一藥液槽以及純水槽；

所述藥液槽內存儲有所述藥液；

所述純水槽存儲有所述純水；

步驟二結束后，所述排水孔排出所述藥液，所述進水孔導入純水。

進一步優選地，所述研削臺治具是陶瓷研磨盤或者不銹鋼研磨盤。本專利的清洗方法適用于陶瓷研磨盤以及不銹鋼研磨盤的清洗。

進一步優選地，步驟六中，所述同心圓的精度在±100μm以內。便于保證清洗后的研削臺治具的研磨效果。

進一步優選地，所述同心圓精度的測量方法為研磨臺治具安裝在倒角機上后，通過千分表測量研磨臺治具的外圓。

進一步優選地，所述步驟六中，所述研削臺治具的芯振面振在±5μm。便于保證清洗后的研削臺治具的研磨效果。

進一步優選地，所述研削臺治具的芯振面振的測量方法為研磨臺治具安裝在倒角機上后，通過千分表測量研磨臺治具的上端面。

進一步優選地，所述步驟六中，所述研削臺治具的芯振面振在±5μm。

采用上述清洗方法對研削臺治具進行清洗并測試同心圓精度以及芯振面振的結果如下表：