[發(fā)明專利]一種基于雙鈣鈦礦單晶的紫外光探測器及制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011152593.5 | 申請日: | 2020-10-26 |
| 公開(公告)號: | CN112436069B | 公開(公告)日: | 2022-04-12 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 范建東;包云開;李聞?wù)?/a>;袁雅暄;張陽奕;孟嘯 | 申請(專利權(quán))人: | 暨南大學(xué) |
| 主分類號: | H01L31/101 | 分類號: | H01L31/101;H01L31/0264;H01L31/032;H01L31/0256 |
| 代理公司: | 廣州市華學(xué)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44245 | 代理人: | 文靜 |
| 地址: | 510632 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 基于 雙鈣鈦礦單晶 紫外光 探測器 制備 方法 | ||
1.一種基于雙鈣鈦礦單晶的紫外光探測器,其特征在于包括基板、雙鈣鈦礦單晶、電極和導(dǎo)電金絲;所述的雙鈣鈦礦單晶是通過A、BⅠ、BⅡ、X位組合成的雙鈣鈦礦單晶A2BIBⅡX6,其中,A=Ag-EN2,BⅠ=Na,BⅡ=Cr、Ga或Al,X=Cl。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙鈣鈦礦單晶的紫外光探測器,其特征在于:
所述的雙鈣鈦礦單晶位于基板之上;
所述的電極位于雙鈣鈦礦單晶之上;
所述的導(dǎo)電金絲連接電極進行測試。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙鈣鈦礦單晶的紫外光探測器,其特征在于:
所述的基板為玻璃基板。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于雙鈣鈦礦單晶的紫外光探測器,其特征在于:
所述的電極的材料為Au。
5.權(quán)利要求1~4任一項所述的基于雙鈣鈦礦單晶的紫外光探測器的制備方法,其特征在于包含如下步驟:
(1)配制鈣鈦礦前驅(qū)體溶液:
將AgCl、NH2CH2CH2NH2、BⅡ源化合物、NaCl與鹽酸混合,得到鈣鈦礦前驅(qū)體溶液,其中,BⅡ源化合物為AlCl3、乙酰丙酮鎵或乙酰丙酮鉻;
(2)將步驟(1)制得的鈣鈦礦前驅(qū)體溶液140~150℃加熱至溶質(zhì)完全溶解,然后以1.2℃/h的速率降至110℃,再以0.5℃/h的速率緩慢降溫至90℃,再以1℃/h的速率緩慢降溫至60℃,隨后在60℃持續(xù)加熱5h,最后以5℃/h的速率快速冷卻至20~30℃;
(3)將步驟(2)冷卻后生長出的晶體洗滌,退火處理,得到雙鈣鈦礦單晶;
(4)在步驟(3)制得的雙鈣鈦礦單晶表面上制備電極,然后將雙鈣鈦礦單晶固定在基板上,采用導(dǎo)電金絲和銀膠作為電極引腳,得到基于雙鈣鈦礦單晶的紫外光探測器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于雙鈣鈦礦單晶的紫外光探測器的制備方法,其特征在于:
步驟(1)中所述的AgCl、NH2CH2CH2NH2、BⅡ源化合物、NaCl摩爾比為1.8:5.6:(1.4~3.8):1;
步驟(1)中所述的鈣鈦礦前驅(qū)體溶液中,NaCl的濃度為0.0078g/mL。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于雙鈣鈦礦單晶的紫外光探測器的制備方法,其特征在于:
步驟(2)中所述的140~150℃加熱的時間為5h。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于雙鈣鈦礦單晶的紫外光探測器的制備方法,其特征在于:
步驟(3)中所述的洗滌采用異丙醇或乙酸乙酯沖洗。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的基于雙鈣鈦礦單晶的紫外光探測器的制備方法,其特征在于:
步驟(3)中所述的退火的條件為在空氣中373~423K退火2~2.5h。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射,或微粒輻射敏感的,并且專門適用于把這樣的輻射能轉(zhuǎn)換為電能的,或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導(dǎo)體器件;專門適用于制造或處理這些半導(dǎo)體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導(dǎo)體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉(zhuǎn)換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的,例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內(nèi)或其上形成的,一個或多個電光源,如場致發(fā)光光源在結(jié)構(gòu)上相連的,并與其電光源在電氣上或光學(xué)上相耦合的





