[發明專利]一種芯片清潔除塵裝置

在審

• 申請號: 202011152322.X
• 申請日: 2020-10-26
• 公開（公告）號: CN112387632A
• 公開（公告）日: 2021-02-23
• 發明（設計）人: 李雨馨;朱偉光
• 申請（專利權）人: 江西視晶光電有限公司
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B1/02;B08B5/04;B08B15/02;B08B13/00;B65G15/12
• 代理公司: 南昌佳誠專利事務所 36117
• 代理人: 閔蓉;詹彩霞

一種芯片清潔除塵裝置，屬芯片制造技術領域，包括驅動部、支撐部、清潔部、芯片和罩殼，支撐部安裝在驅動部中部，清潔部安裝在驅動部上且位于驅動部中間，芯片放置在驅動部上，罩殼安裝在驅動部側方，罩殼連接真空集塵裝置。驅動部包括主動輪、電機、后從動輪、前從動輪、寬距皮帶和窄距皮帶，主動輪連接電機，主動輪和后從動輪之間架設一組窄距皮帶，主動輪和前從動輪之間架設一組寬距皮帶。支撐部包括橫梁、連桿和耳片，連桿前端具有耳片，耳片上安裝清潔部。清潔部包括毛刷、刷盤、轉軸、旋轉接頭和聯管，毛刷安裝在刷盤上，轉盤上安裝轉軸，轉軸向上連接旋轉接頭，旋轉接頭連接聯管，聯管連接真空集塵裝置，轉軸安裝在耳片上。

技術領域

本發明屬于集成電路制造技術領域，尤其涉及一種芯片清潔除塵裝置。

背景技術

芯片制造過程中必不可少的一個環節是芯片清潔，往往在整個生產流程中需要多個清潔環節，而且往往芯片清潔有多個步驟，其中一個自然是吸塵，當前已經有較多的專用設備用于芯片清洗，還有一體化的芯片清洗設備，但是這些設備無一例外，成本高昂，操作復雜，對于清潔中的吸塵操作，大可研發一款成本低廉、操作簡便的芯片清潔除塵設備。

發明內容

本發明提供一種芯片清潔除塵裝置，以解決上述背景技術中的問題。

本發明所解決的技術問題采用以下技術方案來實現：

一種芯片清潔除塵裝置，包括驅動部、支撐部、清潔部、芯片和罩殼，支撐部安裝在驅動部中部，清潔部安裝在驅動部上且位于驅動部中間，芯片放置在驅動部上，罩殼安裝在驅動部側方，罩殼連接真空集塵裝置。驅動部包括主動輪、電機、后從動輪、前從動輪、寬距皮帶和窄距皮帶，主動輪連接電機，主動輪前后兩側分別具有后從動輪和前從動輪，主動輪和后從動輪之間架設一組窄距皮帶，主動輪和前從動輪之間架設一組寬距皮帶，芯片從寬距皮帶上向窄距皮帶移動。支撐部包括橫梁、連桿和耳片，連桿前端具有耳片，耳片上安裝清潔部。支撐部分別安裝在寬距皮帶和窄距皮帶的上沿的上方和下方。清潔部包括毛刷、刷盤、轉軸、旋轉接頭和聯管，毛刷安裝在刷盤上，轉盤上安裝轉軸，轉軸向上連接旋轉接頭，旋轉接頭連接聯管，刷盤、轉軸和旋轉接頭中心具有貫通的通孔，通孔與聯管連通，聯管連接真空集塵裝置，轉軸安裝在耳片上，可以在耳片上旋轉。

進一步的，罩殼包括殼體和真空管，殼體安裝在驅動部側部，真空管連接真空集塵裝置，將芯片經清潔部清潔而掉落的粉塵進行收集。

進一步的，窄距皮帶和寬距皮帶互相緊鄰安裝。

進一步的，整個裝置根據需要安裝四個、六個或八個橫梁。

進一步的，橫梁上均勻安裝1-5個連桿。

進一步的，殼體外側具有1-5個真空管。

本發明的有益效果是：

本發明用于芯片的清潔除塵工作，其具有寬度不一的兩組皮帶帶動芯片移動，隨著芯片的移動，均布的位于芯片上下的毛刷對芯片進行清潔，毛刷上方和驅動部側方均具有連接集塵裝置的管道，使得粉塵可以很好的被收集，很好的完成芯片的清潔除塵操作。

附圖說明

圖1是本發明的示意圖；

圖2是本發明的右視圖；

圖3是本發明的爆炸圖；

圖中：10.驅動部，11.主動輪，12.電機，13.后從動輪，14.前從動輪，15.寬距皮帶，16.窄距皮帶，20.支撐部，21.橫梁，22.連桿，23.耳片，30.清潔部，31.毛刷，32.刷盤，33.轉軸，34.旋轉接頭，35.聯管，40.芯片，50.罩殼，51.殼體，52.真空管。

具體實施方式