[發(fā)明專利]一種直拉大尺寸無位錯鍺單晶新型縮頸工藝有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011151951.0 | 申請日： | 2020-10-23 |
| 公開（公告）號： | CN112342613B | 公開（公告）日： | 2023-06-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王宇;馮德伸;李燕;雷同光;王博 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國有研科技集團(tuán)有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/22 | 分類號： | C30B15/22;C30B29/08 |
| 代理公司： | 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100 | 代理人： | 劉秀青 |
| 地址： | 100088*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 直拉大 尺寸 無位錯鍺單晶 新型 縮頸 工藝 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種直拉大尺寸無位錯鍺單晶新型縮頸工藝，其特征在于，包括以下步驟：
(1)通過常規(guī)縮頸工藝將細(xì)頸的尺寸控制在3-5mm，長度150-300mm；
(2)將細(xì)頸放粗到直徑為Φ15±2mm，等徑拉制200-300mm，直到細(xì)頸部位到達(dá)600℃以下的熱場區(qū)域，然后再放肩到單晶所需的直徑。
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