[發明專利]拋光墊用組合物及拋光墊

有效

• 申請號: 202011149437.3
• 申請日: 2020-10-23
• 公開（公告）號: CN112692725B
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發明（設計）人: 尹鐘旭;徐章源;許惠暎;鄭恩先
• 申請（專利權）人: SKC索密思株式會社
• 主分類號: B24B37/24
• 分類號: B24B37/24
• 代理公司: 上海弼興律師事務所 31283
• 代理人: 王衛彬;金學來

1.一種用于拋光墊的組合物，其特征在于，包括：

聚氨酯類預聚物及固化劑混合物，

所述固化劑混合物包括含硫的第一固化劑及含酯基的第二固化劑；

所述第一固化劑和第二固化劑的含量比為1：0.1至0.9重量比。

2.如權利要求1所述的用于拋光墊的組合物，其特征在于，所述第一固化劑的含量多于所述第二固化劑的含量。

3.如權利要求2所述的用于拋光墊的組合物，其特征在于，以100重量份的所述組合物為基準，所述第一固化劑的含量為11重量份至18重量份，

以100重量份的所述組合物為基準，所述第二固化劑的含量為1重量份至10重量份。

4.如權利要求2所述的用于拋光墊的組合物，其特征在于，所述第一固化劑包括選自3,5-二甲硫基-2,6-二氨基甲苯、2,6-雙(甲硫基)-4-甲基-1,3-苯二胺、硫化鉬、硫化鈮、滑石粉、硫化鉭和二硫化鎢的至少一種。

5.如權利要求2所述的用于拋光墊的組合物，其特征在于，所述第二固化劑包括選自下述化學式1、化學式2及化學式3的化合物中的至少一種，

化學式1

化學式2

化學式3

在所述化學式1中，所述L₁為選自具有1至20個碳原子的直鏈或支鏈亞烷基，具有1至20個碳原子的直鏈或支鏈雜亞烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的亞環烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的雜環亞烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的亞芳基，以及具有5至30個碳原子的取代或未取代的亞雜芳基中的至少一種，

在所述化學式2中，所述L₂為選自具有1至20個碳原子的直鏈或支鏈亞烷基，具有1至20個碳原子的直鏈或支鏈雜亞烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的亞環烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的雜環亞烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的亞芳基，以及具有5至30個碳原子的取代或未取代的亞雜芳基中的至少一種，

所述R₁及所述R₂相互獨立地，分別為選自具有1至20個碳原子的直鏈或支鏈烷基，具有1至20個碳原子的直鏈或支鏈雜烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的環烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的雜環烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的芳基，以及具有5至30個碳原子的取代或未取代的雜芳基中的至少一種，

在所述化學式3中，所述R₃為選自具有1至20個碳原子的直鏈或支鏈烷基，具有1至20個碳原子的直鏈或支鏈雜烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的環烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的雜環烷基，具有5至30個碳原子的取代或未取代的芳基，以及具有5至30個碳原子的取代或未取代的雜芳基中的至少一種。

6.如權利要求5所述的用于拋光墊的組合物，其特征在于，所述第二固化劑包括選自1,3-丙二醇雙(4-氨基苯甲酸酯)、4-氨基苯甲酸4-(4-氨基苯甲?；?氧基苯酯、4-氨基苯甲酸4-(4-氨基苯甲?；?氧基丁酯、4-氨基苯甲酸4-[4-(4-氨基苯甲?；?氧基-3-甲基丁氧基]丁酯、亞甲基雙甲基鄰苯二甲酸酯及3,5二氨基4-氯苯甲酸異丁酯中的至少一種。

7.如權利要求2所述的用于拋光墊的組合物，其特征在于，所述組合物固化后具有50MPa至120MPa的模量以及90％至200％的伸長率，

所述組合物固化后在30℃，50℃和70℃下的硬度分別為50肖氏D至60肖氏D，50肖氏D至58肖氏D和40肖氏D至55肖氏D，

所述組合物固化后在50至60℃的溫度下半導體襯底的表面缺陷的數量為10以下。