[發明專利]有機發光二極管顯示器及其制作方法

在審

• 申請號: 202011144606.4
• 申請日: 2020-10-23
• 公開（公告）號: CN112310310A
• 公開（公告）日: 2021-02-02
• 發明（設計）人: 唐甲
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L27/32;H01L21/77
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 遠明

本發明公開了一種有機發光二極管顯示器及其制作方法，包括：在襯底基板上制作輔助電極；對所述絕緣隔絕層進行圖案化處理形成開口區；制作源極和漏極和金屬犧牲層；制作鈍化層和平坦層；制作陽極以及支撐層；對所述輔助電極區處的所述鈍化層進行干法刻蝕，形成開口區，暴露出所述輔助電極；在所述輔助電極區處對所述金屬犧牲層進行濕法刻蝕，形成底切結構，暴露出整個所述輔助電極；蒸鍍有機發光層，在所述底切結構內部沒有所述有機發光層；制作陰極，所述陰極部分覆蓋所述輔助電極，所述陰極通過所述底切結構與所述輔助電極連接。

技術領域

本申請涉及一種顯示器技術領域，尤其涉及一種有機發光二極管顯示器及其制作方法。

背景技術

有機發光二極管(OrganicLight-Emitting Diode，簡稱OLED)主要有可自主發光，可設置柔性屏，發光效率高，響應時間快等優點。與被動發光的液晶顯示器(LCD)相比，自主發光的有機發光二極管顯示器(Organic Light-Emitting Diode，OLED)具有響應速度快、對比度高、視角廣等優點，并且容易實現柔性顯示，因而被普遍應用。OLED顯示器極有可能成為下一代顯示技術的主流產品。目前OLED的陰極材料在實現較高透過率的同時，電阻都比較大，也即降低了其導電性，從而導致大尺寸OLED在顯示時，產生較為嚴重的電壓降(IR-drop)現象，現有的解決方式是增加輔助電極。

由于目前大尺寸OLED面板工作時顯示中心與中心以外、四周邊緣會有IR drop的問題(即壓降導致最終的亮度不均)，因此需額外在背板上制作輔助電極，給壓降較大的區域額外施加輔助，使整個面板工作時畫面顯示均一穩定。目前輔助電極的主要方案是在背板上制作底切結構，配合有機發光材料和陰極蒸鍍角不同，使陰極與輔助源搭接，這種底切結構的制作并不容易，常見的是支撐柱，該支撐柱為一種有機材料，通過光刻完成，但是該支撐柱的成本高，以及本身是有機材料，形狀穩定性不佳，對于大尺寸的量產良率有影響。而其他的底切結構的方案目前大都是理想結構模型，不具備量產實際。

發明內容

為了克服現有技術的不足，本申請實施例提供一種有機發光二極管顯示器及其制作方法，采用了新的底切結構，能夠簡化制程工序，提高生產效率。

本發明實施例提供了一種有機發光二極管顯示器的制作方法，包括：

在襯底基板的絕緣隔絕層上制作輔助電極；

對所述絕緣隔絕層進行圖案化處理，以使所述絕緣隔絕層形成開口區；

在所述絕緣隔絕層的開口區制作源極和漏極，在所述輔助電極上制作金屬犧牲層；

制作鈍化層和平坦層，對所述鈍化層和所述平坦層進行圖案化處理，在所述鈍化層和所述平坦層上形成開口區；

制作陽極以及支撐層；

對所述輔助電極處的所述鈍化層進行干法刻蝕，形成開口區，暴露出所述輔助電極；

在所述輔助電極區處對所述金屬犧牲層進行濕法刻蝕，形成底切結構，暴露出整個所述輔助電極；

蒸鍍有機發光層，其中所述有機發光層部分覆蓋所述輔助電極，在所述底切結構內部沒有所述有機發光層；

在所述有機發光層上形成陰極，所述陰極部分覆蓋所述輔助電極，所述陰極通過所述底切結構與所述輔助電極連接。

根據本發明實施例所提供的有機發光二極管顯示器的制作方法，在所述對所述鈍化層和所述平坦層進行圖案化處理中，在所述源極上方形成所述開口區，暴露出所述源極；在所述輔助電極上方形成所述開口區，暴露所述輔助電極上方的鈍化層。

根據本發明實施例所提供的有機發光二極管顯示器的制作方法，所述陽極通過所述平坦層的所述開口區與所述源極相連接；所述支撐層設置在所述陽極的兩側以及所述金屬犧牲層的上方。