[發明專利]氣體供給系統、基板處理系統及氣體供給方法

在審

• 申請號: 202011142969.4
• 申請日: 2017-07-10
• 公開（公告）號: CN112286238A
• 公開（公告）日: 2021-01-29
• 發明（設計）人: 澤地淳;綱倉紀彥;西野功二;澤田洋平;岸田好晴
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: G05D7/06
• 分類號: G05D7/06;F16K1/32;F16K1/36;F16K1/42;F16K31/02;H01J37/32;H01L21/67;C23C16/455;C23C16/52
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 龐乃媛

1.一種氣體供給系統，該氣體供給系統具備：

第1流路(L1)，將第1氣源(GS1)和基板處理腔室(12)連接；

三通閥(VL2)，配置在所述第1流路(L1)上；

第2流路(L2)，將第2氣源(GS2)和所述三通閥(VL2)連接；

流量控制閥(VL1)，配置在所述第2流路(L2)上；

節流孔(OL1)，配置于所述第2流路(L2)上的、所述三通閥(VL2)和所述流量控制閥(VL1)之間；

至少一個排氣流路(EL)，將所述流量控制閥(VL1)與所述節流孔(OL1)之間的所述第2流路(L2)上的連接部位(PP2)和排氣裝置(51)連接；以及

排氣機構(E)，配置于所述至少一個排氣流路(EL)上。

2.根據權利要求1所述的氣體供給系統，其中，

所述節流孔(OL1)被安裝于所述三通閥(VL2)，

所述三通閥(VL2)包含撓性部件(74)，所述撓性部件(74)在關閉控制時密封所述節流孔(OL1)，由此所述第2流路(L2)從所述第1流路(L1)分離，所述撓性部件(74)在打開控制時從所述節流孔(OL1)離開，由此所述第2流路(L2)與所述第1流路(L1)連通。

3.根據權利要求2所述的氣體供給系統，其中，

所述三通閥(VL2)還包括：下部主體部(71)、上部主體部(72)、配置在所述下部主體部(71)內的節流孔支承部(71d)；

所述節流孔支承部(71d)朝向所述上部主體部(72)側突出、在其端部支承所述節流孔(OL1)；

所述下部主體部(71)包括構成所述第1流路(L1)的一部分的內部流路(71c)；

所述內部流路(71c)以包圍所述節流孔支承部(71d)的方式被劃分、可經由所述節流孔(OL1)與所述第2流路(L2)相連通。

4.根據權利要求3所述的氣體供給系統，其中，

所述三通閥(VL2)包括：

固定支承所述撓性部件(74)的缸體(76)、對所述缸體(76)向所述撓性部件(74)被按壓于所述節流孔(OL1)的方向彈性施力的施力部件(78)、以及使所述缸體(76)向與所述被按壓方向相反的方向移動的驅動部(81)。

5.根據權利要求1～4任一項所述的氣體供給系統，其中，

所述排氣機構(E)包括被配置于所述至少一個排氣流路(EL)上的排氣閥(VL3)。

6.根據權利要求5所述的氣體供給系統，其中，

該氣體供給系統還具備控制器，該控制器對所述流量控制閥(VL1)、所述三通閥(VL2)以及所述排氣閥(VL3)進行控制，以使得：

在第一期間，維持所述流量控制閥(VL1)以及所述排氣閥(VL3)的打開狀態，通過所述三通閥(VL2)使所述第2流路(L2)從所述第1流路(L1)分離；在所述第一期間之后的第二期間，維持所述流量控制閥(VL1)以及所述排氣閥(VL3)的打開狀態的同時，通過所述三通閥(VL2)使所述第2流路(L2)與所述第1流路(L1)連通。

7.根據權利要求1～4任一項所述的氣體供給系統，其中，

所述至少一個排氣流路(EL)包括小排氣流路(EL1)以及大排氣流路(EL2)；

所述排氣機構(EA)包括：配置在所述大排氣流路(EL2)上的第1排氣閥(VL4)、以及配置在所述小排氣流路(EL1)上的第2排氣閥(VL3)。

8.根據權利要求1～4任一項所述的氣體供給系統，其中，

該氣體供給系統還具備：配置在所述第2流路(L2)上的、所述流量控制閥(VL1)和所述節流孔(OL1)之間的壓力檢測器(PM)以及溫度檢測器(TM)；

所述流量控制閥(VL1)基于所述壓力檢測器(PM)以及所述溫度檢測器(TM)的檢測結果來控制所述第2流路(L2)中流動的氣體的流量。