[發(fā)明專利]一種半導體薄片背面加工設備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011138583.6
• 申請日: 2020-10-22
• 公開（公告）號: CN112363368A
• 公開（公告）日: 2021-02-12
• 發(fā)明（設計）人: 石雪香
• 申請（專利權）人: 東莞博文文化傳播有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明提供了一種半導體薄片背面加工設備，其結構包括放置臺、注液箱、工作箱、注液桿、裝夾設備，注液箱下端通過螺釘固定于放置臺上方后端，工作箱前端焊接固定于放置臺后端，注液桿下端通過卡扣卡合固定于放置臺上端左側；本發(fā)明通過將削薄完成后的晶圓通過放置口放置于支撐塊上端，可通過自身重量下壓支撐塊與底環(huán)，從而被閉合塊所裝夾固定，并且會使得擋板開啟，通過擋板的開啟會使得驅動磁座推動放置板進行勻速旋轉，并帶動晶圓進行旋轉，在晶圓進行勻速的旋轉時，可將滴落至晶圓表面的光刻膠，通過離心力將光刻膠均勻的平鋪至晶圓的表面，避免了晶圓因削薄，導致了結構的改變，造成光刻膠無法均勻涂抹至晶圓表面的問題。

技術領域

本發(fā)明涉及晶圓光刻顯影領域，更具體的，是涉及一種半導體薄片背面加工設備。

背景技術

半導體薄片背面加工設備，是一種應用于晶圓薄片，對晶圓薄片進行削薄工藝，進一步的提高了晶圓的電性能，使得晶圓組裝為芯片后，降低芯片工作時的能量損耗，而現(xiàn)有的工藝在針對于晶圓削薄后，會在晶圓外沿進行留邊，使得后續(xù)在背面涂抹光刻膠，而留邊工藝使得晶圓背面呈現(xiàn)階梯狀，極大程度的造成了晶圓在涂抹光刻膠時，光刻膠無法均勻的涂抹至晶圓的表面，導致晶圓在進行光刻時，刻蝕電路的尺寸以及深度等無法保持一致，造成晶圓的良品率降低。

發(fā)明內容

針對現(xiàn)有技術的不足，本發(fā)明提供了一種半導體薄片背面加工設備，解決了現(xiàn)有的工藝在針對于晶圓削薄后，會在晶圓外沿進行留邊，使得后續(xù)在背面涂抹光刻膠，而留邊工藝使得晶圓背面呈現(xiàn)階梯狀，極大程度的造成了晶圓在涂抹光刻膠時，光刻膠無法均勻的涂抹至晶圓的表面，導致晶圓在進行光刻時，刻蝕電路的尺寸以及深度等無法保持一致，造成晶圓的良品率降低的問題。

針對上述目的，本發(fā)明是通過如下的技術方案來實現(xiàn)：一種半導體薄片背面加工設備，其結構包括放置臺、注液箱、工作箱、注液桿、裝夾設備，所述注液箱下端通過螺釘固定于放置臺上方后端，所述工作箱前端焊接固定于放置臺后端，所述注液桿下端通過卡扣卡合固定于放置臺上端左側，所述裝夾設備下端嵌固固定于放置臺上端；

所述裝夾設備由固定環(huán)、盒體、承放臺、支撐塊、放置口組成，所述固定環(huán)外壁嵌固固定于盒體內壁，所述承放臺下端通過螺栓固定于盒體內部底端，所述支撐塊下端外壁嵌套配合于承放臺上端內部，所述放置口完全裝配于盒體上端內壁，所述盒體其結構為火山型結構。

作為本發(fā)明優(yōu)選的，所述固定環(huán)由固定塊、環(huán)體、推動磁環(huán)、閉合塊組成，所述固定塊內壁中心嵌固固定于環(huán)體外壁，所述推動磁環(huán)外壁嵌固卡合于環(huán)體內壁，所述閉合塊外壁活動配合于環(huán)體內壁，所述固定塊共設有五個，環(huán)形裝配于環(huán)體外壁，所述閉合塊共設有七個，組合后為環(huán)形結構。

作為本發(fā)明優(yōu)選的，所述環(huán)體內部設有限位塊、放置槽、底環(huán)、立桿、卡座組成，所述限位塊下端外壁活動卡合于卡座上端內壁，所述底環(huán)上端通過插銷連接于立桿下端，所述立桿上端通過嵌套卡合固定于卡座下端，所述卡座其結構為U型結構。

作為本發(fā)明優(yōu)選的，所述支撐塊由旋轉機構、外殼、彈簧、活動桿、支撐桿組成，所述旋轉機構外壁嵌固固定于外殼內壁，所述彈簧完全裝配于外殼內部，所述活動桿上端焊接連接于彈簧下方，所述支撐桿上端外壁通過卡扣固定于旋轉機構下端內壁。

作為本發(fā)明優(yōu)選的，所述旋轉機構設有旋磁塊、殼體、驅動機構、放置板，所述旋磁塊內壁嵌固固定于放置板外壁，所述殼體內壁活動配合于放置板外壁，所述驅動機構完全裝配于驅動機構內部，所述旋磁塊共設有七個，環(huán)形排列于放置板表面。

作為本發(fā)明優(yōu)選的，所述驅動機構由擋板、導桿、導軌、驅動磁座、裝配槽組成，所述擋板后端焊接固定于導桿前端，所述導桿外壁間隙配合于導軌內部，所述驅動磁座完全裝配于裝配槽內部，所述擋板其材質為純銅材質，所述驅動磁座其結構為蝴蝶結型結構。

有益效果

與現(xiàn)有技術相比，本發(fā)明具有如下有益效果：