[發(fā)明專利]一種微波等離子體炬點火方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011137794.8
• 申請日: 2020-10-22
• 公開（公告）號: CN112105136B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 黃卡瑪;楊陽;朱鏵丞
• 申請（專利權(quán)）人: 四川大學(xué)
• 主分類號: H05H1/30
• 分類號: H05H1/30
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51214
• 代理人: 卿誠

1.一種微波等離子體炬點火方法，其特征在于：采用微波等離子體炬；所述微波等離子體炬包括微波發(fā)生器(1)、微波輸送裝置(2)、屏蔽外殼(3)和放電管(4)；所述放電管(4)貫穿屏蔽外殼(3)；所述屏蔽外殼(3)上設(shè)有饋口；所述饋口用于接收微波發(fā)生器(1)通過微波輸送裝置(2)輸入的微波；所述放電管(4)用于輸入工作氣體并接收饋口輸入的微波；所述微波發(fā)生器(1)至少有脈沖波工作模式和連續(xù)波工作模式；包括以下步驟：

步驟S10，向放電管(4)輸入工作氣體；

步驟S20，微波發(fā)生器(1)開啟，并將工作模式設(shè)定為脈沖波工作模式，微波發(fā)生器(1)通過微波輸送裝置(2)向放電管(4)內(nèi)的工作氣體輸入脈沖波；

步驟S30，確認放電管(4)內(nèi)的工作氣體是否產(chǎn)生等離子體；

步驟S40，放電管(4)內(nèi)的工作氣體產(chǎn)生等離子體，微波發(fā)生器(1)將脈沖波工作模式切換為連續(xù)波工作模式，微波發(fā)生器(1)通過微波輸送裝置(2)向放電管(4)內(nèi)的工作氣體輸入連續(xù)波；

步驟S40之后有步驟S50；步驟S50為：向放電管(4)輸入待處理氣體；

所述微波輸送裝置(2)包括壓縮波導(dǎo)(5)；所述放電管(4)包括位于屏蔽外殼(3)上方的進管部(6)、位于屏蔽外殼(3)內(nèi)部的可透微波管部(7)和位于屏蔽外殼(3)下方的出管部(8)；所述進管部(6)上設(shè)有工作進氣管(9)和處理進氣管(10)；所述工作進氣管(9)連有盤繞在進管部(6)外壁的工作進氣盤管(11)；所述處理進氣管(10)連有盤繞在壓縮波導(dǎo)(5)外壁的處理進氣盤管(12)；所述步驟S10中，準備向放電管(4)輸入的工作氣體首先進入工作進氣盤管(11)，再經(jīng)過工作進氣管(9)進入放電管(4)；所述步驟S50中，準備向放電管(4)輸入的待處理氣體首先進入處理進氣盤管(12)，再經(jīng)過處理進氣管(10)進入放電管(4)；

所述進管部(6)包括金屬進管(13)、絕熱陶瓷座(14)和真空玻璃(15)；所述可透微波管部(7)包括石英管；所述出管部(8)包括金屬出管；所述金屬進管(13)、石英管和金屬出管從上往下連通銜接；所述金屬進管(13)頂部安裝有絕熱陶瓷座(14)；所述絕熱陶瓷座(14)內(nèi)安裝有真空玻璃(15)；所述絕熱陶瓷座(14)頂部安裝有光電傳感器(16)；所述金屬出管包括至少兩處彎管；所述步驟S30中，確認放電管(4)內(nèi)的工作氣體是否產(chǎn)生等離子體的方式是由光電傳感器(16)監(jiān)測石英管內(nèi)是否有光亮，若有光亮則將光亮信號傳遞給微波發(fā)生器(1)的控制系統(tǒng)；

所述步驟S40中，微波發(fā)生器(1)的控制系統(tǒng)收到光亮信號則自動將微波發(fā)生器(1)的脈沖波工作模式切換為連續(xù)波工作模式。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種微波等離子體炬點火方法，其特征在于：所述微波等離子體炬還包括工作進氣閥和處理進氣閥；所述工作進氣閥用于控制向放電管(4)輸入工作氣體；所述處理進氣閥用于控制向放電管(4)輸入待處理氣體；所述步驟S10中，微波發(fā)生器(1)的控制系統(tǒng)控制工作進氣閥打開，放電管(4)輸入工作氣體；所述步驟S50中，微波發(fā)生器(1)的控制系統(tǒng)控制處理進氣閥打開，放電管(4)輸入待處理氣體。