[發(fā)明專利]射頻電源的阻抗匹配測試方法、裝置、介質(zhì)及測試平臺在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011134602.8 | 申請日： | 2020-10-21 |
| 公開（公告）號： | CN112014762A | 公開（公告）日： | 2020-12-01 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 尤晶;徐平;胡瑯;李曉峰;陳浩;侯麗麗 | 申請（專利權(quán)）人： | 佛儀科技（佛山）有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/40 | 分類號： | G01R31/40 |
| 代理公司： | 佛山市海融科創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44377 | 代理人： | 陳志超;黃家豪 |
| 地址： | 528200 廣東省佛山市南海*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 射頻 電源 阻抗匹配 測試 方法 裝置 介質(zhì) 平臺 | ||
1.一種射頻電源的阻抗匹配測試方法,其特征在于,包括如下步驟：
測量待匹配射頻電源的功率精度和頻率穩(wěn)定度是否合格；
當(dāng)待匹配射頻電源的功率精度和頻率穩(wěn)定度測試合格后，預(yù)設(shè)所述待匹配射頻電源的負載阻抗、前向功率和掃頻范圍；
控制待匹配射頻電源開啟并測量其反向功率，判斷所述反向功率是否小于預(yù)設(shè)閾值，若是，則匹配成功，否則判斷當(dāng)前頻率是否為所述掃頻范圍的最大頻率；
若當(dāng)前頻率為所述掃頻范圍的最大頻率則匹配不成功，否則將所述待匹配射頻電源的頻率增加預(yù)設(shè)頻率步長后繼續(xù)返回測量其反向功率，直到測試結(jié)束。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻電源的阻抗匹配測試方法，其特征在于，所述測量待匹配射頻電源的功率精度和頻率穩(wěn)定度是否合格，包括：
根據(jù)待匹配射頻電源的規(guī)格范圍預(yù)設(shè)多個測試功率和測試頻率；
預(yù)設(shè)所述待匹配射頻電源的固定阻抗值，并根據(jù)所述測試功率和測試頻率設(shè)置所述待匹配射頻電源的前向功率和頻率；
控制待匹配射頻電源開啟并測量其實際功率和實際頻率，根據(jù)所述實際功率和實際頻率判斷功率精度和頻率穩(wěn)定度是否在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，若是，則測試合格，否則測試不合格；
當(dāng)測試合格時，判斷當(dāng)前待匹配射頻電源的前向功率和頻率是否同時為最大測試功率和最大測試頻率，若是，則測試結(jié)束，否則根據(jù)所述測試功率和測試頻率增大所述待匹配射頻電源的前向功率和頻率后繼續(xù)返回測量實際功率和實際頻率。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的射頻電源的阻抗匹配測試方法，其特征在于，所述控制待匹配射頻電源開啟并測量其實際功率和實際頻率，根據(jù)所述實際功率和實際頻率判斷功率精度和頻率穩(wěn)定度是否在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)，具體包括：
控制待匹配射頻電源開啟，對待匹配射頻電源的實際功率和實際頻率進行多次采樣；
分別計算多次采樣的實際功率的平均值和偏差值以及實際頻率的平均值和偏差值，根據(jù)所述實際功率的平均值和偏差值以及實際頻率的平均值和偏差值判斷功率精度和頻率穩(wěn)定度是否在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻電源的阻抗匹配測試方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)所述待匹配射頻電源的負載阻抗，具體包括：
當(dāng)所述負載阻抗為固定負載阻抗時，預(yù)設(shè)所述待匹配射頻電源的固定阻抗值；
當(dāng)所述負載阻抗為動態(tài)負載阻抗時，預(yù)設(shè)所述待匹配射頻電源的動態(tài)阻抗調(diào)節(jié)范圍。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述射頻電源的阻抗匹配測試方法，其特征在于，所述控制待匹配射頻電源開啟并測量其反向功率，判斷所述反向功率是否小于預(yù)設(shè)閾值，若是，則匹配成功，否則判斷當(dāng)前頻率是否為所述掃頻范圍的最大頻率，包括：
控制待匹配射頻電源開啟并測量其反向功率；
判斷所述反向功率是否小于預(yù)設(shè)閾值，若是，則判斷當(dāng)前阻抗是否為所述動態(tài)阻抗調(diào)節(jié)范圍的最大阻抗，否則判斷當(dāng)前頻率是否為所述掃頻范圍的最大頻率；
若當(dāng)前阻抗為所述動態(tài)阻抗調(diào)節(jié)范圍的最大阻抗則匹配成功，否則將當(dāng)前阻抗增加預(yù)設(shè)阻抗步長，并將所述待匹配射頻電源的頻率重置為掃頻起始頻率后繼續(xù)返回測量其反向功率。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的射頻電源的阻抗匹配測試方法，其特征在于，所述預(yù)設(shè)所述待匹配射頻電源的動態(tài)阻抗調(diào)節(jié)范圍，具體包括：
設(shè)置可調(diào)電容的上下極板相對位置的調(diào)節(jié)范圍。
7.根據(jù)權(quán)利要求2至6任意一項所述的射頻電源的阻抗匹配測試方法，其特征在于，所述固定阻抗值為50歐姆。
8.一種射頻電源的阻抗匹配測試裝置，其特征在于，所述裝置包括至少一個處理器；以及，
與所述至少一個處理器通信連接的存儲器；其中，
所述存儲器存儲有可被所述至少一個處理器執(zhí)行的指令，所述指令被所述至少一個處理器執(zhí)行，以使所述至少一個處理器能夠執(zhí)行權(quán)利要求1-7任一項所述的射頻電源的阻抗匹配測試方法。
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