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[發明專利]多晶硅生產場景的模擬仿真方法、裝置、系統及設備在審

專利信息
申請號: 202011133117.9 申請日: 2020-10-21
公開(公告)號: CN112257200A 公開(公告)日: 2021-01-22
發明(設計)人: 王喆;郝曉瓊;宗冰;鮑守珍;尹東林;白銀;劉江;崔圳;金珍海 申請(專利權)人: 亞洲硅業(青海)股份有限公司;青海省亞硅硅材料工程技術有限公司
主分類號: G06F30/17 分類號: G06F30/17;G06F30/23;G06F30/28;G06T17/00;G06F113/08;G06F119/14
代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 梁韜
地址: 810007 青海*** 國省代碼: 青海;63
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摘要:
搜索關鍵詞: 多晶 生產 場景 模擬 仿真 方法 裝置 系統 設備
【權利要求書】:

1.一種多晶硅生產場景的模擬仿真方法,其特征在于,包括:

調用預設模型搭建多晶硅生產場景對應的模擬仿真場景,其中,所述預設模型至少包括生產廠房模型、操作設備模型和多晶硅模型;

采集目標用戶在所述模擬仿真場景中與所述預設模型的交互動作對應的第一參數;

將所述交互動作對應的第一參數與預設標準動作對應的第二參數進行比對,判斷所述目標用戶的交互動作是否符合生產標準;

根據判斷結果輸出模擬仿真結果。

2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,所述多晶硅生產場景包括硅棒的生產場景,所述生產廠房模型包括還原廠房模型和還原爐模型,所述操作設備模型包括機械臂模型,所述多晶硅模型包括硅棒模擬生產工藝模型;

所述調用預設模型搭建多晶硅生產場景對應的模擬仿真場景的步驟,包括:

調用所述還原廠房模型搭建模擬仿真廠房;

調用所述還原爐模型和所述機械臂模型分別在所述模擬仿真廠房內搭建模擬仿真還原爐和模擬仿真機械臂;

調用所述硅棒模擬生產工藝模型在所述模擬仿真還原爐上搭建硅棒生長模型。

3.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,所述采集目標用戶在所述模擬仿真場景中與所述預設模型的交互動作對應的第一參數的步驟,包括:

采集所述目標用戶在所述模擬仿真場景中操作所述機械臂模型拆裝硅棒的動作參數和每個動作對應的時間節點;

所述將所述交互動作對應的第一參數與預設標準動作對應的第二參數進行比對,判斷所述目標用戶的交互動作是否符合生產標準的步驟,包括:

將每個動作對應的動作參數及時間節點與每個預設標準動作的動作參數及時間節點比對,判斷動作參數差值和時間節點差值是否在預設差值范圍內;

若動作參數差值和時間節點差值均在預設差值范圍內,則判定所述目標用戶的交互動作符合生產標準;

若動作參數差值或者時間節點差值不在預設差值范圍內,則判定所述目標用戶的交互動作不符合生產標準。

4.根據權利要求3所述的方法,其特征在于,所述若動作參數差值或者時間節點差值不在預設差值范圍內,則判定所述目標用戶的交互動作不符合生產標準的步驟之后,所述方法還包括:

輸出錯誤提示信息以及引導信息,以引導所述目標用戶完成交互動作,其中,所述錯誤提示信息和引導信息包括語音信息和/或圖像信息。

5.根據權利要求2至4中任一項所述的方法,其特征在于,所述調用所述硅棒模擬生產工藝模型在所述模擬仿真還原爐上搭建硅棒生長模型的步驟,包括:

利用有限元分析法和流體動力學聯合仿真技術,模擬硅棒從裝爐到成熟的整個生長周期。

6.一種多晶硅生產場景的模擬仿真裝置,其特征在于,包括:

場景搭建模塊,用于調用預設模型搭建多晶硅生產場景對應的模擬仿真場景,其中,所述預設模型至少包括生產廠房模型、操作設備模型、多晶硅模型;

參數采集模塊,用于采集目標用戶在所述模擬仿真場景中與所述預設模型的交互動作對應的第一參數;

參數比對模塊,用于將所述交互動作對應的第一參數與預設標準動作對應的第二參數進行比對,判斷所述目標用戶的交互動作是否符合生產標準。

7.一種多晶硅生產場景的模擬仿真系統,其特征在于,包括:

存儲設備,所述存儲設備存儲有預設模型和預設標準動作對應的第二參數,所述預設模型至少包括生產廠房模型、操作設備模型和多晶硅模型;

處理設備和模擬仿真交互設備,所述處理設備與所述模擬仿真交互設備連接,所述處理設備用于調用所述預設模型,并控制所述模擬仿真交互設備顯示多晶硅生產場景對應的模擬仿真場景;

動作采集器,所述動作采集器與所述處理設備連接,所述動作采集器用于采集目標用戶在所述模擬仿真場景中與所述預設模型的交互動作對應的第一參數,并將所述第一參數發送至所述處理設備;

所述處理設備還用于將所述交互動作對應的第一參數與預設標準動作對應的第二參數進行比對,判斷所述目標用戶的交互動作是否符合生產標準,并根據判斷結果輸出模擬仿真結果。

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