[發明專利]一種智能動態配氣系統

在審

• 申請號: 202011131460.X
• 申請日: 2020-10-21
• 公開（公告）號: CN112316761A
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 陳漢德;林仕偉;周義龍;陳寶;符堅;林正璽;王玲轉;林慧媛;符智豪;黃修彩
• 申請（專利權）人: 海南聚能科技創新研究院有限公司
• 主分類號: B01F3/02
• 分類號: B01F3/02
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 孫曉紅

本發明公開了一種智能動態配氣系統，包括若干氣源裝置、稀釋氣體儲存裝置、用以將一種或多種氣源與稀釋氣體混合的多級氣體混合裝置，所述多級氣體混合裝置內設有氣體攪拌裝置；所述多級氣體混合裝置的相鄰級依次串接，任一所述氣源裝置連接第一電磁閥和第一質量流量計，所述稀釋氣體儲存裝置設有第二電磁閥和第二質量流量計，所述第一質量流量計連接所述多級氣體混合裝置的第一級，所述第二質量流量計與所述多級氣體混合裝置的任一級分別連接；還包括與所述多級氣體混合裝置的任一級連接、用以檢驗混合氣體濃度的檢驗裝置。本發明所提供的智能動態配氣系統通過多級配氣和濃度檢測，滿足了低濃度氣體的配制需求，提高了氣體配制濃度的準確度。

技術領域

本發明涉及氣體濃度配比領域，特別涉及一種智能動態配氣系統。

背景技術

隨著科技的發展，在氣敏材料研究、氣體的配制方面需要配制一定濃度的氣體，由于需要的不同氣體的不同濃度，或是需要較低濃度的氣體，市售的一般為純的單氣體或是固定高濃度的氣體，不能滿足實驗或是配氣的需要，目前來說配氣常用的方法是通過采用兩個不同流速范圍的質量流量計進行混合氣體，通過選擇需要的配制的氣體和稀釋氣體，再通過電磁閥和質量流量計進行控制流量和流速，對需要配制的氣體進行混合得到需要濃度的氣體，這種配制方法只能配氣的濃度準確度不高，適合高濃度氣體配氣，且能配氣濃度范圍比較小不能滿足實驗和配氣的需求，同時在配氣時，無法對該設備進行校準和清潔，進一步降低了配氣濃度的準確度。

如何實現特定濃度氣體配制以滿足實驗室配氣需求成為本領域技術人員需要解決的技術問題。

發明內容

本發明的目的是提供一種智能動態配氣系統，該配氣系統能夠滿足低濃度氣體配制需求，同時保證了氣體配制濃度的準確度。

為實現上述目的，本發明提供一種智能動態配氣系統，包括若干氣源裝置、稀釋氣體儲存裝置、用以將一種或多種氣源與稀釋氣體混合的多級氣體混合裝置，所述多級氣體混合裝置內設有氣體攪拌裝置；所述多級氣體混合裝置的相鄰級依次串接，任一所述氣源裝置連接第一電磁閥和第一質量流量計，所述稀釋氣體儲存裝置設有第二電磁閥和第二質量流量計，所述第一質量流量計連接所述多級氣體混合裝置的第一級，所述第二質量流量計與所述多級氣體混合裝置的任一級分別連接；還包括與所述多級氣體混合裝置的任一級連接、用以檢驗混合氣體濃度的檢驗裝置。

可選地，所述多級氣體混合裝置包括依次串接的第一混合室、第二混合室和第三混合室，所述第一混合室與所述第二混合室之間連接第三質量流量計，所述第二混合室和所述第三混合室之間連接第四質量流量計。

可選地，所述檢驗裝置包括檢驗室和設于所述檢驗室、用以檢測對應氣體濃度的氣敏傳感器；

所述第一混合室、所述第二混合室、所述第三混合室均與所述檢驗室通過氣管及檢驗閥連接。

可選地，所述氣源裝置、所述稀釋氣體儲存裝置、所述多級氣體混合裝置、所述檢驗裝置均通過主殼體固定且均設于所述主殼體的內部。

可選地，所述主殼體的外側設置顯示部，所述主殼體的內側設有與所述顯示部連接的電路板，所述電路板用以采集處理所述氣敏傳感器檢測的氣體濃度信息并傳遞至所述顯示部顯示。

可選地，所述第一質量流量計與所述第二質量流量計之間設有連接管，所述連接管設有連接閥；還包括用以清掃所述多級氣體混合裝置內混合氣體的清掃裝置。

可選地，所述清掃裝置為與所述第一混合室、所述第二混合室和所述第三混合室連接的抽氣泵，所述抽氣泵的抽氣口之前設置抽氣閥。

可選地，所述第一混合室，和/或，所述第二混合室，和/或，所述第三混合室內均設有氣體攪拌裝置。

可選地，所述主殼體內還設有多個用以檢測混合氣體溫度的溫度傳感器，全部所述溫度傳感器與所述電路板連接并通過所述顯示部顯示檢測溫度。