[發(fā)明專利]分割裝置和分割方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011130648.2
• 申請(qǐng)日: 2020-10-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112793013A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-05-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 西尾仁孝;留井直子
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星鉆石工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B28D1/22
• 分類號(hào): B28D1/22;B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04;H01L21/304
• 代理公司: 北京柏杉松知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11413
• 代理人: 袁波;劉繼富

1.一種分割裝置，其將第一面形成有規(guī)定的刻劃線、與所述第一面相反側(cè)的第二面被粘貼在膜片的基板沿著所述刻劃線分割，其特征在于，具有：

腔體，其具有蓋部和主體部，以隔著所述膜片形成所述第一面?zhèn)鹊牡谝皇液退龅诙鎮(zhèn)鹊牡诙业姆绞剑盟錾w部和所述主體部保持所述基板；

壓力調(diào)節(jié)部，其分別單獨(dú)地調(diào)節(jié)所述第一室以及所述第二室的壓力，在所述腔體中將所述基板維持成規(guī)定的姿態(tài)；以及

分割機(jī)構(gòu)，其沿著所述刻劃線分割所述基板，

所述分割機(jī)構(gòu)配置在所述第二室，一邊沿著所述基板的所述第二面移動(dòng)一邊向所述第一室側(cè)上推所述基板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分割裝置，其特征在于，具有控制所述壓力調(diào)節(jié)部的控制部，

所述控制部調(diào)節(jié)所述第一室和所述第二室的壓力，在所述腔體中將所述基板維持成規(guī)定的姿態(tài)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分割裝置，其特征在于，

所述分割機(jī)構(gòu)包括：

按壓?jiǎn)卧湎蛩龅谝皇覀?cè)上推所述基板；以及

移動(dòng)單元，其用于使所述按壓?jiǎn)卧苿?dòng)，

所述按壓?jiǎn)卧ǎ?/p>

按壓構(gòu)件，其沿著所述刻劃線的形成方向延伸，

所述移動(dòng)單元包括：

支承部，其可裝卸地支承所述按壓?jiǎn)卧灰约?/p>

軸部，其連結(jié)于所述支承部，用于使所述支承部向所述刻劃線的排列方向移動(dòng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的分割裝置，其特征在于，

所述移動(dòng)單元包括：

卡定部，其將所述支承部與所述軸部的一個(gè)端部卡定；以及

軸環(huán)，其限制所述軸部在所述刻劃線的排列方向的移動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的分割裝置，其特征在于，

所述支承部具有伴隨所述軸部的旋轉(zhuǎn)使所述按壓?jiǎn)卧谏舷路较蛞苿?dòng)的偏心凸輪。

6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的分割裝置，其特征在于，

所述按壓?jiǎn)卧ǔ薪铀霭磯簶?gòu)件的承接部，

所述承接部可裝卸地支承所述按壓構(gòu)件。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的分割裝置，其特征在于，

所述按壓構(gòu)件是具有磁性的構(gòu)件，在所述承接部設(shè)置磁體。

8.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的分割裝置，其特征在于，

所述按壓構(gòu)件具有在全長(zhǎng)上曲率均勻的彎曲形狀。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的分割裝置，其特征在于，

所述按壓構(gòu)件為沿著所述刻劃線的形成方向延伸的輥。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分割裝置，其特征在于，

所述刻劃線在所述基板形成格子狀，

所述分割機(jī)構(gòu)包括第一分割機(jī)構(gòu)和第二分割機(jī)構(gòu)，所述第一分割機(jī)構(gòu)在所述刻劃線的第一排列方向移動(dòng)，所述第二分割機(jī)構(gòu)在與所述刻劃線的所述第一排列方向正交的第二排列方向移動(dòng)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的分割裝置，其特征在于，

還具有位置調(diào)整部，其用于將所述膜片載置在所述主體部的規(guī)定的位置。

12.權(quán)利要求11所述的分割裝置，其特征在于，

所述膜片的周緣部固定于框架，

所述框架具有向所述膜片的內(nèi)側(cè)凹陷的槽部，

所述位置調(diào)整部具有銷，

所述銷設(shè)置在所述主體部，嵌入所述框架的所述槽部。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的分割裝置，其特征在于，

所述框架具有V字形的兩個(gè)所述槽部，

具有在所述各槽部卡合的兩個(gè)所述銷，

一個(gè)所述銷與一個(gè)所述槽部的兩邊接觸，

另一個(gè)所述銷與另一個(gè)所述槽部的兩邊接觸。