[發明專利]一種顯微鏡物鏡

有效

• 申請號: 202011130311.1
• 申請日: 2020-10-21
• 公開（公告）號: CN112269256B
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發明（設計）人: 方政;林順華
• 申請（專利權）人: 麥克奧迪實業集團有限公司
• 主分類號: G02B21/02
• 分類號: G02B21/02
• 代理公司: 廈門納益維知專利代理事務所(普通合伙) 35273
• 代理人: 黃華

本發明公開了一種顯微鏡物鏡，包括正折射力第一透鏡組、正折射力第二透鏡組和負折射力第三透鏡組，所述正折射力第二透鏡組設于正折射力第一透鏡組和負折射力第三透鏡組之間；所述正折射力第一透鏡組包括正折射力第一透鏡和正折射力第二透鏡，所述正折射力第二透鏡設于正折射力第一透鏡上，所述正折射力第一透鏡為凹面朝向物體側的正屈光力的彎月形設置。本發明屬于光學技術領域，具體是一種顯微鏡物鏡，能夠保證具備大放大倍率、長工作距離、大數值孔徑、高分辨率性能、較少鏡片數目且加工簡單的特點，以解決大放大倍率、長工作距離下，小數值孔徑、低分辨率性能、鏡片數目多且加工困難的問題。

技術領域

本發明屬于光學技術領域，具體是指一種顯微鏡物鏡。

背景技術

隨著近年來半導體行業的高速發展，對其表面粗糙度的要求精度越來越高。通過提高顯微鏡的探測精度從而達到觀測要求。一般而言，由于用于工業探測需要長的工作距離，要使顯微鏡上觀察到跟多細節，需要大放大倍率、大數值孔徑。對于這樣的顯微鏡物鏡，軸上像差和倍率色差的補正是很難的，由于像差的影響會導致光學的分辨率性能下降。

專利文獻CN101999090A公開了一種顯微物鏡：具有大放大倍率、長的工作距離的物鏡，但是小數值孔徑、低分辨率性能、鏡片數目多且加工困難。

專利文獻CN102959450A公開了一種顯微物鏡：具有大放大倍率、大數值孔徑的物鏡，但是工作距離較短，不方便實際使用和觀察。

專利文獻CN111158129A公開了一種顯微物鏡：雖然有很大的數值孔徑，但是工作距離較短，不方便實際的使用和觀察，并且放大倍率低，隨著半導體行業制作越來越精細，觀察的所需的物鏡放大倍率也要更大。

發明內容

針對上述情況，為克服現有技術的缺陷，本發明提供一種顯微鏡物鏡，能夠保證具備大放大倍率、長工作距離、大數值孔徑、高分辨率性能、較少鏡片數目且加工簡單的特點，以解決大放大倍率、長工作距離下，小數值孔徑、低分辨率性能、鏡片數目多且加工困難的問題。

本發明采取的技術方案如下：本發明一種顯微鏡物鏡，包括正折射力第一透鏡組、正折射力第二透鏡組和負折射力第三透鏡組，所述正折射力第二透鏡組設于正折射力第一透鏡組和負折射力第三透鏡組之間；所述正折射力第一透鏡組包括正折射力第一透鏡和正折射力第二透鏡，所述正折射力第二透鏡設于正折射力第一透鏡上，所述正折射力第一透鏡為凹面朝向物體側的正屈光力的彎月形設置。

進一步地，所述正折射力第二透鏡組包括第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡、第六透鏡、第七透鏡、第八透鏡、第九透鏡和第十透鏡，所述第三透鏡、第四透鏡、第五透鏡、第六透鏡、第七透鏡、第八透鏡、第九透鏡和第十透鏡依次設置。

進一步地，所述負折射力第三透鏡組包括第十一透鏡、第十二透鏡、第十三透鏡和第十四透鏡，所述第十一透鏡、第十二透鏡、第十三透鏡和第十四透鏡依次設置。

進一步地，所述正折射力第一透鏡組、正折射力第二透鏡組和負折射力第三透鏡組滿足的條件為0.4|f/NA/D0|0.6，其中，f為該顯微鏡物鏡的焦點距離；NA為該顯微鏡物鏡的物方數值孔徑；D0為從物體面到所述顯微鏡物鏡最靠近物體的透鏡面的光軸上的距離。

進一步地，所述第二透鏡具有正屈光力，所述第三透鏡具有正屈光力，所述第四透鏡具有正屈光力，所述第五透鏡具有負屈光力，所述第六透鏡具有正屈光力，所述第七透鏡具有正屈光力或負屈光力，所述第八透鏡具有正屈光力或負屈光力，所述第九透鏡具有正屈光力，所述第十透鏡具有負屈光力，所述第十一透鏡具有正屈光力，所述第十二透鏡具有負屈光力，所述第十三透鏡具有負屈光力，所述第十四透鏡具有正屈光力。

進一步地，所述正折射力第一透鏡組和正折射力第二透鏡組滿足的條件為0.03f1/f20.95；-1.5f1/f3-0.05；3f1/f6.5，其中，f1為第一透鏡的焦點距離，f2為第二透鏡的焦點距離，f3為第三透鏡的焦點距離，f為該顯微鏡物鏡的焦點距離。