[發(fā)明專利]一種基于Talbot像和COMS相機(jī)結(jié)構(gòu)的位移傳感器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011129953.X
• 申請日: 2020-10-21
• 公開（公告）號: CN112082490B
• 公開（公告）日: 2022-02-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 辛晨光;李孟委;亓杰;張瑞;金麗
• 申請（專利權(quán)）人: 中北大學(xué)南通智能光機(jī)電研究院;中北大學(xué)
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02
• 代理公司: 太原榮信德知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 14119
• 代理人: 楊凱;連慧敏

1.一種基于Talbot像和COMS相機(jī)結(jié)構(gòu)的位移傳感器，其特征在于：包括光源(1)、凸透鏡(2)、光柵(3)、COMS相機(jī)(4)，所述光源(1)設(shè)置在凸透鏡(2)的焦點(diǎn)處，所述光源(1)發(fā)出的散射光通過凸透鏡(2)后成為平行光束，所述平行光束的光路方向上設(shè)置有光柵(3)，所述平行光束經(jīng)光柵(3)發(fā)生衍射干涉，所述平行光束在光柵(3)后形成Talbot像，所述COMS相機(jī)(4)設(shè)置在任一級的Talbot像上；所述光源(1)在垂直于光柵(3)的方向上發(fā)生位移時，經(jīng)凸透鏡(2)后光束變?yōu)樯⑸涔猓龉鈻?3)后的Talbot像周期隨光源(1)位移發(fā)生變化，所述COMS相機(jī)(4)測得Talbot像的光強(qiáng)，從而實現(xiàn)位移測量。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于Talbot像和COMS相機(jī)結(jié)構(gòu)的位移傳感器，其特征在于：所述光柵(3)的材料采用硅，所述光柵(3)的周期為800nm，所述光柵(3)的占空比為0.5，所述光柵(3)的刻劃深度為765nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于Talbot像和COMS相機(jī)結(jié)構(gòu)的位移傳感器，其特征在于：所述光源(1)的波長為635nm，所述光源(1)的功率為1.2mW。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于Talbot像和COMS相機(jī)結(jié)構(gòu)的位移傳感器，其特征在于：所述凸透鏡(2)的焦距為55μm。