[發明專利]一種石英玻璃的盲槽加工裝置及盲槽加工方法

有效

• 申請號: 202011129950.6
• 申請日: 2020-10-21
• 公開（公告）號: CN114378381B
• 公開（公告）日: 2023-09-08
• 發明（設計）人: 王寶軍;袁楓;秦淑斌;魏超;顧文華;王文磊;楊金耋;劉佳佳;劉伶艷
• 申請（專利權）人: 航天科工慣性技術有限公司
• 主分類號: B23H3/00
• 分類號: B23H3/00;B23H11/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種石英玻璃的盲槽加工裝置，其特征在于，包括：

反應池，以盛裝石英玻璃及電解液；所述石英玻璃上鍍制保護膜層，所述保護膜層為Cr/Au金屬膜層，Cr金屬膜層的厚度為10nm，Au金屬膜層的厚度為200nm；電解液的濃度為25％～30％；

工具電極，設于所述反應池中，以作為陽極插入所述電解液；

輔助電極，設于所述反應池中，以作為陰極插入所述電解液；

超聲振動機構，用于控制所述工具電極超聲振動；所述超聲振動機構控制所述工具電極超聲振動的頻率為60Hz～80Hz；

脈沖電源，所述工具電極與該脈沖電源的正極連接，所述輔助電極與該脈沖電源的負極連接，以向所述工具電極輸入脈沖電壓；所述脈沖電源的電壓為30V～40V，其中，占空比設置為85％～95％；

位移控制器，用于控制所述超聲振動機構的橫向、縱向、豎向位移，以控制所述工具電極的移動；

壓力傳感器，設于所述反應池中與所述位移控制器連接，用于獲取所述石英玻璃在進行盲槽加工的過程中的壓力信號并反饋至所述位移控制器。

2.根據權利要求1所述石英玻璃的盲槽加工裝置，其特征在于，還包括：

承片臺，設于所述反應池中，以定位所述石英玻璃。

3.根據權利要求2所述石英玻璃的盲槽加工裝置，其特征在于，所述壓力傳感器對應所述工具電極設置在所述承片臺上。

4.一種石英玻璃的盲槽加工方法，其特征在于，包括：

在所述石英玻璃上鍍制保護膜層；其中，所述保護膜層為Cr/Au金屬膜層，Cr金屬膜層的厚度為10nm，Au金屬膜層的厚度為200nm；

根據目標盲槽的結構，圖形化加工所述保護膜層；

通過電解液浸沒石英玻璃；其中，電解液的濃度為25％～30％；

往所述電解液中插入通電的工具電極、輔助電極；

調整所述工具電極所處位置，使所述工具電極與所述石英玻璃接觸；

控制所述工具電極施加脈沖電壓以加工出目標盲槽；其中，脈沖電源的電壓為30V～40V，其中，占空比設置為85％～95％；

在控制所述工具電極施加脈沖電壓以加工出目標盲槽時，還包括：

控制所述工具電極超聲振動；其中，所述工具電極超聲振動的頻率為60Hz～80Hz；

在控制所述工具電極超聲振動以加工出所述目標盲槽時，還包括：

獲取加工時長，所述加工時長為加工所述目標盲槽所需的時長；

控制所述工具電極在所述加工時長內向所述石英玻璃施加脈沖電壓并進行超聲振動；

在控制所述工具電極施加脈沖電壓以加工出目標盲槽時，還包括：

通過壓力傳感器獲取所述工具電極對所述石英玻璃施加的壓力值；

判斷所述壓力值是否處于壓力區間，所述壓力區間為所述工具電極對所述石英玻璃施加的壓力值的允許范圍；

若否，調整所述工具電極所處位置，以使所述壓力值重新落入所述壓力區間。