[發明專利]微結構的生成方法及表面具有微結構的產品

在審

• 申請號: 202011127921.6
• 申請日: 2020-10-20
• 公開（公告）號: CN112250312A
• 公開（公告）日: 2021-01-22
• 發明（設計）人: 李磊;劉風雷;李其凡;王琳;高雅楠;蔣曉
• 申請（專利權）人: 浙江水晶光電科技股份有限公司
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00;C04B41/53;G03F7/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 衡滔

本申請提供一種微結構的生成方法及表面具有微結構的產品，方法包括：根據表面具有微結構的第一模板，在基板上形成具有微結構的掩膜層，其中，微結構包含具有至少一項結構特征的多個單體結構，結構特征為：多個單體結構尺寸不一，或者，多個單體結構非均勻排布；對具有掩膜層的基板進行等離子刻蝕，以將掩膜層包含的微結構復刻到基板的本體上。微結構可以保證產品的抗眩光效果，而采用將第一模板具有的微結構復刻到基板的掩膜層，再通過等離子刻蝕的方式將掩膜層的微結構復刻到基板的本體上，可以提升產品的性能、精度和可靠性。

技術領域

本申請涉及等離子刻蝕技術領域，具體而言，涉及一種微結構的生成方法及表面具有微結構的產品。

背景技術

當光照射到光滑的材料表面(如玻璃、石英、藍寶石等)，會發生鏡面反射，反射的光十分明亮(即眩光)，進入人眼會使人看不清材料表面及通過材料展示的影像，甚至會引起視覺疲勞等。而消費電子市場中，各種各樣的電子產品表面設有用于顯示的屏幕，而屏幕的材料及光滑的表面，很容易產生炫光。

目前，防眩光技術在各種顯示類應用(如車載屏幕、手機屏幕等)中占很大比重，而隨著微納行業的興起，現有技術已難以滿足行業對高性能、高精度、高重復性和可靠性的產品的要求。現有的防眩光制作技術如磨砂技術中，將玻璃切割為指定規格尺寸的玻璃樣片，并對玻璃樣片進行清洗和干燥，然后將玻璃樣片浸泡于過飽和蒙砂液中或在玻璃樣片上噴淋過飽和蒙砂液，對玻璃樣片進行蒙砂處理，使過飽和蒙砂液在玻璃表面析晶。最后將經過蒙砂處理的玻璃樣片清洗干凈后，進行拋光、清洗和干燥，得到抗眩光玻璃。但這種方式制作的產品精度低，重復性和可控性差。

發明內容

本申請實施例的目的在于提供一種微結構的生成方法及表面具有微結構的產品，以提高防眩光產品的性能、精度和可靠性。

為了實現上述目的，本申請的實施例通過如下方式實現：

第一方面，本申請實施例提供一種微結構的生成方法，所述方法包括：根據表面具有微結構的第一模板，在基板上形成具有所述微結構的掩膜層，其中，所述微結構包含具有至少一項結構特征的多個單體結構，所述結構特征為：所述多個單體結構尺寸不一，或者，所述多個單體結構非均勻排布；對具有所述掩膜層的基板進行等離子刻蝕，以將所述掩膜層包含的所述微結構復刻到所述基板的本體上。

在本申請實施例中，通過利用具有微結構的第一模板在基板上形成具有微結構的掩膜層，然后對具有掩膜層的基板進行等離子刻蝕，以將掩膜層包含的微結構復刻到基板的本體上。其中，微結構包含多個單體結構，且多個單體結構至少具備以下結構特征的至少一項：所述多個單體結構尺寸不一，或者，所述多個單體結構非均勻排布。微結構可以保證產品的抗眩光效果，而采用將第一模板具有的微結構復刻到基板的掩膜層，再通過等離子刻蝕的方式將掩膜層的微結構復刻到基板的本體上，可以提升產品的性能、精度和可靠性。

結合第一方面，在第一方面的第一種可能的實現方式中，所述根據表面具有微結構的第一模板，在基板上形成具有所述微結構的掩膜層，包括：通過納米壓印工藝，將所述第一模板表面的所述微結構，復刻到所述基板上設置的掩膜層上，以在基板上形成具有所述微結構的掩膜層。

在該實現方式中，通過納米壓印工藝將第一模板表面的微結構復刻到基板上設置的掩膜層上，可以保證掩膜層上微結構的精度。并且，采用納米壓印的方式，可以保證微結構的一致性和可靠性，且具有可重復性。