[發明專利]一種基于Nd:YAG和Er:YAG激光器和頻產生的248nm高功率深紫外激光器

在審

• 申請號: 202011127257.5
• 申請日: 2020-10-20
• 公開（公告）號: CN112234424A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 趙智剛;劉世鑫;關晨;叢振華;劉兆軍
• 申請（專利權）人: 山東大學
• 主分類號: H01S3/108
• 分類號: H01S3/108;H01S3/109;H01S3/23
• 代理公司: 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219
• 代理人: 顏洪嶺

1.一種基于1064nmNd:YAG激光器和1645nmEr:YAG激光器和頻產生的248nm全固態高功率深紫外激光器，其特征在于，包括1064nmNd:YAG激光器和1645nmEr:YAG激光器；

其中，1645nmEr:YAG激光器沿光路依次設置有第一倍頻非線性晶體、第一雙色鏡及第二雙色鏡；1064nmNd:YAG激光器沿光路依次設置有第二倍頻非線性晶體、第一和頻非線性晶體及第三雙色鏡；

第二雙色鏡和第三雙色鏡將激光分別引入第二和頻非線性晶體獲得248nm高功率深紫外激光輸出，248nm高功率深紫外激光再依次通過第四雙色鏡和第五雙色鏡輸出。

2.如權利要求1所述的248nm全固態高功率深紫外激光器，其特征在于，所述1064nmNd:YAG激光器由二極管泵浦，將1064nm轉換為355nm激光。

3.如權利要求1所述的248nm全固態高功率深紫外激光器，其特征在于，所述1645nmEr:YAG激光器由光纖激光器諧振泵浦，采用1532nm光纖激光器諧振泵浦，將1645nm轉換為822.5nm激光。

4.如權利要求1所述的248nm全固態高功率深紫外激光器，其特征在于，所述第一倍頻非線性晶體為角度相位匹配或溫度相位匹配的LBO非線性光學晶體，且LBO非線性光學晶體兩端面均鍍有對1645nm和822.5nm的增透介質膜。

5.如權利要求1所述的248nm全固態高功率深紫外激光器，其特征在于，所述第一雙色鏡鍍有對1645nm高反、822.5nm高透的介質膜，入射角度為45°。

6.如權利要求1所述的248nm全固態高功率深紫外激光器，其特征在于，所述第二雙色鏡鍍有對355nm高反、822.5nm高透的介質膜，入射角度為45°。

7.如權利要求1所述的248nm全固態高功率深紫外激光器，其特征在于，所述第三雙色鏡鍍有對248nm高反、1064nm和532nm高透的介質膜，入射角度為45°。

8.如權利要求1所述的248nm全固態高功率深紫外激光器，其特征在于，所述第二倍頻非線性晶體為LBO非線性光學晶體，且LBO非線性光學晶體兩端面均鍍有對1064nm和532nm的增透膜。

9.如權利要求1所述的248nm全固態高功率深紫外激光器，其特征在于，所述第一和頻非線性晶體為LBO非線性光學晶體，且LBO非線性光學晶體兩端面均鍍有對1064nm、532nm和355nm的增透膜。

10.如權利要求1所述的248nm全固態高功率深紫外激光器，其特征在于，所述第二和頻非線性晶體為角度相位匹配的BBO或CLBO非線性光學晶體，BBO非線性光學晶體兩端面均鍍有對822.5nm、355nm和248nm的增透膜，切割角度為47.6°或58.2°；CLBO非線性光學晶體無鍍膜，切割角度為61.9°。