[發明專利]一種優化鈷基磁性薄膜電感材料磁性能的方法有效
| 申請號： | 202011120297.7 | 申請日： | 2020-10-19 |
| 公開（公告）號： | CN112509805B | 公開（公告）日： | 2022-05-27 |
| 發明（設計）人： | 徐秀蘭;于廣華;馮春 | 申請（專利權）人： | 山東麥格智芯機電科技有限公司 |
| 主分類號： | H01F41/18 | 分類號： | H01F41/18;H01F41/22 |
| 代理公司： | 北京市廣友專利事務所有限責任公司 11237 | 代理人： | 張仲波 |
| 地址： | 255400 山東省淄*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 優化 磁性 薄膜 電感 材料 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種優化鈷基磁性薄膜電感材料磁性能的方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1.對Co基軟磁材料靶材表面進行清洗；
S2.利用磁控濺射方法，在基片上依次沉積Co基軟磁材料、Al2O3，形成Co基軟磁材料/Al2O3結構；
S3.沉積完畢后，在真空環境下，對步驟S2中得到的薄膜體系進行適當溫度的熱處理；
所述Co基軟磁材料包括CoZrTa、CoZrTaB；
步驟S2中所述磁控濺射的濺射室的本底真空度1×10-5～3×10-5Pa，濺射時氬氣壓為0.3～0.8Pa；
步驟S3中所述真空環境的真空度為1×10-5～5×10-5Pa，所述熱處理的溫度為200～500℃，保溫時間為5～30分鐘。
2.根據權利要求1所述的優化鈷基磁性薄膜電感材料磁性能的方法，其特征在于：所述基片包括帶有熱氧化的SiO2層的Si基片、Si基片、應力應變基片。
3.根據權利要求1所述的優化鈷基磁性薄膜電感材料磁性能的方法，其特征在于，步驟S1中所述清洗過程包括：先用有機化學試劑對靶材表面進行超聲清洗，之后用去離子水超聲清洗，最后通過氮氣吹干或者烘箱烘干。
4.根據權利要求1所述的優化鈷基磁性薄膜電感材料磁性能的方法，其特征在于：步驟S2中所述磁控濺射的Co基軟磁材料靶材轟擊時間2-5分鐘，Al2O3靶材轟擊時間6-8分鐘。
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