[發明專利]波導參數的提取方法及系統、虛擬晶圓的建立方法及系統

有效

• 申請號: 202011119401.0
• 申請日: 2020-10-19
• 公開（公告）號: CN112255786B
• 公開（公告）日: 2022-05-17
• 發明（設計）人: 于濟瑤;曹國威;馮俊波
• 申請（專利權）人: 聯合微電子中心有限責任公司
• 主分類號: G02B27/00
• 分類號: G02B27/00;G01M11/02;G01R23/165;G06F17/16
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張振軍

1.一種波導參數的提取方法，其特征在于，包括：

提供晶圓，所述晶圓上具有共振器，所述共振器包括：環形波導和環外波導，所述環外波導位于所述環形波導以外且所述環外波導的至少一部分與所述環形波導的至少一部分具有平行關系，所述共振器具有預設的參數矩陣；

通過測量的方式確定所述共振器的特征參數；

根據所述參數矩陣和所述特征參數，計算所述共振器中波導的實際物理參數，所述波導包括所述環形波導和環外波導，所述實際物理參數包括環形波導和環外波導之間的間距；

其中，所述參數矩陣用于描述所述共振器的特征參數與所述共振器中波導的物理參數之間的數學關系；

所述共振器中的波導具有設計物理參數，所述設計物理參數包括環形波導和環外波導之間的設計間距，所述提供晶圓之前，還包括：

設定一組預設波長；

對于每個預設波長，根據所述共振器中波導的設計物理參數，確定所述共振器在所述每個預設波長下的參數矩陣；

通過測量的方式確定所述共振器的特征參數包括：

掃描所述共振器，確定所述共振器的頻譜；

根據所述共振器的頻譜確定所述共振器的特征參數；

根據所述參數矩陣和所述特征參數，計算所述共振器中波導的實際物理參數包括:

根據所述共振器的頻譜確定所述共振器的諧振波長；

根據所述諧振波長，在所述共振器在所述各個預設波長下的參數矩陣中確定所述共振器在所述諧振波長下的參數矩陣；

根據所述共振器在所述諧振波長下的參數矩陣和所述共振器的特征參數計算所述共振器中波導的實際物理參數。

2.根據權利要求1所述的波導參數的提取方法，其特征在于，所述提供晶圓之前，還包括：

驗證所述共振器的參數矩陣的準確性。

3.根據權利要求1所述的波導參數的提取方法，根據所述共振器中波導的設計物理參數，確定所述共振器的參數矩陣包括：

生成一組預設物理參數，所述預設物理參數的均值為所述共振器中波導的設計物理參數；

對于各個預設物理參數，分別采用計算的方式確定所述共振器中波導的物理參數為各個預設物理參數時所述共振器的特征參數；

根據所述預設物理參數和所述共振器中波導的物理參數為各個預設物理參數時所述共振器的特征參數，計算所述參數矩陣。

4.根據權利要求2所述的波導參數的提取方法，其特征在于，驗證所述共振器的參數矩陣的準確性包括:

生成一組隨機物理參數，所述隨機物理參數具有預設的均值和標準差，所述隨機物理參數的均值為所述共振器中波導的設計物理參數；

對于各個隨機物理參數，分別采用計算的方式確定所述共振器中波導的物理參數為各個隨機物理參數時所述共振器的特征參數；

根據所述共振器中波導的物理參數為各個隨機物理參數時所述共振器的特征參數和波導傳輸方程分別確定所述共振器中波導的物理參數為各個隨機物理參數時所述共振器的頻譜；

分別為所述共振器中波導的物理參數為各個隨機物理參數時所述共振器的頻譜添加預設信噪比的高斯白噪聲，得到多個模擬頻譜；

根據各個模擬頻譜，分別確定每個模擬頻譜的特征參數，記為模擬特征參數；

根據所述模擬特征參數和所述參數矩陣，分別計算每個隨機物理參數對應的模型物理參數；

計算各個模型物理參數的均值和標準差；

將所述隨機物理參數的均值和標準差與所述模型物理參數的均值和標準差進行比較，如果所述隨機物理參數的均值與所述模型物理參數的均值的差值小于等于第一預設差值，且所述隨機物理參數的均值與所述模型物理參數的標準差的差值小于等于第二預設差值，則確定所述共振器的參數矩陣是準確的。