[發明專利]一種超高真空CF密封刀口加工工藝

在審

• 申請號: 202011118297.3
• 申請日: 2020-10-19
• 公開（公告）號: CN112518231A
• 公開（公告）日: 2021-03-19
• 發明（設計）人: 雷林光;洪婧;謝如應
• 申請（專利權）人: 杭州大和熱磁電子有限公司
• 主分類號: B23P13/02
• 分類號: B23P13/02;B23B27/06;B23B29/03
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司 33109
• 代理人: 鄭汝珍

本發明公開了一種超高真空CF密封刀口加工工藝，包括以下步驟：a.零件固定：將待加工零件固定在加工中心的固定臺上；b.粗銑零件：利用加工中心的粗銑刀加工待加工零件的所有待加工面粗銑；c.半精鏜零件：利用半精鏜刀加工CF密封刀口外斜面；利用半精立銑刀加工CF密封刀口內斜面；d.精鏜零件：利用精鏜刀具加工CF密封刀口外斜面；利用精立銑刀加工CF密封刀口內斜面；e.零件取出：將零件取出并進行檢驗。本發明提供了一種超高真空CF密封刀口加工工藝，一次裝夾即可在加工中心上，通過半精套鏜刀及精套鏜刀，完成除安裝面外所有其余面上的CF密封刀口的加工，很好地保證產品的尺寸精度、表面粗糙度及形位精度。

技術領域

本發明涉及機械加工技術領域，尤其是涉及一種超高真空CF密封刀口加工工藝。

背景技術

CF法蘭的英文名是Conflat Flang。它是一種用于超高真空中的法蘭連接，是一種金屬靜密封，可以承受高溫烘烤。超高真空腔體的密封結構，一般用兩個對稱的刀口與金屬墊片密封，刀口為圓周方向。密封結構有采用標準CF法蘭焊接在腔體上，也有直接在腔體上按CF法蘭的刀口標準加工密封刀口。根據超高真空CF法蘭的密封刀口標準，受刀口形狀所限，無法采用銑削的方式加工，最適合的加工方式是車削，但對于在真空腔體上不同位置結構、不同空間角度按CF法蘭刀口標準直接加工密封刀口，不適合在車床上加工。因此，需要設計一種超高真空CF密封刀口加工工藝，一種超高真空CF密封刀口加工工藝，一次裝夾即可在加工中心上，通過半精套鏜刀及精套鏜刀，完成除安裝面外所有其余面上的CF密封刀口的加工，很好地保證產品的尺寸精度、表面粗糙度及形位精度。。

中國專利申請公開號CN101590537，公開日為2019年12月02日，名稱為“聯軸器法蘭孔加工方法”，公開了一種聯軸器法蘭孔加工方法，首先是利用鏜模定位，然后粗加工法蘭孔，最后精加工法蘭孔，其中所述粗加工時，在粗加工鏜刀排的刀桿上套一個外徑與法蘭?？卓讖较嗯鋵?，利用該導套對粗加工鏜刀排在法蘭?？字羞M行徑向定位，并且將粗加工鏜刀排的刀桿分為兩節，兩節刀桿之間采用萬向接頭連接；克服了機床定位與工件孔的位置偏差。所述精加工采用具有兩刃間距離等于欲加工成的法蘭孔孔徑的雙面刃鏜刀的精加工鏜刀排，精加工時，鏜模的法蘭?？字性O置有外徑與法蘭模孔孔徑相配、內徑等于欲加工法蘭孔孔徑的導套。但是該加工方法無法加工不同空間角度的法蘭孔，仍未解決上述問題。

發明內容

本發明為了克服現有加工工藝很難或無法加工真空腔體上不同位置結構、不同空間角度的超高真空CF密封刀口的問題，提供一種超高真空CF密封刀口加工工藝，一次裝夾即可在加工中心上，通過半精套鏜刀及精套鏜刀，完成除安裝面外所有其余面上的CF密封刀口的加工，很好地保證產品的尺寸精度、表面粗糙度及形位精度。

為了實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種超高真空CF密封刀口加工工藝，包括以下步驟：

a.零件固定：將待加工零件固定在加工中心的固定臺上；

b.粗銑零件：利用加工中心的粗銑刀加工待加工零件的所有待加工面粗銑；

c.半精鏜零件：利用半精鏜刀加工CF密封刀口外斜面；利用半精立銑刀加工CF密封刀口內斜面；

d.精鏜零件：利用精鏜刀具加工CF密封刀口外斜面；利用精立銑刀加工CF密封刀口內斜面；

e. 零件取出：將零件取出并進行檢驗。

上述技術方案中，待加工零件進行粗銑后，采用類似锪刀工藝方法，采用專用半精鏜刀和精鏜刀具，用修刮方式，即主軸定位后，僅做旋轉運動及軸向進刀運動，完成CF密封刀口面的精加工，從而在加工中心上完成刀口法蘭錐面刀口的加工。上述技術方案解決了現有工藝很難加工真空腔體上不同位置、不同空間角度的超高真空CF密封刀口的問題，一次裝夾，即可在加工中心上，通過使用非標設計的半精套鏜刀及精套鏜刀，完成除安裝面外所有其余面上的CF密封刀口的加工，很好地保證產品的尺寸精度、表面粗糙度及形位精度，提供了簡單好用且通用性強的解決方法。