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[發明專利]基于二次刻蝕法制備高刻蝕率和高剝離率的少層Ti3有效

專利信息
申請號: 202011115819.4 申請日: 2020-10-19
公開(公告)號: CN112194134B 公開(公告)日: 2022-02-15
發明(設計)人: 劉柏雄;李聰;劉智平;任世剛;周少勇 申請(專利權)人: 江西理工大學
主分類號: C01B32/921 分類號: C01B32/921;B82Y40/00
代理公司: 西安知誠思邁知識產權代理事務所(普通合伙) 61237 代理人: 麥春明
地址: 341000 江*** 國省代碼: 江西;36
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 基于 二次 刻蝕 法制 剝離 ti base sub
【權利要求書】:

1.基于二次刻蝕法制備高刻蝕率和高剝離率的少層Ti3C2Tx材料的方法,其特征在于,以Ti3AlC2為原料,以HF水溶液作預刻蝕處理,經LiF和HCl反應后形成的鹽溶液作為二次刻蝕劑進行二次刻蝕處理,具體包括以下步驟:

步驟1、預刻蝕:制備質量分數為5%~50%的HF水溶液,向制備的HF水溶液中加入質量濃度為10g/L~200g/L的Ti3AlC2,攪拌4h~6h,所得產物經離心、洗滌得到預刻蝕產物;

步驟2、二次刻蝕:

步驟2.1、配置濃度為3mol/L、6mol/L、9mol/L或12mol/L的HCl,加入質量濃度為50g/L~360g/L的LiF,所述LiF的質量濃度為160g/L,經充分攪拌溶解,所述攪拌的工藝條件具體為:以100rpm~500rpm的磁力攪拌速率于恒溫磁力攪拌器下攪拌5min~35min,得到LiF和HCl反應后形成的鹽溶液,作為二次刻蝕劑;

步驟2.2、將步驟1得到的預刻蝕產物浸沒在步驟2.1得到的二次刻蝕劑中,于15℃~75℃溫度條件下攪拌4h~6h,得到二次刻蝕產物;

步驟3、將步驟2.2所得二次刻蝕產物進行離心洗滌、超聲分散、離心分層,對收集得到的懸浮液進行干燥處理,所得產物為高刻蝕率和高剝離率的少層Ti3C2Tx材料;所述離心洗滌采用離心裝置,離心速率為5000rpm~15000rpm,離心時間為5min~20min,離心后上層懸浮液pH值為5~7;所述超聲分散采用超聲裝置,將得到的少層Ti3C2Tx快速均勻分散在溶液中,超聲頻率為40kHz~750kHz,超聲電功率為40W~500W,超聲時間為2min~10min;所述離心分層采用離心裝置,離心速率為1500rpm~4000rpm,離心時間為30min~120min。

2.根據權利要求1所述的基于二次刻蝕法制備高刻蝕率和高剝離率的少層Ti3C2Tx材料的方法,其特征在于,步驟1中,所述HF水溶液的質量分數為40%。

3.根據權利要求1所述的基于二次刻蝕法制備高刻蝕率和高剝離率的少層Ti3C2Tx材料的方法,其特征在于,步驟1中,所述Ti3AlC2的質量濃度為100g/L。

4.根據權利要求1所述的基于二次刻蝕法制備高刻蝕率和高剝離率的少層Ti3C2Tx材料的方法,其特征在于,步驟1中,所述攪拌的工藝條件具體為:在10℃~85℃的溫度條件下于恒溫磁力攪拌器中以100rpm~1000rpm的轉速下進行攪拌。

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