[發(fā)明專利]一種半導體器件貼片裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202011115625.4 | 申請日: | 2020-10-19 |
| 公開(公告)號: | CN112309951A | 公開(公告)日: | 2021-02-02 |
| 發(fā)明(設計)人: | 陳圓圓 | 申請(專利權)人: | 陳圓圓 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687;H01L21/67 |
| 代理公司: | 合肥兆信知識產權代理事務所(普通合伙) 34161 | 代理人: | 陳龍勇 |
| 地址: | 231100 安*** | 國省代碼: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體器件 裝置 | ||
1.一種半導體器件貼片裝置,其特征在于,包括底座(1)、工作臺(2)、升降機構(3)、夾緊機構(4)、移動機構(5)、上升機構(6)、貼片移動機構(7)和貼片機構(8),所述底座(1)設置在地面上,所述工作臺(2)固定設置在底座(1)的上方,所述升降機構(3)設置有兩個,兩個升降機構(3)對稱設置在工作臺(2)的一側,兩個所述升降機構(3)分別與工作臺(2)固定連接,所述夾緊機構(4)設置有兩個,兩個所述夾緊機構(4)分別與一個升降機構(3)固定連接,所述移動機構(5)設置有兩個,兩個所述移動機構(5)設置在工作臺(2)上,所述上升機構(6)設置有四個,四個所述升降機構(3)兩兩對稱設置在工作臺(2)的一側,所述貼片移動機構(7)設置在兩個所述移動機構(5)之間,所述貼片機構(8)固定設置在貼片移動機構(7)的下方。
2.根據權利要求1所述的一種半導體器件貼片裝置,所述底座(1)呈矩形,所述底座(1)下方設置有四個支撐柱(101),四個所述支撐柱(101)兩兩對稱固定設置在底座(1)的下方。
3.根據權利要求2所述的一種半導體器件貼片裝置,其特征在于,所述工作臺(2)呈矩形,所述工作臺(2)固定設置在底座(1)的上方,所述工作臺(2)上方設置有四個支撐板(201),四個所述支撐板(201)兩兩對稱設置在工作臺(2)上,四個所述支撐板(201)上均開設有移動槽(2011)。
4.根據權利要求1所述的一種半導體器件貼片裝置,其特征在于,每個所述升降機構(3)均包括升降底板(31)、升降頂板(32)、升降移動板(33)、升降絲桿(34)、升降輔助絲桿(35)和升降電機(36),所述升降底板(31)固定設置在工作臺(2)的一側,所述升降頂板(32)對應設置在升降底板(31)的上方,所述升降移動板(33)設置在升降底板(31)和升降頂板(32)之間,所述升降絲桿(34)的一端與升降頂板(32)的一側相連接,所述升降絲桿(34)的另一端貫穿所述升降移動板(33)與升降底板(31)轉動連接,所述升降輔助絲桿(35)設置有兩個,兩個所述升降輔助絲桿(35)分別設置在所述升降絲桿(34)的一側,兩個所述升降輔助絲桿(35)與升降底板(31)固定連接,所述升降電機(36)固定設置在升降頂板(32)的上方,所述升降電機(36)的輸出端與升降絲桿(34)的一端固定連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





