[發明專利]一種空氣微波等離子體射流表面處理裝置

在審

• 申請號: 202011110550.0
• 申請日: 2020-10-16
• 公開（公告）號: CN112135409A
• 公開（公告）日: 2020-12-25
• 發明（設計）人: 陳兆權;洪伶俐;張三陽
• 申請（專利權）人: 安徽酷熠電磁科技有限公司
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46;H03K7/06
• 代理公司: 北京和聯順知識產權代理有限公司 11621
• 代理人: 趙宇

1.一種空氣微波等離子體射流表面處理裝置，包括微波電源(1)、圓柱形同軸諧振腔(2)，微波電源(1)和圓柱形同軸諧振腔(2)通過同軸線連接，其特征在于，所述微波電源(1)包括調幅整流濾波器(101)、IGBT驅動信號模塊(102)、ZVS模塊(103)、高頻脈沖高壓包(104)、降壓變壓器(105)、燈絲電源(106)、磁控管(107)、工頻交流電模塊(108)和交流調壓器(109)，IGBT驅動信號模塊(102)的信號輸出端連接三極管的集電極，調幅整流濾波器(101)的輸出端連接三極管的集電極，三極管的發射極連接到ZVS模塊(103)的信號輸入端，ZVS模塊(103)與高頻脈沖高壓包(104)電性連接，高頻脈沖高壓包(104)與磁控管(107)的第一個端口電性連接，所述調幅整流濾波器(101)還與工頻交流電模塊(108)電性連接，工頻交流電模塊(108)與降壓變壓器(105)電性連接，降壓變壓器(105)與交流調壓器(109)電性連接，交流調壓器(109)與燈絲電源(106)電性連接，燈絲電源(106)還與磁控管(107)的第二個端口電性連接，磁控管(107)的外殼接地；

所述圓柱形同軸諧振腔(2)包括導體高度調節圈(201)、導體高度調節冒(202)、同軸線接頭(203)、通氣孔(204)、氣體通入接口(205)、導體固定座(206)、同軸諧振腔內導體(207)、導體柱形套(208)，所述導體固定座(206)的底端中央固定設置導體柱形套(208)，導體柱形套(208)的外部通過螺紋旋接導體高度調節冒(202)，所述導體柱形套(208)的中央空腔內滑動安裝同軸諧振腔內導體(207)，同軸諧振腔內導體(207)的上端向導體固定座(206)的上端延伸，所述導體固定座(206)的上端內沿通過螺紋旋接導體高度調節圈(201)，所述導體固定座(206)的側面開設有通氣孔(204)，通氣孔(204)連接氣體通入接口(205)，導體固定座(206)的側面還設有同軸線接頭(203)。

2.如權利要求1所述的空氣微波等離子體射流表面處理裝置，其特征在于，所述導體高度調節圈(201)的長度為35mm、外徑為22mm。

3.如權利要求1所述的空氣微波等離子體射流表面處理裝置，其特征在于，所述同軸諧振腔內導體(207)的高度為32mm、外徑為2mm，同軸諧振腔內導體(207)的底端轉動連接于導體高度調節冒(202)。

4.如權利要求1所述的空氣微波等離子體射流表面處理裝置，其特征在于，所述同軸線為鎳銅合金金屬絲，同軸線在同軸線接頭(203)內呈倒L型環耦合結構。

5.如權利要求1所述的空氣微波等離子體射流表面處理裝置，其特征在于，所述同軸線接頭(203)為SMA射頻接口，通過同軸線連接微波電源(1)和圓柱形同軸諧振腔(2)。

6.如權利要求1所述的空氣微波等離子體射流表面處理裝置，其特征在于，所述圓柱形同軸諧振腔(2)一端為載氣輸入端口，另一端為等離子體射流工作區域，所述等離子體射流呈火焰狀。

7.如權利要求1所述的空氣微波等離子體射流表面處理裝置，其特征在于，包括微波電源(1)和矩形同軸諧振腔(3)，矩形同軸諧振腔(3)包括圓柱形金屬內導體(301)和矩形諧振腔(302)，圓柱形金屬內導體(301)在矩形諧振腔(302)橫向排列。