[發(fā)明專利]一種組合式保溫氈盤及保溫氈盤結(jié)構(gòu)件

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011109645.0
• 申請日: 2020-10-16
• 公開（公告）號: CN112080797A
• 公開（公告）日: 2020-12-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 不公告發(fā)明人
• 申請（專利權(quán)）人: 哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司
• 主分類號: C30B23/00
• 分類號: C30B23/00;C30B29/36;C30B29/40
• 代理公司: 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所(普通合伙) 23209
• 代理人: 桑林艷

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體輔助工具技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種組合式保溫氈盤及保溫氈盤結(jié)構(gòu)件，是針對現(xiàn)有保溫氈開孔結(jié)構(gòu)在使用中存在精度不準(zhǔn)，定位偏差的缺陷所提出，組合式保溫氈盤，包括環(huán)形保溫氈組和可拆卸地安裝在環(huán)形保溫氈組上的實心保溫氈，所述實心保溫氈轉(zhuǎn)動安裝在環(huán)形保溫氈組的中心開孔內(nèi)，且實心保溫氈與環(huán)形保溫氈組裝配后整體呈實心圓盤狀；保溫氈盤結(jié)構(gòu)件由組合式保溫氈盤層疊設(shè)置而成，且每層組合式保溫氈盤層的開孔大小可調(diào)。本發(fā)明根據(jù)需要可快速調(diào)節(jié)保溫氈盤開孔的大小，實現(xiàn)開孔精確、定位準(zhǔn)確的效果，便于對溫場結(jié)構(gòu)進行調(diào)整，以探究合適的溫度梯度對長晶的影響。

技術(shù)領(lǐng)域：

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體輔助工具技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種組合式保溫氈盤及保溫氈盤結(jié)構(gòu)件。

背景技術(shù)：

第三代半導(dǎo)體材料主要是以碳化硅(SiC)、氮化鋁(AlN)、氮化鎵(GaN)等為代表的寬禁帶半導(dǎo)體材料，相對于傳統(tǒng)的半導(dǎo)體材料來說，第三代半導(dǎo)體材料具有非常優(yōu)異的物理、化學(xué)性能，被廣泛應(yīng)用于高壓、高頻和大功率技術(shù)領(lǐng)域。碳化硅和氮化鋁晶體生長通常采用物理氣相沉積法，在晶體的生長過程中，通過調(diào)控溫場內(nèi)溫度梯度，對晶體生長的質(zhì)量起到?jīng)Q定性影響。為了研究溫度梯度并加以調(diào)整，在晶體生長中常常用到保溫氈，并且根據(jù)需要會在保溫氈中間開設(shè)通孔，但是人為開孔的精度不準(zhǔn)確，定位存在偏差，并且難以根據(jù)需要對開孔大小進行調(diào)整，這對保溫結(jié)構(gòu)的研究帶來了許多困難。

發(fā)明內(nèi)容：

本發(fā)明為克服現(xiàn)有保溫氈開孔結(jié)構(gòu)在使用中存在精度不準(zhǔn)，定位偏差的缺陷，提供了一種組合式保溫氈盤及保溫氈盤結(jié)構(gòu)件，該氈盤可根據(jù)需要快速調(diào)節(jié)開孔大小，并可以準(zhǔn)確定位，便于對溫場結(jié)構(gòu)進行調(diào)整，以探究合適的溫度梯度。

本發(fā)明采用的技術(shù)方案在于：一種組合式保溫氈盤，包括：環(huán)形保溫氈組和可拆卸地安裝在環(huán)形保溫氈組上的實心保溫氈，所述實心保溫氈轉(zhuǎn)動安裝在環(huán)形保溫氈組的中心開孔內(nèi)，且實心保溫氈與環(huán)形保溫氈組裝配后整體呈實心圓盤狀。

優(yōu)選地，在實心保溫氈的外壁周向固定有至少兩個固定鍵，在環(huán)形保溫氈組的內(nèi)壁開設(shè)有環(huán)形鍵槽，在環(huán)形保溫氈組的上表面開設(shè)有與固定鍵相配合的定位槽一，所述定位槽一與環(huán)形鍵槽連通，當(dāng)實心保溫氈與環(huán)形保溫氈組裝配后，固定鍵能夠在環(huán)形鍵槽內(nèi)周向轉(zhuǎn)動。

優(yōu)選地，所述環(huán)形保溫氈組包括外環(huán)保溫氈和內(nèi)環(huán)保溫氈組，所述外環(huán)保溫氈轉(zhuǎn)動套設(shè)在內(nèi)環(huán)保溫氈組的外周，在內(nèi)環(huán)保溫氈組的外壁周向固定有至少兩個定位鍵，在外環(huán)保溫氈的內(nèi)壁開設(shè)有轉(zhuǎn)動鍵槽，在外環(huán)保溫氈的上表面開設(shè)有與定位鍵相配合的定位槽二，且定位槽二與轉(zhuǎn)動鍵槽連通，當(dāng)內(nèi)環(huán)保溫氈組與外環(huán)保溫氈裝配后，定位鍵能夠在轉(zhuǎn)動鍵槽內(nèi)周向轉(zhuǎn)動。

優(yōu)選地，所述內(nèi)環(huán)保溫氈組由至少兩個結(jié)構(gòu)相同的單環(huán)保溫氈套設(shè)而成，每個單環(huán)保溫氈的外壁周向固定有至少兩個定位鍵，在單環(huán)保溫氈的內(nèi)壁開設(shè)有環(huán)形鍵槽，在單環(huán)保溫氈的上表面開設(shè)有定位槽一，且每個定位槽一與環(huán)形鍵槽連通，當(dāng)相鄰套設(shè)的單環(huán)保溫氈裝配后，定位鍵能夠在對應(yīng)的環(huán)形鍵槽內(nèi)周向轉(zhuǎn)動。

優(yōu)選地，在外環(huán)保溫氈的上表面設(shè)有環(huán)形溝槽，且環(huán)形溝槽位于定位槽二的外周；在外環(huán)保溫氈的下表面設(shè)有環(huán)形定位鍵，且環(huán)形溝槽與環(huán)形定位鍵距離外環(huán)保溫氈圓心的距離相同。

保溫氈盤結(jié)構(gòu)件由多個組合式保溫氈盤層疊設(shè)置而成，且每層組合式保溫氈盤層的開孔大小可調(diào)。

本發(fā)明的有益效果是：

1、本發(fā)明根據(jù)需要可快速調(diào)節(jié)保溫氈盤開孔的大小，實現(xiàn)開孔精確、定位準(zhǔn)確的效果，便于對溫場結(jié)構(gòu)進行調(diào)整，以探究合適的溫度梯度對長晶的影響。

2、本發(fā)明的環(huán)形保溫氈組中內(nèi)環(huán)保溫氈組與外環(huán)保溫氈之間、內(nèi)環(huán)保溫氈組氈組中各單環(huán)保溫氈之間均通過鍵與槽實現(xiàn)便捷的可拆卸連接，同時，還保證了連接后的密閉性，從而達(dá)到保溫效果。

附圖說明：

圖1為本發(fā)明的拆分示意圖；

圖2為圖1的俯視圖；