[發明專利]空間6-RRRR柔順并聯納米定位平臺

有效

• 申請號: 202011104710.0
• 申請日: 2020-10-15
• 公開（公告）號: CN112476373B
• 公開（公告）日: 2022-05-20
• 發明（設計）人: 王瑞洲
• 申請（專利權）人: 廣東工業大學
• 主分類號: B25J9/00
• 分類號: B25J9/00
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 林麗明

1.空間6-RRRR柔順并聯納米定位平臺，包括第一固定基座（1）、第二固定基座（2）、末端執行器（3）、六條運動支鏈、六支用于測量所述末端執行器（3）位移的電容傳感器和分別驅動所述運動支鏈運動的六支壓電驅動器（5）；所述運動支鏈包括安裝于所述第一固定基座（1）的三條第一運動支鏈（6）和安裝于所述第二固定基座（2）的三條第二運動支鏈（7），所述第一運動支鏈（6）與所述第二運動支鏈（7）呈空間正交分布；其特征在于，所述第一運動支鏈（6）與所述第二運動支鏈（7）均包括三個柔性桿件（12）和四個由柔性鉸鏈構成的柔性轉動副，依次為第一柔性鉸鏈（8）、第二柔性鉸鏈（9）、第三柔性鉸鏈（10）和第四柔性鉸鏈（11），柔性鉸鏈之間通過柔性桿件（12）進行連接；所述第一運動支鏈（6）和所述第二運動支鏈（7）的一端分別與所述壓電驅動器（5）連接，另一端均與所述末端執行器（3）連接。

2.根據權利要求1所述的空間6-RRRR柔順并聯納米定位平臺，其特征在于，所述第一運動支鏈（6）與所述末端執行器（3）一體成型，所述第二運動支鏈（7）通過緊固件與所述末端執行器（3）固定連接。

3.根據權利要求2所述的空間6-RRRR柔順并聯納米定位平臺，其特征在于，所述第二運動支鏈（7）的末端設置有連接塊（701），并通過所述連接塊（701）與所述末端執行器（3）連接。

4.根據權利要求1所述的空間6-RRRR柔順并聯納米定位平臺，其特征在于，所述第一運動支鏈（6）水平設置，所述第二運動支鏈（7）豎直設置，所述第二運動支鏈（7）正交穿過所述第一運動支鏈（6）。

5.根據權利要求4所述的空間6-RRRR柔順并聯納米定位平臺，其特征在于，所述第一運動支鏈（6）和所述第二運動支鏈（7）圍繞所述第一固定基座（1）的中心圓周等距分布。

6.根據權利要求5所述的空間6-RRRR柔順并聯納米定位平臺，其特征在于，所述柔性鉸鏈為直圓型、角圓型、直梁型、雙曲線型、拋物線形、V型、橢圓型、十字簧片型或混合型中的一種。

7.根據權利要求5所述的空間6-RRRR柔順并聯納米定位平臺，其特征在于，所述電容傳感器安裝于所述第一固定基座（1）上，包括與所述第一運動支鏈（6）數量相等的水平方向電容傳感器（13） 和與所述第二運動支鏈（7）數量相等的豎直方向電容傳感器（14）；所述水平方向電容傳感器（13） 與所述第一運動支鏈（6）一一對應，所述豎直方向電容傳感器（14）與所述第二運動支鏈（7）一一對應。

8.根據權利要求1所述的空間6-RRRR柔順并聯納米定位平臺，其特征在于，所述第一固定基座（1）通過連接板（4）與所述第二固定基座（2）連接。

9.根據權利要求1-8任一所述的空間6-RRRR柔順并聯納米定位平臺，其特征在于，所述第一運動支鏈（6）靠近所述末端執行器（3）的第四柔性鉸鏈的轉軸線平行于所述第一固定基座（1），所述第一運動支鏈（6）的第一柔性鉸鏈、第二柔性鉸鏈和第三柔性鉸鏈的轉軸線均垂直于所述第一固定基座（1）。

10.根據權利要求9所述的空間6-RRRR柔順并聯納米定位平臺，其特征在于，所述第二運動支鏈（7）的柔性鉸鏈的轉軸線均平行于所述第二固定基座（2），所述第二運動支鏈（7）靠近所述末端執行器（3）的第三柔性鉸鏈和第四柔性鉸鏈的轉軸線呈正交關系。