[發明專利]加熱器及真空鍍膜裝置

在審

• 申請號: 202011102437.8
• 申請日: 2020-10-15
• 公開（公告）號: CN112210759A
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 李王俊;楊杰;申曌奉
• 申請（專利權）人: 蘇州邁正科技有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 劉寧

1.一種加熱器，其特征在于，包括加熱絲、第一殼體及第二殼體，其中：

所述第二殼體包覆在所述第一殼體的外側，且所述第二殼體背離所述第一殼體的外表面為氟原子復合損失率為小于5×10^-3的材料；

所述第一殼體包覆在所述加熱絲的外側，且所述第一殼體的熱膨脹系數與所述第二殼體的熱膨脹系數的比值為0.5-2。

2.根據權利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述第二殼體背離所述第一殼體的外表面為金、銀、鎳、鉑、鋁、不銹鋼合金、蒙乃爾合金、鉑銥合金、鎳合金、鋁合金、氧化鋁、氧化鋁鉻、氧化鐿陶瓷、氧化釔陶瓷、氧化鋁陶瓷、氮化鋁陶瓷材料中的任意一種。

3.根據權利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述第二殼體和所述第一殼體為管狀結構，所述第二殼體套設在所述第一殼體的外側，且與所述第一殼體、所述加熱絲通過拉拔形成為一體。

4.根據權利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述第二殼體為板狀結構，所述第一殼體包覆在所述加熱絲的外側，且壓鑄在所述第二殼體內部。

5.根據權利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述第二殼體包括板體和蓋板，所述板體的一側開設有溝槽，所述第一殼體包覆在所述加熱絲的外側，且嵌設于所述溝槽，所述蓋板蓋盒在所述溝槽的上方。

6.根據權利要求5所述的加熱器，其特征在于，所述第一殼體與所述第二殼體之間鉚接固定。

7.根據權利要求1-5任一項所述的加熱器，其特征在于，所述第二殼體的材質為鋁和/或鋁合金，或，所述第二殼體的外表面形成一層鋁涂層和/或鋁合金涂層。

8.根據權利要求1所述的加熱器，其特征在于，還包括至少一個第一熱電偶，所述第一熱電偶設置在所述加熱絲和所述第一殼體之間，且與所述加熱絲固定連接。

9.根據權利要求1或8所述的加熱器，其特征在于，還包括至少一個第二熱電偶，所述第二熱電偶設置在所述第一殼體和所述第二殼體之間，且固定在所述第二殼體靠近所述第一殼體的側壁上。

10.根據權利要求1所述的加熱器，其特征在于，所述第一殼體的材質為Inconel600、SUS304、SUS310、SUS316中的一種或多種。

11.一種真空鍍膜裝置，包括腔體，其特征在于，還包括如權利要求1-10任一項所述的加熱器，所述加熱器固定于所述腔體內部。