[發明專利]掃描電鏡探測器的成像效果演示裝置及方法

在審

• 申請號: 202011101836.2
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN112185225A
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 張偉;許佳佳;彭璟;鄧偉;焦廣勝;肖飛;樊申騰;黃險;王紅;齊濤;張濤;彭榮
• 申請（專利權）人: 深圳市美信檢測技術股份有限公司
• 主分類號: G09B23/22
• 分類號: G09B23/22;G01N23/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張洋

1.一種掃描電鏡探測器的成像效果演示裝置，其特征在于，包括：第一箱體、第二箱體、第一光源以及第二光源，所述第一箱體的一側表面開設有第一通孔，所述第二箱體通過所述第一通孔與所述第一箱體連通設置，所述第二箱體背離所述第一箱體的一側表面開設有第二通孔，所述第二通孔與所述第一通孔同軸設置，所述第一箱體內用于設置對應于所述第一通孔的演示樣品，所述第一光源設置于所述第一箱體內，所述第二光源設置于所述第二箱體內，所述第一光源和所述第二光源分別向所述演示樣品出射光束。

2.如權利要求1所述的掃描電鏡探測器的成像效果演示裝置，其特征在于，所述第二箱體背離所述第二通孔的一側形成有圓臺形束光筒，所述束光筒伸入于所述第一箱體內且其光軸與所述第一通孔同軸，所述束光筒的小口朝向背離所述第二通孔的方向。

3.如權利要求1所述的掃描電鏡探測器的成像效果演示裝置，其特征在于，所述第一箱體的內表面為漫反射表面。

4.如權利要求3所述的掃描電鏡探測器的成像效果演示裝置，其特征在于，所述第一箱體的內表面涂覆有漫反射材料。

5.如權利要求3所述的掃描電鏡探測器的成像效果演示裝置，其特征在于，所述第一箱體的內表面貼附有鋁箔。

6.如權利要求1所述的掃描電鏡探測器的成像效果演示裝置，其特征在于，所述第一光源為泛光光源。

7.如權利要求1所述的掃描電鏡探測器的成像效果演示裝置，其特征在于，所述第一光源和所述第二光源分別采用手電筒或LED燈。

8.如權利要求1所述的掃描電鏡探測器的成像效果演示裝置，其特征在于，所述第二通孔處對應設置有成像記錄裝置，所述成像記錄裝置的光軸與所述第二通孔同軸，用于接收經所述演示樣品反射后由所述第二通孔出射的光束并進行成像。

9.如權利要求8所述的掃描電鏡探測器的成像效果演示裝置，其特征在于，所述成像記錄裝置包括觀察窗、相機和手機中的任一種。

10.一種掃描電鏡探測器的成像效果演示方法，其特征在于，采用如權利要求1至9任一項所述的掃描電鏡探測器的成像效果演示裝置，所述方法包括：

啟動第一光源和/或第二光源，以照射演示樣品；

接收經所述演示樣品反射后由所述第二通孔出射的光束，以模擬和演示掃描電鏡中的樣品倉和/或物鏡內探測器的成像效果。