[發明專利]自調節彈性節能拋光裝置

有效

• 申請號: 202011101511.4
• 申請日: 2020-10-15
• 公開（公告）號: CN112192436B
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 葉卉;李曉峰;師曉開
• 申請（專利權）人: 上海理工大學
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B57/00;B24B57/02
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司 31001
• 代理人: 王晶;徐俊

1.一種自調節彈性節能拋光裝置，由拋光頭組件、拋光盤組件、滴液噴頭組件和拋光液回收裝置組成，所述拋光盤組件置于拋光液回收裝置的拋光液收集罩中，所述拋光盤組件上部一側設有拋光頭組件，另一側設有滴液噴頭組件，其特征在于：所述拋光頭組件包括絲杠驅動機構、彈性拋光機構以及電推桿夾具，所述絲杠驅動機構安裝在升降蓋和拋光頭外殼之間，并通過升降蓋帶動內滑塊上下移動，所述彈性拋光機構中的內滑塊置于拋光頭外殼內，并與拋光頭外殼導向滑動連接，所述內滑塊上端與拋光頭外殼之間通過主彈簧連接，所述內滑塊下端與拋光頭外殼下部的底部螺旋蓋之間通過支撐彈簧連接，所述內滑塊上端與升降蓋之間通過穿過拋光頭外殼頂部的拉伸彈簧相連接；所述內滑塊的下部分內設有均布的電推桿夾具，所述電推桿夾具中的電推桿通過卡爪裝夾用于粘黏拋光工件的載片盤。

2.根據權利要求1所述的自調節彈性節能拋光裝置，其特征在于：所述拋光頭組件中的絲杠通過螺母、法蘭蓋和絲杠底蓋固定在升降蓋上，所述絲杠下端通過絲杠軸承與拋光頭外殼連接，并用下端蓋和螺栓軸向固定，所述絲杠上端通過聯軸器連接異步電機。

3.根據權利要求1所述的自調節彈性節能拋光裝置，其特征在于：所述內滑塊的底端內裝有位移傳感器，所述位移傳感器通過控制器連接異步電機。

4.根據權利要求1所述的自調節彈性節能拋光裝置，其特征在于：所述內滑塊的外圓柱上通過分布的滑塊翼與拋光頭外殼內部的滑槽相配連接；所述內滑塊上下端分別設有大型彈簧限位管和小型彈簧限位管，大型彈簧限位管和小型彈簧限位管分別與拋光頭外殼上的雙層彈簧限位管和底部螺旋蓋上的中型彈簧限位管嵌套配合，所述小型彈簧限位管內裝有支撐彈簧，支撐彈簧兩端分別與內滑塊和底部螺旋蓋接觸連接，大型彈簧限位管內裝有主彈簧，主彈簧兩端分別與拋光頭外殼和內滑塊的大型彈簧限位管底部中的拉伸彈簧下接盤接觸連接。

5.根據權利要求1所述的自調節彈性節能拋光裝置，其特征在于：所述卡爪呈弧形，并通過螺紋旋入電推桿內，并能隨裝夾不同形狀的載片盤或工件來更換卡爪的類型。

6.根據權利要求1所述的自調節彈性節能拋光裝置，其特征在于：所述拋光盤組件中的拋光盤主軸通過拋光盤軸承與拋光液收集罩連接；所述拋光盤上設有集液槽和集液通孔，用于收集遺留在拋光盤上的拋光液。

7.根據權利要求5所述的自調節彈性節能拋光裝置，其特征在于：所述拋光液收集罩通過卡接套直接套在拋光盤主軸上的拋光盤軸承上，所述拋光液收集罩的底部內壁上設有螺旋劍齒紋，底端設有過濾網。

8.根據權利要求5所述的自調節彈性節能拋光裝置，其特征在于：所述拋光液收集罩底部通過回收液支管、壓力泵和主管道連接至滴液噴頭組件，所述主管道下端浸入全新拋光液中，所述主管道與回收液支管連接處下方設置單向閥，用于防止過濾后的拋光液向下流動污染新液。

9.根據權利要求1所述的自調節彈性節能拋光裝置，其特征在于：所述滴液噴頭組件包含進液軸、鎖緊蓋、噴頭上蓋、噴頭閥片、噴頭底蓋、刻度盤、封閉環，所述進液軸通過螺紋與主管道連接，并通過鎖緊蓋與噴頭上蓋固定連接；所述噴頭上蓋與噴頭底蓋之間設有可旋轉的噴頭閥片，噴頭閥片中設有多條連通進液軸底部的進液篩孔的孔道及內孔，噴頭底蓋上設有多個噴頭底蓋通孔，所述封閉環外套于內孔外圍，防止拋光液滲入噴頭底蓋與噴頭閥片中間縫隙。

10.根據權利要求9所述的自調節彈性節能拋光裝置，其特征在于：所述噴頭閥片上設有刻度盤，通過刻度盤控制內孔與噴頭底蓋通孔的重合度來控制出液量；所述刻度盤上共有四組刻度，每組刻度內有三條刻度線，從右往左分別對應小流量、中流量、大流量三種流況。