[發明專利]拋光漿料和制造半導體器件的方法

在審

• 申請號: 202011101370.6
• 申請日: 2020-10-15
• 公開（公告）號: CN112812691A
• 公開（公告）日: 2021-05-18
• 發明（設計）人: 鄭文一;金度潤;高井健次;文得圭;尹民希
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: C09G1/02
• 分類號: C09G1/02;H01L21/321
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 王華芹

1.拋光漿料，包括

富勒烯衍生物，和

至少一種具有至少一個帶正電的官能團的化合物。

2.如權利要求1所述的拋光漿料，其中所述富勒烯衍生物具有至少一個帶負電的官能團。

3.如權利要求2所述的拋光漿料，其中所述帶負電的官能團包括以下的至少一種：羥基、羰基、羧酸根或羧酸鹽基團、磺酸根或磺酸鹽基團、硫酸根或硫酸鹽基團、巰基、或者磷酸根或磷酸鹽基團。

4.如權利要求1所述的拋光漿料，其中所述富勒烯衍生物由化學式1表示：

化學式1

C_x(OH)_y

其中，x為60、70、74、76或78且y為12至44的整數。

5.如權利要求1所述的拋光漿料，其中所述富勒烯衍生物的平均粒徑小于10納米。

6.如權利要求1所述的拋光漿料，其中所述至少一種具有至少一個帶正電的官能團的化合物具有大于或等于4.3eV且小于或等于5.3eV的LUMO能級。

7.如權利要求1所述的拋光漿料，其中所述至少一個帶正電的官能團包括含氮官能團。

8.如權利要求7所述的拋光漿料，其中所述含氮官能團包括以下的至少一種：氨基、硝基、仲胺基團、叔胺基團、季銨基團、二胺基團、多元胺基團、偶氮基團、酰胺基團或含氮雜環基團。

9.如權利要求7所述的拋光漿料，其中

具有包括含氮官能團的帶正電的官能團的至少一種化合物進一步包括含氧官能團，其中所述化合物中的氮(N)相對于氧(O)的原子比大于或等于0.25。

10.如權利要求9所述的拋光漿料，其中所述含氧官能團包括以下的至少一種：羥基、酯基、羰基或羧酸基團。

11.如權利要求1所述的拋光漿料，其中至少一種具有帶正電的官能團的化合物具有至少兩個帶正電的官能團。

12.如權利要求1所述的拋光漿料，其中至少一種具有帶正電的官能團的化合物包括以下的至少一種：亮氨酸、賴氨酸、蛋氨酸、纈氨酸、絲氨酸、半胱氨酸、胱氨酸、精氨酸、天冬酰胺、天冬氨酸、丙氨酸、鳥氨酸、異亮氨酸、蘇氨酸、酪氨酸、谷氨酰胺、谷氨酸、甘氨酸、組氨酸、苯丙氨酸、脯氨酸、尿素、甜菜堿、或其組合。

13.如權利要求1所述的拋光漿料，其中至少一種具有帶正電的官能團的化合物包括包含一個帶正電的官能團的第一化合物和包含兩個或更多個帶正電的官能團的第二化合物。

14.如權利要求13所述的拋光漿料，其中

所述第一化合物包括以下的至少一種：亮氨酸、蛋氨酸、纈氨酸、絲氨酸、半胱氨酸、天冬氨酸、丙氨酸、異亮氨酸、蘇氨酸、酪氨酸、谷氨酸、甘氨酸、苯丙氨酸、脯氨酸、甜菜堿、或其組合，和

所述第二化合物包括以下的至少一種：賴氨酸、胱氨酸、精氨酸、天冬酰胺、鳥氨酸、谷氨酰胺、組氨酸、尿素、或其組合。

15.如權利要求13所述的拋光漿料，其中所述第一化合物和所述第二化合物以1:3至10:1的重量比存在。

16.如權利要求1所述的拋光漿料，其中至少一種具有帶正電的官能團的化合物在水中具有正電荷。

17.如權利要求1所述的拋光漿料，其中

以0.001重量％至5重量％的量包括所述富勒烯衍生物，和

以0.001重量％至1重量％的量包括具有帶正電的官能團的化合物，

基于所述拋光漿料的總重量。