[發(fā)明專利]超高數(shù)值孔徑組合變倍率極紫外光刻照明系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011098581.9
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN112162468B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設計）人: 李艷秋;郝倩;閆旭
• 申請（專利權）人: 北京理工大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京理工大學專利中心 11120
• 代理人: 劉西云;李微微

1.一種超高數(shù)值孔徑組合變倍率極紫外光刻照明系統(tǒng)，其出射光在掩模上形成照明光斑，且出射光經由掩模入射到投影光刻物鏡系統(tǒng)，再由投影光刻物鏡系統(tǒng)將掩模的圖案成像到硅片上，同時，所述照明系統(tǒng)包括沿光路依次設置的光源模塊、視場復眼、光闌復眼、第一中繼鏡以及第二中繼鏡，其特征在于，所述視場復眼上各視場復眼元與光闌復眼上各光闌復眼元的對位匹配方法為：

S1：在設定的照明模式下，獲取參與照明的光闌復眼元的數(shù)量以及各參與照明的光闌復眼元的所在位置，其中，參與照明的光闌復眼元的數(shù)量與視場復眼中包含的視場復眼元的數(shù)量相同；

S2：分別將各視場復眼元作為當前視場復眼元執(zhí)行費用獲取操作，得到各視場復眼元與各參與照明的光闌復眼元之間的配對成本，其中，所述費用獲取操作為：

S21：將當前視場復眼元與各參與照明的光闌復眼元分別組成不同的復眼對；

S22：分別獲取每個復眼對的配對成本Cost：

Cost＝Angle_ori+ω×Length_den

其中，Angle_ori與Length_den分別為光源模塊發(fā)出的主光線經過所述復眼對、第一中繼鏡以及第二中繼鏡后在掩模上形成的照明光斑與期望光斑之間的光斑傾斜量與中心偏移，ω為設定權重；

S3：根據(jù)各視場復眼元與各參與照明的光闌復眼元之間的配對成本構建成本矩陣，根據(jù)成本矩陣獲取各視場復眼元與各參與照明的光闌復眼元之間所有可能的配對方案對應的配對總成本，其中，在每一個可能的配對方案中，各視場復眼元與各參與照明的光闌復眼元一一對應；

S4：將配對總成本最小值對應的配對方案中各視場復眼元與各參與照明的光闌復眼元之間的一一配對關系作為最終的對位匹配關系；

所述視場復眼上各視場復眼元形成多行多列的復眼元陣列，且各行視場復眼元相互平行，同時，所述視場復眼上各行視場復眼元之間的間距設定方法為：

S5：基于各視場復眼元與各參與照明的光闌復眼元之間對位匹配關系，采用光學反射定律獲取各視場復眼元的旋轉角度；

S6：依次將各行視場復眼元作為當前行執(zhí)行間距獲取操作，得到當前行的視場復眼元與下一行的視場復眼元之間的期望最小間距，其中，所述間距獲取操作為：

S61：在當前間距下，分別將當前行中的各視場復眼元作為當前復眼元依次執(zhí)行角度旋轉操作，得到當前復眼元與其相鄰復眼元之間的最小間距，其中，所述相鄰復眼元為下一行的視場復眼元中與當前復眼元相鄰的復眼元，第一次執(zhí)行角度旋轉操作時，當前間距為設定的初始值，同時，所述角度旋轉操作為：

以當前復眼元與其相鄰復眼元相互平行作為起始狀態(tài)，將當前復眼元與其相鄰復眼元均旋轉待轉角度α，再將當前復眼元與其相鄰復眼元中旋轉角度較大的復眼元旋轉相對旋轉角度Δα，其中，待轉角度α為當前復眼元與其相鄰復眼元對應的旋轉角度中的較小值，相對旋轉角度Δα為當前復眼元與其相鄰復眼元對應的旋轉角度中的較大值與待轉角度α之間的差值；

令旋轉后的當前復眼元與其相鄰復眼元處于相切狀態(tài)，則兩者處于相切狀態(tài)時的間距為當前復眼元與其相鄰復眼元之間的最小間距；

S62：將當前行中的各視場復眼元與各自對應的相鄰復眼元之間的最小間距的最大值作為當前行的視場復眼元與下一行的視場復眼元之間的期望最小間距；

S7：按照各行視場復眼元之間的期望最小間距重新排布各視場復眼元，判斷重新排布的視場復眼是否同時滿足設定要求，若同時滿足，則此時視場復眼上各行視場復眼元之間的間距為最優(yōu)間距；若不同時滿足，則進入步驟S8；其中，所述設定要求包括：視場復眼基板上的各視場復眼元與相鄰視場復眼元不發(fā)生碰撞、視場復眼基板上的視場復眼元的數(shù)量和位置與上一次排布的數(shù)量和位置均相同；

S8：將重新排布后的視場復眼替代上一次排布的視場復眼重新執(zhí)行步驟S1～S7，直到視場復眼同時滿足設定要求。

2.如權利要求1所述的一種超高數(shù)值孔徑組合變倍率極紫外光刻照明系統(tǒng)，其特征在于，步驟S61中令旋轉后的當前復眼元與其相鄰復眼元處于相切狀態(tài)具體為：

若當前復眼元與其相鄰復眼元之間的位置關系為碰撞狀態(tài)，則增大當前復眼元與其相鄰復眼元之間的間距；若當前復眼元與其相鄰復眼元之間的位置關系為分離狀態(tài)，則減小當前復眼元與其相鄰復眼元之間的間距；若當前復眼元與其相鄰復眼元之間的位置關系為相切狀態(tài)，則當前復眼元與其相鄰復眼元之間的間距保持不變。