[發(fā)明專利]一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置和化學(xué)機(jī)械研磨方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202011097406.8
• 申請日: 2020-10-14
• 公開（公告）號: CN112223107A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 沈國榮
• 申請（專利權(quán)）人: 德清世錦智能科技有限公司
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/22;B24B47/12;B24B47/14;H01L21/306
• 代理公司: 北京金蓄專利代理有限公司 11544
• 代理人: 蔡鶴飛

本發(fā)明涉及化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置，包括箱體，箱體內(nèi)壁底部的右側(cè)安裝有傳送裝置，傳送裝置由傳送帶和支架組成，箱體內(nèi)部的上方安裝有夾取裝置，夾取裝置由滑塊一、夾爪和絲杠一組成，箱體的中部安裝有浸泡機(jī)構(gòu)，浸泡機(jī)構(gòu)有底座和浸泡箱組成，浸泡箱的內(nèi)部安裝有工裝夾具，箱體的頂部安裝有傳動機(jī)構(gòu)，浸泡箱的上方設(shè)有研磨機(jī)構(gòu)，浸泡箱的左側(cè)固定連接有水箱內(nèi)裝有化學(xué)研磨藥水。本發(fā)明通過將需要研磨的物料放置在傳送裝置上，然后傳送裝置正轉(zhuǎn)將物料運(yùn)行到傳送裝置的左側(cè)，然后夾取裝置上的夾爪工作將物料夾起，并且液壓推桿二工作將夾爪向上運(yùn)動，使物料上升。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及化學(xué)機(jī)械研磨技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置和化學(xué)機(jī)械研磨方法。

背景技術(shù)

化學(xué)機(jī)械研磨，晶圓制造中，隨著制程技術(shù)的升級、導(dǎo)線與柵極尺寸的縮小，光刻(Lithography)技術(shù)對晶圓表面的平坦程度(Non-uniformity)的要求越來越高，IBM公司于1985年發(fā)展CMOS產(chǎn)品引入，并在1990年成功應(yīng)用于64MB的DRAM生產(chǎn)中。1995年以后，CMP技術(shù)得到了快速發(fā)展，大量應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)。化學(xué)機(jī)械研磨亦稱為化學(xué)機(jī)械拋光，其原理是化學(xué)腐蝕作用和機(jī)械去除作用相結(jié)合的加工技術(shù)，是機(jī)械加工中唯一可以實(shí)現(xiàn)表面全局平坦化的技術(shù)。

現(xiàn)有的技術(shù)存在功能不完善，不方便使用的問題，研磨完成的物料不能自動運(yùn)出設(shè)備外。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供了一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置和化學(xué)機(jī)械研磨方法，達(dá)到解決上述問題的目的。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種化學(xué)機(jī)械研磨裝置，包括箱體，所述箱體內(nèi)壁底部的右側(cè)安裝有傳送裝置，所述傳送裝置由傳送帶和支架組成，所述箱體內(nèi)部的上方安裝有夾取裝置，所述夾取裝置由滑塊一、夾爪和絲杠一組成，所述箱體的中部安裝有浸泡機(jī)構(gòu)，所述浸泡機(jī)構(gòu)有底座和浸泡箱組成，所述浸泡箱的內(nèi)部安裝有工裝夾具，所述箱體的頂部安裝有傳動機(jī)構(gòu)，所述浸泡箱的上方設(shè)有研磨機(jī)構(gòu)，所述浸泡箱的左側(cè)固定連接有水箱內(nèi)裝有化學(xué)研磨藥水，所述水箱通過管道與浸泡箱連接。

優(yōu)選的，所述箱體的右端安裝有箱門，所述箱門對置安裝，所述箱門的一端通過鉸接柱與箱體的右側(cè)鉸接，使傳送裝置可以平移到箱體的外部，從而方便放置物料。

優(yōu)選的，所述支架固定連接在傳送帶的底部，所述支架的形狀為直角梯形，所述支架的底部固定連接有滑板，所述滑板的下表面與箱體的內(nèi)壁底部滑動連接，所述滑板的左側(cè)固定連接有液壓推桿一，所述液壓推桿一通過凸塊固定連接在箱體的內(nèi)壁底部。

優(yōu)選的，所述夾爪安裝在滑塊一的底部，所述滑塊一頂部的限位塊與箱體內(nèi)壁頂部的限位槽滑動連接，所述夾爪的頂部與滑塊一底部的凹槽之間固定連接有液壓推桿二，所述絲杠一的兩端在箱體的內(nèi)壁兩端固定連接有軸承一，所述絲杠一的兩端與軸承一傳動連接，所述滑塊一的一側(cè)與絲杠一通過絲杠螺母連接。

優(yōu)選的，所述所述絲杠一的右端安裝有步進(jìn)電機(jī)一，所述步進(jìn)電機(jī)一通過連接板與箱體的內(nèi)壁側(cè)面固定連接，所述絲杠一的右端與步進(jìn)電機(jī)一的左端均固定連接有皮帶輪一，兩個所述皮帶輪一之間通過皮帶一傳動連接。

優(yōu)選的，所述浸泡箱固定連接在底座的頂部，所述底座的底部與浸泡箱之間安裝有兩個活動桿，兩個所述活動桿的中部互相鉸接，兩個所述活動桿之間鉸接有液壓推桿三，兩個所述活動桿的上下兩端在浸泡箱的底部和底座的內(nèi)壁底部均開有滑孔，兩個所述活動桿的兩端固定連接有滑柱，所述滑柱與滑孔滑動連接，所述工裝夾具的底部固定連接有液壓推桿二，所述液壓推桿二的底部固定連接有底板，所述底板固定連接在浸泡箱的內(nèi)壁底部。

優(yōu)選的，所述傳動機(jī)構(gòu)包括步進(jìn)電機(jī)二，所述步進(jìn)電機(jī)二固定連接在箱體的內(nèi)壁底部，所述箱體的頂部安裝有絲杠二，所述絲杠二的兩端在箱體的頂部固定連接有軸承二，所述絲杠二的兩端與軸承二轉(zhuǎn)動連接，所述絲杠二的左端和步進(jìn)電機(jī)二的左端均固定連接有皮帶輪二，兩個所述皮帶輪二通過皮帶二傳動連接。