[發(fā)明專利]一種用于更換直線等離子體源的裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011096553.3
• 申請(qǐng)日: 2020-10-14
• 公開（公告）號(hào): CN112002440A
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 桑超峰;王越;孫長江;葉灝;王奇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 大連理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G21B1/25
• 分類號(hào): G21B1/25;G21B1/13;G21B1/17;G21B1/05
• 代理公司: 大連星海專利事務(wù)所有限公司 21208
• 代理人: 郭海英;花向陽

1.一種用于更換直線等離子體源的裝置，它包括與真空室（1）固定連接的真空室法蘭（2），其特征是：它還包括等離子體源，所述等離子體源通過連接法蘭與真空室法蘭（2）連接，在等離子體源上設(shè)有可移動(dòng)的磁體線圈（5），磁體線圈（5）采用單獨(dú)供電，電流為600A時(shí)，單個(gè)線圈的最大功率為37.33kw；

所述連接法蘭采用A型法蘭（3a）、B型法蘭（3b）或C型法蘭（3c）；等離子體源采用Helical型螺旋波等離子體源（6）、蚊香型螺旋波等離子體源（7）或六硼化鑭等離子體源（8），Helical型螺旋波等離子體源（6）通過A型法蘭（3b）與真空室法蘭（2）連接，蚊香型螺旋波等離子體源（7）通過B型法蘭（3a）與真空室法蘭（2）連接，六硼化鑭等離子體源（8）通過C型法蘭（3c）與真空室法蘭（2）連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于更換直線等離子體源的裝置，其特征是：所述A型法蘭（3a）包含內(nèi)層法蘭（3a1）、石英玻璃環(huán)（3a2）和外層法蘭（3a3），內(nèi)層法蘭（3a1）通過石英玻璃環(huán)（3a2）連接外層法蘭（3a3），外層法蘭（3a3）采用多個(gè)均布法蘭螺栓（2a）連接真空室法蘭（2），內(nèi)層法蘭（3a1）的內(nèi)孔與插入真空室（1）中的第一等離子放電管（6a）的外圓之間設(shè)有氟橡膠密封圈（4）；所述真空室（1）的底部設(shè)有第一充氣孔（1a）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于更換直線等離子體源的裝置，其特征是：所述B型法蘭（3b）包含石英玻璃（3b1）和法蘭（3b2），石英玻璃（3b1）固定在法蘭（3b2）的內(nèi)側(cè)，法蘭（3b2）外側(cè)采用多個(gè)均布法蘭螺栓（2a）連接真空室法蘭（2），法蘭（3b2）的內(nèi)孔與端部頂在石英玻璃（3b1）上的第二等離子放電管（7a）的外圓之間設(shè)有氟橡膠密封圈（4）；所述真空室（1）的底部設(shè)有第一充氣孔（1a）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于更換直線等離子體源的裝置，其特征是：所述C型法蘭（3c）直接設(shè)置在空心筒狀陽極（8a）的端部，且C型法蘭（3c）采用多個(gè)均布法蘭螺栓（2a）連接真空室法蘭（2），C型法蘭（3c）的內(nèi)孔與空心筒狀陽極（8a）的外圓之間設(shè)有氟橡膠密封圈（4）。