[發(fā)明專利]芯片微小模擬信號(hào)測(cè)試方法和測(cè)試裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202011095943.9
• 申請(qǐng)日: 2020-10-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112305406A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 謝晉春;辛吉升
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28
• 代理公司: 上海浦一知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31211
• 代理人: 戴廣志

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體的晶圓級(jí)測(cè)試領(lǐng)域，具體涉及一種芯片微小模擬信號(hào)測(cè)試方法和測(cè)試裝置。其中方法包括：獲取目標(biāo)微小模擬信號(hào)；通過(guò)特定時(shí)間間隔，對(duì)所述目標(biāo)微小模擬信號(hào)進(jìn)行采樣，獲取若干采樣點(diǎn)，每個(gè)采樣點(diǎn)對(duì)應(yīng)有采樣值；根據(jù)采樣點(diǎn)的采樣值，判斷所述采樣點(diǎn)是否為干擾信號(hào)點(diǎn)；剔除為干擾信號(hào)點(diǎn)的采樣點(diǎn)，將剩余采樣點(diǎn)的采樣值進(jìn)行平均，獲取所述目標(biāo)微小模擬信號(hào)的去噪信號(hào)均值；確定可信度檢測(cè)區(qū)間；若所述去噪信號(hào)均值位于所述可信度檢測(cè)區(qū)間內(nèi)，確定所述去噪信號(hào)均值為所述目標(biāo)微小模擬信號(hào)的信號(hào)值；其中裝置用于執(zhí)行上述方法。本申請(qǐng)?zhí)峁┑男酒⑿∧M信號(hào)測(cè)試方法和測(cè)試裝置，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)芯片的模擬微小信號(hào)進(jìn)行穩(wěn)定準(zhǔn)確地測(cè)試。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體的晶圓級(jí)測(cè)試領(lǐng)域，具體涉及一種芯片微小模擬信號(hào)測(cè)試方法和測(cè)試裝置。

背景技術(shù)

在晶圓出廠前，需要對(duì)其進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試，即逐次測(cè)試目標(biāo)晶圓上的目標(biāo)芯片，以判斷目標(biāo)芯片性能的好壞。在晶圓芯片測(cè)試中，目標(biāo)晶圓被安裝在測(cè)試機(jī)臺(tái)上，其上目標(biāo)芯片的測(cè)試焊盤(pán)(pad)通過(guò)探針卡與測(cè)試機(jī)臺(tái)電性耦合，由測(cè)試機(jī)臺(tái)通過(guò)執(zhí)行測(cè)試指令，以完成對(duì)目標(biāo)芯片的測(cè)試過(guò)程。測(cè)試完一個(gè)芯片，探針卡與下一目標(biāo)芯片的測(cè)試焊盤(pán)電性耦合，以繼續(xù)進(jìn)行測(cè)試。

在進(jìn)行晶圓級(jí)測(cè)試時(shí)，通常還需對(duì)目標(biāo)芯片進(jìn)行模擬測(cè)試，以獲取目標(biāo)芯片的模擬信號(hào)。由于模擬測(cè)試過(guò)程會(huì)受到測(cè)試機(jī)臺(tái)本身精度和探針卡抗干擾能力等硬件性能的影響，使得所獲取目標(biāo)芯片的模擬信號(hào)中疊加干擾信號(hào)。尤其對(duì)于信號(hào)值微小的微小信號(hào)，相關(guān)技術(shù)很難通過(guò)改善硬件性能以消除所疊加的干擾信號(hào)，因此對(duì)微小信號(hào)進(jìn)行準(zhǔn)確測(cè)試更為困難。

為此，采用何種測(cè)試方法，以實(shí)現(xiàn)對(duì)模擬微小信號(hào)進(jìn)行穩(wěn)定準(zhǔn)確地測(cè)試是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N芯片微小模擬信號(hào)測(cè)試方法和測(cè)試裝置，以實(shí)現(xiàn)對(duì)芯片的模擬微小信號(hào)進(jìn)行穩(wěn)定準(zhǔn)確地測(cè)試。

作為本申請(qǐng)的第一方面，提供一種芯片微小模擬信號(hào)測(cè)試方法，所述芯片微小模擬信號(hào)測(cè)試方法包括：

獲取目標(biāo)微小模擬信號(hào)；

通過(guò)特定時(shí)間間隔，對(duì)所述目標(biāo)微小模擬信號(hào)進(jìn)行采樣，獲取若干采樣點(diǎn)，每個(gè)采樣點(diǎn)對(duì)應(yīng)有采樣值；

根據(jù)采樣點(diǎn)的采樣值，判斷所述采樣點(diǎn)是否為干擾信號(hào)點(diǎn)；

剔除為干擾信號(hào)點(diǎn)的采樣點(diǎn)，將剩余采樣點(diǎn)的采樣值進(jìn)行平均，獲取所述目標(biāo)微小模擬信號(hào)的去噪信號(hào)均值；

確定可信度檢測(cè)區(qū)間；

若所述去噪信號(hào)均值位于所述可信度檢測(cè)區(qū)間內(nèi)，確定所述去噪信號(hào)均值為所述目標(biāo)微小模擬信號(hào)的信號(hào)值。

可選的，還包括：確定干擾信號(hào)的時(shí)間跨度范圍；

使得所述特定時(shí)間間隔大于所述干擾信號(hào)的時(shí)間跨度范圍。

可選的，所述確定干擾信號(hào)的時(shí)間跨度范圍的步驟，包括：

提供隨機(jī)干擾信號(hào)生成模型，所述隨機(jī)干擾信號(hào)生成模型能夠生成滿足隨機(jī)分布的干擾信號(hào)；

根據(jù)所述隨機(jī)干擾信號(hào)生成模型，確定所述干擾信號(hào)時(shí)間跨度的概率分布；

根據(jù)所述干擾信號(hào)時(shí)間跨度的概率分布，確定所述干擾信號(hào)的時(shí)間跨度范圍。

可選的，所述根據(jù)采樣點(diǎn)的采樣值，判斷所述采樣點(diǎn)是否為干擾信號(hào)點(diǎn)的步驟，包括：

連續(xù)以特定時(shí)間間隔采樣N次，獲取N個(gè)采樣點(diǎn)及其對(duì)應(yīng)的采樣值；

按采樣值的大小順序?qū)?duì)應(yīng)的N個(gè)采樣點(diǎn)進(jìn)行排序；

確定N個(gè)采樣值的中間值作為有效采樣值；

將各個(gè)采樣點(diǎn)的采樣值與所述有效采樣值進(jìn)行比較；