[發明專利]真空泵裝置在審
| 申請號: | 202011095546.1 | 申請日: | 2020-10-14 |
| 公開(公告)號: | CN112664460A | 公開(公告)日: | 2021-04-16 |
| 發明(設計)人: | 新名恭人;穂積崇史;杉浦哲郎;鹽川篤志 | 申請(專利權)人: | 株式會社荏原制作所 |
| 主分類號: | F04C29/04 | 分類號: | F04C29/04;F04C18/16 |
| 代理公司: | 上海華誠知識產權代理有限公司 31300 | 代理人: | 張麗穎 |
| 地址: | 日本國東京都*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 真空泵 裝置 | ||
1.一種真空泵裝置,其特征在于,具備:
泵殼,該泵殼在內部具有轉子室;
泵轉子,該泵轉子配置在所述轉子室內;
旋轉軸,該旋轉軸固定有所述泵轉子;
電動機,該電動機與所述旋轉軸連結;
側罩,該側罩形成所述轉子室的端面;以及
側加熱器,該側加熱器配置在所述側罩內。
2.根據權利要求1所述的真空泵裝置,其特征在于,
所述側加熱器被配置為包圍所述旋轉軸。
3.根據權利要求1或2所述的真空泵裝置,其特征在于,
所述側罩具有形成所述轉子室的端面的內側側罩、以及在所述旋轉軸的軸向上位于所述內側側罩的外側的外側側罩,
所述側加熱器配置在所述內側側罩與所述外側側罩之間。
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